一、什么是探針臺

探(tan)針(zhen)(zhen)臺（Probe Station）是一種用于對半導體器(qi)件進(jin)行(xing)電性(xing)能測(ce)試的(de)(de)重要設(she)備。它通常由精密的(de)(de)機械結構、高性(xing)能的(de)(de)探(tan)針(zhen)(zhen)針(zhen)(zhen)頭和(he)電性(xing)能測(ce)試儀器(qi)組成(cheng)。探(tan)針(zhen)(zhen)臺可以對半導體芯片(pian)、集(ji)成(cheng)電路(lu)和(he)其他微電子器(qi)件進(jin)行(xing)直接的(de)(de)電性(xing)能測(ce)試，從而(er)為(wei)研(yan)究和(he)生產提供(gong)有價值(zhi)的(de)(de)信息。

二、探針臺的分類有哪些

一般根(gen)據用(yong)戶(hu)測試樣品、測試環境(jing)、應用(yong)類別、產品級別以及操作方式分類，如下：

1、按測試樣品分類，可分為：晶圓測(ce)(ce)(ce)試(shi)探(tan)(tan)(tan)(tan)針臺(tai)、LED測(ce)(ce)(ce)試(shi)探(tan)(tan)(tan)(tan)針臺(tai)、功率(lv)器件測(ce)(ce)(ce)試(shi)探(tan)(tan)(tan)(tan)針臺(tai)、MEMS測(ce)(ce)(ce)試(shi)探(tan)(tan)(tan)(tan)針臺(tai)、PCB測(ce)(ce)(ce)試(shi)探(tan)(tan)(tan)(tan)針臺(tai)、液晶面板測(ce)(ce)(ce)試(shi)探(tan)(tan)(tan)(tan)針臺(tai)、太(tai)陽能(neng)電池(chi)片測(ce)(ce)(ce)試(shi)探(tan)(tan)(tan)(tan)針臺(tai)、材料(liao)表面電阻率(lv)測(ce)(ce)(ce)試(shi)探(tan)(tan)(tan)(tan)針臺(tai)、納米器件測(ce)(ce)(ce)試(shi)探(tan)(tan)(tan)(tan)針臺(tai)。

2、按應用及測試環境分類，可分為：高(gao)(gao)頻、射頻及(ji)微(wei)波測(ce)試(shi)探(tan)針(zhen)臺(tai)、高(gao)(gao)/低溫(wen)環(huan)境測(ce)試(shi)探(tan)針(zhen)臺(tai)、高(gao)(gao)/低溫(wen)真空環(huan)境測(ce)試(shi)探(tan)針(zhen)臺(tai)、低電流(liu)（fA級）測(ce)試(shi)探(tan)針(zhen)臺(tai)、IC/IV/p-IV測(ce)試(shi)探(tan)針(zhen)臺(tai)、高(gao)(gao)壓(ya)、大電流(liu)測(ce)試(shi)探(tan)針(zhen)臺(tai)、特殊氣體環(huan)境測(ce)試(shi)探(tan)針(zhen)臺(tai)、磁(ci)場環(huan)境測(ce)試(shi)探(tan)針(zhen)臺(tai)、雙面點(dian)針(zhen)測(ce)試(shi)探(tan)針(zhen)臺(tai)、全封閉式探(tan)針(zhen)臺(tai)（非真空環(huan)境）。

3、按級別分類可分為：簡易型探(tan)針(zhen)臺、標準(zhun)型探(tan)針(zhen)臺、分析型探(tan)針(zhen)臺、高端(duan)型探(tan)針(zhen)臺。

4、按操作方式可分為：手動(dong)型(xing)、半自動(dong)型(xing)、全自動(dong)型(xing)。

5、按特殊應用測試分為：非標準類結(jie)構測試探(tan)針臺。