一、什么是探針臺

探(tan)(tan)針(zhen)臺(tai)（Probe Station）是一(yi)種(zhong)用于對(dui)半導(dao)體(ti)器件進行電(dian)(dian)性能(neng)測試的(de)重要(yao)設備(bei)。它通(tong)常由(you)精密的(de)機械結構(gou)、高(gao)性能(neng)的(de)探(tan)(tan)針(zhen)針(zhen)頭和電(dian)(dian)性能(neng)測試儀器組成。探(tan)(tan)針(zhen)臺(tai)可(ke)以對(dui)半導(dao)體(ti)芯(xin)片、集成電(dian)(dian)路和其(qi)他微電(dian)(dian)子器件進行直接的(de)電(dian)(dian)性能(neng)測試，從(cong)而為研究(jiu)和生(sheng)產提供有價(jia)值的(de)信息。

二、探針臺的分類有哪些

一(yi)般根據用(yong)戶測(ce)試樣品、測(ce)試環境(jing)、應(ying)用(yong)類(lei)別、產品級別以及操作方式分(fen)類(lei)，如(ru)下：

1、按測試樣品分類，可分為：晶圓測(ce)試(shi)(shi)探(tan)(tan)針(zhen)臺(tai)(tai)、LED測(ce)試(shi)(shi)探(tan)(tan)針(zhen)臺(tai)(tai)、功率器(qi)件測(ce)試(shi)(shi)探(tan)(tan)針(zhen)臺(tai)(tai)、MEMS測(ce)試(shi)(shi)探(tan)(tan)針(zhen)臺(tai)(tai)、PCB測(ce)試(shi)(shi)探(tan)(tan)針(zhen)臺(tai)(tai)、液晶面板測(ce)試(shi)(shi)探(tan)(tan)針(zhen)臺(tai)(tai)、太(tai)陽能電池片測(ce)試(shi)(shi)探(tan)(tan)針(zhen)臺(tai)(tai)、材料表面電阻率測(ce)試(shi)(shi)探(tan)(tan)針(zhen)臺(tai)(tai)、納米器(qi)件測(ce)試(shi)(shi)探(tan)(tan)針(zhen)臺(tai)(tai)。

2、按應用及測試環境分類，可分為：高(gao)頻、射頻及微波測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)、高(gao)/低溫(wen)環境測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)、高(gao)/低溫(wen)真(zhen)(zhen)空環境測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)、低電流（fA級）測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)、IC/IV/p-IV測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)、高(gao)壓、大電流測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)、特殊氣體環境測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)、磁場環境測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)、雙面點(dian)針(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)(shi)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)、全封閉式探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)（非真(zhen)(zhen)空環境）。

3、按級別分類可分為：簡易型(xing)探(tan)針臺(tai)(tai)(tai)、標準型(xing)探(tan)針臺(tai)(tai)(tai)、分析(xi)型(xing)探(tan)針臺(tai)(tai)(tai)、高(gao)端型(xing)探(tan)針臺(tai)(tai)(tai)。

4、按操作方式可分為：手動(dong)型、半自(zi)動(dong)型、全自(zi)動(dong)型。

5、按特殊應用測試分為：非標(biao)準類結(jie)構測試探(tan)針臺。