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半導體設備檢修工具有哪些 半導體設備檢修流程介紹

本文章由注冊用戶 淺嘗不止— 上傳提供 2024-10-24 評論 0
摘要:近年來,集成電路技術和通訊技術快速發展,半導體設備應用范圍越來越廣泛,大規模、高集成是半導體集成電路的發展方向,為了提升行業水準和整體效益,應積極發展高產出、高投入的規模型產業,特別是半導體設備,應加強半導體設備的維修管理,不斷提高半導體設備維修水平。那么接下來本文將重點介紹半導體設備檢修工具有哪些以及半導體設備檢修流程,一起來看看吧!

一、半導體設備檢修工具有哪些

半導(dao)體(ti)設備是一(yi)種高精度的(de)機器,在現代(dai)化工業(ye)發展過程中,流水線的(de)生產(chan)(chan)(chan)操作(zuo)對于半導(dao)體(ti)設備要求較(jiao)高,一(yi)旦出現故障(zhang)會直接(jie)影響整個企(qi)業(ye)的(de)生產(chan)(chan)(chan)進程,因此需要定期進行維修保(bao)養,防止出現故障(zhang)發生導(dao)致停產(chan)(chan)(chan),對企(qi)業(ye)造成(cheng)較(jiao)為嚴重的(de)經濟損失,半導(dao)體(ti)設備檢修可以用(yong)到哪些工具?

1、氣浮搬運平臺

氣浮搬運平臺利用空氣懸浮在地面上,與地面不接觸,防止半導體設備受到(dao)振動和沖擊,同時保(bao)護(hu)地面不受損傷(shang),可以實現精(jing)確的位置控制,保(bao)質期四年。

2、帶滑臺爪式千斤頂

帶滑臺(tai)爪(zhua)式(shi)千斤頂(ding)可(ke)(ke)以實(shi)(shi)現(xian)前(qian)后(hou)100mm水平移(yi)動,頂(ding)升(sheng)平穩無晃動,可(ke)(ke)以實(shi)(shi)現(xian)高精度的升(sheng)降和定位控(kong)制,可(ke)(ke)定制無塵型。

3、楔形千斤頂

楔形(xing)千斤頂(ding)只需5mm的縫隙,楔頭即可插(cha)入起升至(zhi)34mm的高度,手柄可以360度旋轉,能用于狹窄空間。

4、滑動紙

滑動紙(zhi)人力即(ji)可推動1至9噸的(de)重物,調整范圍為1cm-5cm,半導體設(she)備檢修結束后抬起約1mm的(de)高度即(ji)可拉(la)出(chu)滑動紙(zhi),操作簡單(dan),輕(qing)松(song)便攜。

二、半導體設備檢修流程介紹

半導體設備出(chu)現故障后(hou),先做好(hao)總體分析,然后(hou)仔(zi)細檢查(cha)故障問題(ti)。

1、首先,檢查(cha)半(ban)導體(ti)設(she)備(bei)周圍的冷凍機(ji)、真(zhen)空壓縮機(ji)、變壓器等是否運行正常,如果這些設(she)備(bei)都正常,再排查(cha)和檢查(cha)半(ban)導體(ti)設(she)備(bei)主(zhu)體(ti),檢修人(ren)員貿然拆解(jie)半(ban)導體(ti)設(she)備(bei)會(hui)損(sun)壞(huai)元器件,重復的返工會(hui)浪費(fei)大量物力(li)、人(ren)力(li)和財力(li)。

2、其(qi)次(ci),全面了(le)解半導(dao)(dao)體(ti)(ti)設(she)(she)備(bei)情(qing)況(kuang),確定半導(dao)(dao)體(ti)(ti)設(she)(she)備(bei)故(gu)障(zhang)范(fan)圍,有(you)針(zhen)對性(xing)地采用檢修(xiu)方法,半導(dao)(dao)體(ti)(ti)設(she)(she)備(bei)包括(kuo)附加部(bu)分(fen)、傳(chuan)送(song)部(bu)分(fen)、動力部(bu)分(fen)、控(kong)(kong)制(zhi)部(bu)分(fen)等,控(kong)(kong)制(zhi)部(bu)分(fen)是半導(dao)(dao)體(ti)(ti)設(she)(she)備(bei)中最精密的(de)部(bu)分(fen),應重點檢查這個部(bu)分(fen),逐一排查電路板模塊,反復(fu)進行(xing)對比分(fen)析(xi),仔細檢查半導(dao)(dao)體(ti)(ti)設(she)(she)備(bei)故(gu)障(zhang)位置(zhi)。

3、最后,仔(zi)細清理半導(dao)體設備(bei)灰(hui)塵(chen),檢查各個板(ban)件的焊接(jie)和線(xian)路(lu)連(lian)接(jie),很(hen)多半導(dao)體設備(bei)在長時間使用過程中接(jie)口(kou)和插(cha)頭容易堆(dui)積大量灰(hui)塵(chen)導(dao)致(zhi)漏電事故,線(xian)路(lu)板(ban)發生(sheng)氧化形成(cheng)虛焊,對(dui)于這些問(wen)題,檢修(xiu)人員(yuan)應積極進行檢修(xiu)維護。

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