一、半導體設備檢修工具有哪些
半導(dao)體(ti)設備是一(yi)種高精度的(de)機器,在現代(dai)化工業(ye)發展過程中,流水線的(de)生產(chan)(chan)(chan)操作(zuo)對于半導(dao)體(ti)設備要求較(jiao)高,一(yi)旦出現故障(zhang)會直接(jie)影響整個企(qi)業(ye)的(de)生產(chan)(chan)(chan)進程,因此需要定期進行維修保(bao)養,防止出現故障(zhang)發生導(dao)致停產(chan)(chan)(chan),對企(qi)業(ye)造成(cheng)較(jiao)為嚴重的(de)經濟損失,半導(dao)體(ti)設備檢修可以用(yong)到哪些工具?
1、氣浮搬運平臺
氣浮搬運平臺利用空氣懸浮在地面上,與地面不接觸,防止半導體設備受到(dao)振動和沖擊,同時保(bao)護(hu)地面不受損傷(shang),可以實現精(jing)確的位置控制,保(bao)質期四年。
2、帶滑臺爪式千斤頂
帶滑臺(tai)爪(zhua)式(shi)千斤頂(ding)可(ke)(ke)以實(shi)(shi)現(xian)前(qian)后(hou)100mm水平移(yi)動,頂(ding)升(sheng)平穩無晃動,可(ke)(ke)以實(shi)(shi)現(xian)高精度的升(sheng)降和定位控(kong)制,可(ke)(ke)定制無塵型。
3、楔形千斤頂
楔形(xing)千斤頂(ding)只需5mm的縫隙,楔頭即可插(cha)入起升至(zhi)34mm的高度,手柄可以360度旋轉,能用于狹窄空間。
4、滑動紙
滑動紙(zhi)人力即(ji)可推動1至9噸的(de)重物,調整范圍為1cm-5cm,半導體設(she)備檢修結束后抬起約1mm的(de)高度即(ji)可拉(la)出(chu)滑動紙(zhi),操作簡單(dan),輕(qing)松(song)便攜。
二、半導體設備檢修流程介紹
半導體設備出(chu)現故障后(hou),先做好(hao)總體分析,然后(hou)仔(zi)細檢查(cha)故障問題(ti)。
1、首先,檢查(cha)半(ban)導體(ti)設(she)備(bei)周圍的冷凍機(ji)、真(zhen)空壓縮機(ji)、變壓器等是否運行正常,如果這些設(she)備(bei)都正常,再排查(cha)和檢查(cha)半(ban)導體(ti)設(she)備(bei)主(zhu)體(ti),檢修人(ren)員貿然拆解(jie)半(ban)導體(ti)設(she)備(bei)會(hui)損(sun)壞(huai)元器件,重復的返工會(hui)浪費(fei)大量物力(li)、人(ren)力(li)和財力(li)。
2、其(qi)次(ci),全面了(le)解半導(dao)(dao)體(ti)(ti)設(she)(she)備(bei)情(qing)況(kuang),確定半導(dao)(dao)體(ti)(ti)設(she)(she)備(bei)故(gu)障(zhang)范(fan)圍,有(you)針(zhen)對性(xing)地采用檢修(xiu)方法,半導(dao)(dao)體(ti)(ti)設(she)(she)備(bei)包括(kuo)附加部(bu)分(fen)、傳(chuan)送(song)部(bu)分(fen)、動力部(bu)分(fen)、控(kong)(kong)制(zhi)部(bu)分(fen)等,控(kong)(kong)制(zhi)部(bu)分(fen)是半導(dao)(dao)體(ti)(ti)設(she)(she)備(bei)中最精密的(de)部(bu)分(fen),應重點檢查這個部(bu)分(fen),逐一排查電路板模塊,反復(fu)進行(xing)對比分(fen)析(xi),仔細檢查半導(dao)(dao)體(ti)(ti)設(she)(she)備(bei)故(gu)障(zhang)位置(zhi)。
3、最后,仔(zi)細清理半導(dao)體設備(bei)灰(hui)塵(chen),檢查各個板(ban)件的焊接(jie)和線(xian)路(lu)連(lian)接(jie),很(hen)多半導(dao)體設備(bei)在長時間使用過程中接(jie)口(kou)和插(cha)頭容易堆(dui)積大量灰(hui)塵(chen)導(dao)致(zhi)漏電事故,線(xian)路(lu)板(ban)發生(sheng)氧化形成(cheng)虛焊,對(dui)于這些問(wen)題,檢修(xiu)人員(yuan)應積極進行檢修(xiu)維護。