一、半導體設備檢修工具有哪些

半導(dao)(dao)體(ti)設備(bei)(bei)是一種高精度的機器，在現(xian)代(dai)化工(gong)業(ye)(ye)發(fa)展過程(cheng)中，流水線的生(sheng)(sheng)產(chan)操作對于半導(dao)(dao)體(ti)設備(bei)(bei)要(yao)求較(jiao)高，一旦出現(xian)故(gu)障會(hui)直接影響整個企業(ye)(ye)的生(sheng)(sheng)產(chan)進程(cheng)，因此需要(yao)定期進行維修保(bao)養，防止出現(xian)故(gu)障發(fa)生(sheng)(sheng)導(dao)(dao)致停產(chan)，對企業(ye)(ye)造(zao)成較(jiao)為(wei)嚴重(zhong)的經濟損(sun)失，半導(dao)(dao)體(ti)設備(bei)(bei)檢修可(ke)以用到(dao)哪些工(gong)具(ju)？

1、氣浮搬運平臺

氣浮搬運平臺利用空氣懸浮在地面上，與地面不接觸，防止半導體設備受(shou)到振動和沖擊(ji)，同時保護地面不受(shou)損傷，可以實現精確的位(wei)置(zhi)控制，保質期四年。

2、帶滑臺爪式千斤頂

帶滑臺爪式千斤頂(ding)可以實現前后(hou)100mm水平移動，頂(ding)升平穩無晃動，可以實現高精度的升降(jiang)和定位控(kong)制(zhi)，可定制(zhi)無塵型。

3、楔形千斤頂

楔形千(qian)斤頂只需5mm的(de)縫隙(xi)，楔頭即可插入起升至34mm的(de)高(gao)度，手(shou)柄(bing)可以(yi)360度旋轉，能用于狹(xia)窄空間。

4、滑動紙

滑動紙(zhi)人(ren)力即可推動1至9噸的重物，調整范圍為1cm-5cm，半導體(ti)設備(bei)檢修(xiu)結束(shu)后抬起約1mm的高度即可拉出(chu)滑動紙(zhi)，操作簡單，輕松便(bian)攜。

二、半導體設備檢修流程介紹

半導體設(she)備出現(xian)故(gu)障后，先(xian)做好總體分析，然后仔細(xi)檢查(cha)故(gu)障問題。

1、首先，檢查(cha)半導體設備周圍的冷(leng)凍機(ji)、真空壓縮機(ji)、變(bian)壓器等是否運行正常，如果這些設備都正常，再排查(cha)和檢查(cha)半導體設備主體，檢修人(ren)員貿然拆解(jie)半導體設備會損壞元器件，重復(fu)的返工會浪費大量(liang)物力、人(ren)力和財力。

2、其(qi)次，全面了(le)解半(ban)(ban)導體設備情況(kuang)，確定半(ban)(ban)導體設備故障范圍，有(you)針對(dui)性地(di)采(cai)用檢(jian)修方法，半(ban)(ban)導體設備包括(kuo)附加部分(fen)、傳送部分(fen)、動力部分(fen)、控制部分(fen)等，控制部分(fen)是(shi)半(ban)(ban)導體設備中最(zui)精(jing)密的部分(fen)，應重點檢(jian)查(cha)這個部分(fen)，逐一(yi)排(pai)查(cha)電路板模塊，反復進行對(dui)比分(fen)析(xi)，仔細檢(jian)查(cha)半(ban)(ban)導體設備故障位置。

3、最后，仔細清理半導體(ti)(ti)設備灰(hui)塵，檢(jian)查各個板(ban)件(jian)的焊接和線路連接，很多半導體(ti)(ti)設備在長時間使用過程中接口和插頭容易(yi)堆積(ji)(ji)大量(liang)灰(hui)塵導致漏(lou)電事故(gu)，線路板(ban)發生氧化(hua)形(xing)成虛焊，對于(yu)這些問(wen)題，檢(jian)修(xiu)人員應積(ji)(ji)極進行檢(jian)修(xiu)維護。