一、什么是探針臺

探針臺（Probe Station）是一種(zhong)用于(yu)對(dui)半(ban)導體器件進行電(dian)(dian)(dian)性能測(ce)(ce)試(shi)(shi)的重(zhong)要設(she)備(bei)。它通常(chang)由精密的機械結構、高性能的探針針頭和電(dian)(dian)(dian)性能測(ce)(ce)試(shi)(shi)儀器組成。探針臺可(ke)以對(dui)半(ban)導體芯片、集成電(dian)(dian)(dian)路和其他微(wei)電(dian)(dian)(dian)子器件進行直接的電(dian)(dian)(dian)性能測(ce)(ce)試(shi)(shi)，從而為(wei)研究(jiu)和生產提供有(you)價值的信息(xi)。

二、探針臺的分類有哪些

一般根(gen)據用(yong)戶測試樣品、測試環境、應用(yong)類(lei)別、產品級別以(yi)及操作方式分類(lei)，如下：

1、按測試樣品分類，可分為：晶圓測(ce)(ce)(ce)試(shi)探(tan)針(zhen)臺(tai)、LED測(ce)(ce)(ce)試(shi)探(tan)針(zhen)臺(tai)、功率器(qi)件測(ce)(ce)(ce)試(shi)探(tan)針(zhen)臺(tai)、MEMS測(ce)(ce)(ce)試(shi)探(tan)針(zhen)臺(tai)、PCB測(ce)(ce)(ce)試(shi)探(tan)針(zhen)臺(tai)、液晶面(mian)板(ban)測(ce)(ce)(ce)試(shi)探(tan)針(zhen)臺(tai)、太(tai)陽能(neng)電池(chi)片測(ce)(ce)(ce)試(shi)探(tan)針(zhen)臺(tai)、材料表(biao)面(mian)電阻(zu)率測(ce)(ce)(ce)試(shi)探(tan)針(zhen)臺(tai)、納米(mi)器(qi)件測(ce)(ce)(ce)試(shi)探(tan)針(zhen)臺(tai)。

2、按應用及測試環境分類，可分為：高(gao)頻、射頻及微波測(ce)(ce)(ce)試探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)、高(gao)/低溫(wen)環(huan)(huan)(huan)境(jing)(jing)測(ce)(ce)(ce)試探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)、高(gao)/低溫(wen)真(zhen)空環(huan)(huan)(huan)境(jing)(jing)測(ce)(ce)(ce)試探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)、低電流（fA級）測(ce)(ce)(ce)試探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)、IC/IV/p-IV測(ce)(ce)(ce)試探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)、高(gao)壓、大電流測(ce)(ce)(ce)試探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)、特殊(shu)氣體環(huan)(huan)(huan)境(jing)(jing)測(ce)(ce)(ce)試探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)、磁場環(huan)(huan)(huan)境(jing)(jing)測(ce)(ce)(ce)試探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)、雙面點針(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)測(ce)(ce)(ce)試探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)、全(quan)封(feng)閉式(shi)探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)（非真(zhen)空環(huan)(huan)(huan)境(jing)(jing)）。

3、按級別分類可分為：簡易(yi)型(xing)(xing)(xing)探針(zhen)臺(tai)、標準型(xing)(xing)(xing)探針(zhen)臺(tai)、分析型(xing)(xing)(xing)探針(zhen)臺(tai)、高端型(xing)(xing)(xing)探針(zhen)臺(tai)。

4、按操作方式可分為：手動型(xing)、半(ban)自動型(xing)、全(quan)自動型(xing)。

5、按特殊應用測試分為：非標準類結(jie)構測試探針臺。