一、什么是探針臺

探(tan)針臺（Probe Station）是一種用(yong)于對(dui)半(ban)導體器(qi)件(jian)進行(xing)電性能(neng)(neng)測(ce)試(shi)的重要設備。它通(tong)常由精(jing)密的機械結構、高性能(neng)(neng)的探(tan)針針頭和電性能(neng)(neng)測(ce)試(shi)儀器(qi)組(zu)成。探(tan)針臺可以(yi)對(dui)半(ban)導體芯片(pian)、集(ji)成電路和其他(ta)微電子器(qi)件(jian)進行(xing)直接的電性能(neng)(neng)測(ce)試(shi)，從(cong)而為研究和生產提供有價值的信息。

二、探針臺的分類有哪些

一般根據用(yong)戶測試樣品(pin)、測試環(huan)境、應用(yong)類別(bie)、產(chan)品(pin)級別(bie)以及操作方(fang)式分類，如下：

1、按測試樣品分類，可分為：晶圓(yuan)測(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)(tai)、LED測(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)(tai)、功(gong)率(lv)器件(jian)測(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)(tai)、MEMS測(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)(tai)、PCB測(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)(tai)、液晶面板測(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)(tai)、太陽(yang)能電(dian)池(chi)片測(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)(tai)、材(cai)料表面電(dian)阻率(lv)測(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)(tai)、納米器件(jian)測(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)(tai)。

2、按應用及測試環境分類，可分為：高(gao)頻、射頻及微波測(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)探(tan)針(zhen)臺(tai)、高(gao)/低溫(wen)環(huan)境(jing)測(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)探(tan)針(zhen)臺(tai)、高(gao)/低溫(wen)真空(kong)環(huan)境(jing)測(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)探(tan)針(zhen)臺(tai)、低電流(liu)（fA級）測(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)探(tan)針(zhen)臺(tai)、IC/IV/p-IV測(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)探(tan)針(zhen)臺(tai)、高(gao)壓、大電流(liu)測(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)探(tan)針(zhen)臺(tai)、特殊氣體(ti)環(huan)境(jing)測(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)探(tan)針(zhen)臺(tai)、磁場(chang)環(huan)境(jing)測(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)探(tan)針(zhen)臺(tai)、雙(shuang)面點針(zhen)測(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)探(tan)針(zhen)臺(tai)、全封閉(bi)式探(tan)針(zhen)臺(tai)（非真空(kong)環(huan)境(jing)）。

3、按級別分類可分為：簡易型(xing)(xing)探針(zhen)臺、標準型(xing)(xing)探針(zhen)臺、分析(xi)型(xing)(xing)探針(zhen)臺、高端型(xing)(xing)探針(zhen)臺。

4、按操作方式可分為：手動型、半自(zi)動型、全自(zi)動型。

5、按特殊應用測試分為：非標準(zhun)類結構測(ce)試探針(zhen)臺(tai)。