一、半導體設備檢修工具有哪些

半導體設(she)備(bei)是一種高精度的(de)(de)機(ji)器，在現(xian)代(dai)化工(gong)業發展過程中，流水線的(de)(de)生產操作對于(yu)半導體設(she)備(bei)要(yao)求(qiu)較(jiao)高，一旦出(chu)現(xian)故障(zhang)會直接(jie)影響整個企業的(de)(de)生產進程，因此需(xu)要(yao)定(ding)期進行維(wei)修保養，防止出(chu)現(xian)故障(zhang)發生導致停產，對企業造成較(jiao)為嚴重的(de)(de)經濟(ji)損失(shi)，半導體設(she)備(bei)檢修可(ke)以用到哪些工(gong)具？

1、氣浮搬運平臺

氣浮搬運平臺利用空氣懸浮在地面上，與地面不接觸，防止半導體設備受到振動和沖擊，同(tong)時(shi)保(bao)護(hu)地(di)面不受損(sun)傷，可以實現精確(que)的位(wei)置(zhi)控制(zhi)，保(bao)質期四年。

2、帶滑臺爪式千斤頂

帶滑(hua)臺爪式千(qian)斤頂可以實現(xian)前后100mm水平(ping)移動，頂升(sheng)平(ping)穩無(wu)晃動，可以實現(xian)高(gao)精度的升(sheng)降和定位控制(zhi)，可定制(zhi)無(wu)塵型。

3、楔形千斤頂

楔(xie)形千斤(jin)頂只需5mm的縫隙，楔(xie)頭即可(ke)插入起(qi)升至34mm的高度，手柄可(ke)以360度旋轉，能用于狹窄空間。

4、滑動紙

滑(hua)動(dong)紙(zhi)(zhi)人力(li)即(ji)(ji)可推動(dong)1至9噸的(de)重物(wu)，調整范圍為1cm-5cm，半導體設備檢修結(jie)束后抬起(qi)約1mm的(de)高(gao)度即(ji)(ji)可拉(la)出滑(hua)動(dong)紙(zhi)(zhi)，操作簡單，輕松便(bian)攜。

二、半導體設備檢修流程介紹

半導體設(she)備出現故(gu)障后，先(xian)做好總體分析，然后仔細檢查故(gu)障問題。

1、首先，檢查半導體(ti)設備(bei)周圍(wei)的冷凍(dong)機(ji)、真空壓(ya)(ya)縮機(ji)、變(bian)壓(ya)(ya)器等是否運行正常(chang)，如果這(zhe)些設備(bei)都正常(chang)，再排查和檢查半導體(ti)設備(bei)主體(ti)，檢修(xiu)人員貿然拆解半導體(ti)設備(bei)會(hui)損壞元器件(jian)，重(zhong)復的返(fan)工會(hui)浪(lang)費(fei)大(da)量物力(li)、人力(li)和財(cai)力(li)。

2、其次，全面了解半(ban)導(dao)體(ti)設(she)備情(qing)況，確定半(ban)導(dao)體(ti)設(she)備故(gu)障(zhang)(zhang)范圍，有針對性地采用檢修方法，半(ban)導(dao)體(ti)設(she)備包括附加部分(fen)(fen)(fen)、傳(chuan)送(song)部分(fen)(fen)(fen)、動力部分(fen)(fen)(fen)、控制(zhi)(zhi)部分(fen)(fen)(fen)等(deng)，控制(zhi)(zhi)部分(fen)(fen)(fen)是半(ban)導(dao)體(ti)設(she)備中最精密的部分(fen)(fen)(fen)，應重點檢查這個部分(fen)(fen)(fen)，逐(zhu)一排查電(dian)路板模塊(kuai)，反(fan)復進(jin)行對比分(fen)(fen)(fen)析，仔細檢查半(ban)導(dao)體(ti)設(she)備故(gu)障(zhang)(zhang)位置。

3、最后(hou)，仔細清理(li)半(ban)導(dao)(dao)(dao)體設(she)備(bei)灰(hui)(hui)塵，檢(jian)(jian)查各個(ge)板件的焊接(jie)和(he)線路(lu)連(lian)接(jie)，很多半(ban)導(dao)(dao)(dao)體設(she)備(bei)在長時間使用過(guo)程中(zhong)接(jie)口和(he)插頭(tou)容(rong)易(yi)堆積大(da)量灰(hui)(hui)塵導(dao)(dao)(dao)致漏(lou)電事故，線路(lu)板發生(sheng)氧化形成虛焊，對于這些(xie)問題，檢(jian)(jian)修人員應積極進(jin)行檢(jian)(jian)修維護。