一、什么是探針臺

探(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)（Probe Station）是一(yi)種(zhong)用(yong)于對半導(dao)體器件進行(xing)電(dian)性能(neng)測試的重要設備(bei)。它通常由精(jing)密的機械結構、高性能(neng)的探(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)針(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)頭和電(dian)性能(neng)測試儀(yi)器組成(cheng)。探(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)可以對半導(dao)體芯片(pian)、集(ji)成(cheng)電(dian)路和其(qi)他微電(dian)子器件進行(xing)直接的電(dian)性能(neng)測試，從而為研(yan)究和生產提(ti)供有價值的信息。

二、探針臺的分類有哪些

一般根據用戶測試樣品、測試環境、應用類別(bie)、產品級別(bie)以及操作方式分類，如下：

1、按測試樣品分類，可分為：晶(jing)圓測(ce)(ce)(ce)試探(tan)(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)、LED測(ce)(ce)(ce)試探(tan)(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)、功率器件測(ce)(ce)(ce)試探(tan)(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)、MEMS測(ce)(ce)(ce)試探(tan)(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)、PCB測(ce)(ce)(ce)試探(tan)(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)、液(ye)晶(jing)面板(ban)測(ce)(ce)(ce)試探(tan)(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)、太陽能電池片測(ce)(ce)(ce)試探(tan)(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)、材料表面電阻(zu)率測(ce)(ce)(ce)試探(tan)(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)、納米器件測(ce)(ce)(ce)試探(tan)(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)。

2、按應用及測試環境分類，可分為：高(gao)頻、射頻及微波測(ce)(ce)(ce)試(shi)探(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)、高(gao)/低溫環(huan)境(jing)(jing)測(ce)(ce)(ce)試(shi)探(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)、高(gao)/低溫真(zhen)(zhen)空環(huan)境(jing)(jing)測(ce)(ce)(ce)試(shi)探(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)、低電流（fA級(ji)）測(ce)(ce)(ce)試(shi)探(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)、IC/IV/p-IV測(ce)(ce)(ce)試(shi)探(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)、高(gao)壓(ya)、大(da)電流測(ce)(ce)(ce)試(shi)探(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)、特殊氣體(ti)環(huan)境(jing)(jing)測(ce)(ce)(ce)試(shi)探(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)、磁場環(huan)境(jing)(jing)測(ce)(ce)(ce)試(shi)探(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)、雙面點針(zhen)(zhen)(zhen)測(ce)(ce)(ce)試(shi)探(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)、全封閉式探(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)（非真(zhen)(zhen)空環(huan)境(jing)(jing)）。

3、按級別分類可分為：簡易型探針臺(tai)、標(biao)準型探針臺(tai)、分析型探針臺(tai)、高端型探針臺(tai)。

4、按操作方式可分為：手動型、半自動型、全自動型。

5、按特殊應用測試分為：非標準類結(jie)構測試探針臺。