一、全自動探針臺主要由什么組成
全自動探(tan)針臺是一種(zhong)用(yong)于(yu)半導體行(xing)業的(de)(de)重要設備(bei),主(zhu)要用(yong)于(yu)在制造集成電路的(de)(de)過程中對芯(xin)(xin)片進(jin)行(xing)測試和驗證。探(tan)針是用(yong)來與芯(xin)(xin)片上的(de)(de)接觸(chu)點進(jin)行(xing)接觸(chu)并測試其性能的(de)(de)工(gong)具,而探(tan)針臺則(ze)是用(yong)于(yu)控制探(tan)針的(de)(de)精確位置和操作,以及進(jin)行(xing)數據采集和處理的(de)(de)重要設備(bei)。
全自動探針臺的結構(gou)包括(kuo)以下幾個(ge)主要部分:
1、機械系統:機械(xie)系(xi)統是核心(xin)部分,它(ta)包(bao)括一個(ge)精密的(de)XYZ坐標(biao)系(xi),用于控制探(tan)針的(de)移(yi)動(dong)。這個(ge)坐標(biao)系(xi)通(tong)常(chang)由高精度的(de)直線導軌(gui)、伺服電機和光學編碼器組成(cheng)。此外,機械(xie)系(xi)統還包(bao)括一個(ge)可以容納多個(ge)探(tan)針的(de)探(tan)針座(zuo),以及一個(ge)可以自動(dong)更換探(tan)針的(de)裝置。
2、光學系統:光學系(xi)統是(shi)重要(yao)部分之一,它包(bao)括一個(ge)高精度的顯微鏡和一組(zu)用于照明和觀察(cha)芯片的鏡頭。通過光學系(xi)統,操作者可以清晰地觀察(cha)到芯片上的接(jie)觸點(dian),并將探(tan)針準確(que)地放置在(zai)接(jie)觸點(dian)上。
3、電氣系統:電氣(qi)系統是控(kong)(kong)制(zhi)中(zhong)心,它(ta)包括一個主控(kong)(kong)制(zhi)器、一個電源和一個與計算機(ji)連接(jie)的(de)數(shu)據(ju)(ju)接(jie)口。主控(kong)(kong)制(zhi)器用于控(kong)(kong)制(zhi)機(ji)械系統和光(guang)學系統的(de)操作,電源用于提(ti)供能量,而數(shu)據(ju)(ju)接(jie)口則用于將測試數(shu)據(ju)(ju)傳輸(shu)到計算機(ji)中(zhong)進(jin)行處理(li)和分(fen)析(xi)。
4、軟件系統:軟件(jian)系統(tong)是關(guan)鍵部分(fen)之一,它控制著(zhu)整(zheng)個測試過(guo)程,包括探(tan)針的移動、測試信號的施加和測量、以及(ji)數據的采(cai)集和處理等。軟件(jian)系統(tong)通(tong)常采(cai)用圖形用戶界面(mian)(GUI)來方便操作者進行(xing)操作和監控。
二、國產與進口全自動探針臺區別介紹
在選購全自動(dong)探(tan)針臺時,很多人會糾結(jie)是買進口(kou)的(de)還是國(guo)產(chan)(chan)的(de),想知道國(guo)產(chan)(chan)與進口(kou)全自動(dong)探(tan)針臺區別有哪些?
1、探針數量
國(guo)(guo)產(chan)和進口全自(zi)動(dong)探(tan)針臺的(de)(de)主要區別在于探(tan)針數量(liang)的(de)(de)不同。國(guo)(guo)產(chan)全自(zi)動(dong)探(tan)針臺采用(yong)的(de)(de)是(shi)單探(tan)針或雙(shuang)探(tan)針設(she)計,而進口全自(zi)動(dong)探(tan)針臺則一般配備三至(zhi)六個(ge)探(tan)針。
2、精度
在精(jing)(jing)度方面,進(jin)(jin)口(kou)(kou)全自動(dong)探(tan)針(zhen)臺(tai)通(tong)常比國產(chan)探(tan)針(zhen)臺(tai)更(geng)精(jing)(jing)確(que)。這是因為許多進(jin)(jin)口(kou)(kou)探(tan)針(zhen)臺(tai)采用(yong)了(le)先進(jin)(jin)的微機控制系統和高精(jing)(jing)度傳動(dong)系統,具備更(geng)高的測量精(jing)(jing)度和可重(zhong)復性。
3、使用壽命
進口全自(zi)動(dong)探針臺通常采用的(de)(de)(de)是(shi)優質材料(liao)和制造工藝(yi),具有更(geng)長的(de)(de)(de)使用壽命和更(geng)好(hao)的(de)(de)(de)穩定(ding)性(xing)。而國產探針臺由于材料(liao)和制造工藝(yi)的(de)(de)(de)限制,使用壽命和穩定(ding)性(xing)方(fang)面可能存在一定(ding)的(de)(de)(de)差(cha)距。