一、什么是探針臺

探針(zhen)臺（Probe Station）是一種用于對(dui)半(ban)導體器件(jian)進(jin)行(xing)電性(xing)(xing)能測試的重要設(she)備(bei)。它通常由精密的機械結(jie)構(gou)、高性(xing)(xing)能的探針(zhen)針(zhen)頭和(he)電性(xing)(xing)能測試儀器組(zu)成。探針(zhen)臺可以對(dui)半(ban)導體芯片、集(ji)成電路和(he)其他(ta)微電子器件(jian)進(jin)行(xing)直接(jie)的電性(xing)(xing)能測試，從(cong)而為研究和(he)生產提(ti)供有價值的信息。

二、探針臺的分類有哪些

一(yi)般根據用(yong)戶測(ce)試(shi)(shi)樣(yang)品(pin)、測(ce)試(shi)(shi)環(huan)境、應用(yong)類別、產品(pin)級別以及操作方式分類，如(ru)下：

1、按測試樣品分類，可分為：晶(jing)圓測(ce)(ce)試探(tan)(tan)針臺(tai)、LED測(ce)(ce)試探(tan)(tan)針臺(tai)、功(gong)率器件測(ce)(ce)試探(tan)(tan)針臺(tai)、MEMS測(ce)(ce)試探(tan)(tan)針臺(tai)、PCB測(ce)(ce)試探(tan)(tan)針臺(tai)、液晶(jing)面板測(ce)(ce)試探(tan)(tan)針臺(tai)、太陽(yang)能電(dian)池片測(ce)(ce)試探(tan)(tan)針臺(tai)、材料表面電(dian)阻率測(ce)(ce)試探(tan)(tan)針臺(tai)、納米器件測(ce)(ce)試探(tan)(tan)針臺(tai)。

2、按應用及測試環境分類，可分為：高(gao)頻(pin)(pin)、射頻(pin)(pin)及微波測試(shi)(shi)(shi)探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)、高(gao)/低(di)(di)溫環境測試(shi)(shi)(shi)探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)、高(gao)/低(di)(di)溫真(zhen)空環境測試(shi)(shi)(shi)探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)、低(di)(di)電(dian)流（fA級）測試(shi)(shi)(shi)探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)、IC/IV/p-IV測試(shi)(shi)(shi)探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)、高(gao)壓(ya)、大(da)電(dian)流測試(shi)(shi)(shi)探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)、特殊氣體(ti)環境測試(shi)(shi)(shi)探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)、磁場(chang)環境測試(shi)(shi)(shi)探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)、雙(shuang)面點針(zhen)(zhen)(zhen)測試(shi)(shi)(shi)探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)、全封閉式探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)（非真(zhen)空環境）。

3、按級別分類可分為：簡易(yi)型探針臺(tai)、標(biao)準型探針臺(tai)、分析型探針臺(tai)、高(gao)端型探針臺(tai)。

4、按操作方式可分為：手動(dong)型、半自動(dong)型、全自動(dong)型。

5、按特殊應用測試分為：非標準類結構測(ce)試(shi)探針臺。