一、半導體設備檢修工具有哪些

半導(dao)(dao)體設備(bei)是一種高(gao)精(jing)度(du)的機器，在現代(dai)化(hua)工業發(fa)展過程中，流水線(xian)的生(sheng)(sheng)(sheng)產操作對(dui)于半導(dao)(dao)體設備(bei)要求(qiu)較(jiao)高(gao)，一旦(dan)出現故(gu)障(zhang)會(hui)直接影響整個企業的生(sheng)(sheng)(sheng)產進(jin)程，因此需(xu)要定期(qi)進(jin)行維修(xiu)保養，防(fang)止出現故(gu)障(zhang)發(fa)生(sheng)(sheng)(sheng)導(dao)(dao)致停產，對(dui)企業造成較(jiao)為嚴重的經濟損(sun)失，半導(dao)(dao)體設備(bei)檢修(xiu)可以用到哪些工具？

1、氣浮搬運平臺

氣浮搬運平臺利用空氣懸浮在地面上，與地面不接觸，防止半導體設備受(shou)到(dao)振動和沖擊，同(tong)時(shi)保(bao)護(hu)地面不(bu)受(shou)損傷(shang)，可以實現精確的(de)位置控(kong)制(zhi)，保(bao)質期四年。

2、帶滑臺爪式千斤頂

帶滑臺爪式千斤頂(ding)可(ke)(ke)以(yi)實(shi)現(xian)前后100mm水平移動，頂(ding)升平穩無晃動，可(ke)(ke)以(yi)實(shi)現(xian)高精度(du)的升降和(he)定位控制，可(ke)(ke)定制無塵型(xing)。

3、楔形千斤頂

楔形千(qian)斤頂只需5mm的(de)(de)縫隙，楔頭(tou)即可插入起升(sheng)至(zhi)34mm的(de)(de)高度(du)，手(shou)柄可以360度(du)旋轉(zhuan)，能用于狹窄(zhai)空間。

4、滑動紙

滑動(dong)紙(zhi)人力即可推動(dong)1至9噸(dun)的重物，調整范圍(wei)為1cm-5cm，半導體(ti)設備(bei)檢修結(jie)束后抬起約1mm的高(gao)度(du)即可拉出滑動(dong)紙(zhi)，操作簡單(dan)，輕(qing)松便攜(xie)。

二、半導體設備檢修流程介紹

半(ban)導(dao)體設備出現故障后，先做(zuo)好總體分析，然后仔細檢查故障問題。

1、首先，檢(jian)查半導(dao)體設備周圍的(de)冷凍(dong)機(ji)、真空壓縮機(ji)、變壓器(qi)等是否運行正常(chang)，如果這些設備都正常(chang)，再排查和檢(jian)查半導(dao)體設備主體，檢(jian)修(xiu)人員貿然拆解半導(dao)體設備會(hui)(hui)損(sun)壞元器(qi)件(jian)，重(zhong)復的(de)返工會(hui)(hui)浪費大量(liang)物力(li)、人力(li)和財力(li)。

2、其次，全(quan)面了解半(ban)導體(ti)設備(bei)情況，確定半(ban)導體(ti)設備(bei)故障范圍，有針對(dui)性地采用檢修方法，半(ban)導體(ti)設備(bei)包(bao)括附加部(bu)分(fen)、傳送部(bu)分(fen)、動(dong)力部(bu)分(fen)、控(kong)制部(bu)分(fen)等，控(kong)制部(bu)分(fen)是半(ban)導體(ti)設備(bei)中最精密的部(bu)分(fen)，應重點檢查(cha)這個部(bu)分(fen)，逐一排查(cha)電路板模塊，反復進行對(dui)比分(fen)析，仔細檢查(cha)半(ban)導體(ti)設備(bei)故障位置。

3、最后，仔細清理半導(dao)體設備(bei)灰(hui)塵，檢(jian)(jian)查(cha)各個板(ban)件的焊接和線路(lu)連(lian)接，很多半導(dao)體設備(bei)在長時間使用過(guo)程中接口和插(cha)頭容(rong)易堆積大(da)量灰(hui)塵導(dao)致漏(lou)電事故，線路(lu)板(ban)發生氧化形(xing)成(cheng)虛焊，對于(yu)這些問題，檢(jian)(jian)修(xiu)人員(yuan)應積極進行檢(jian)(jian)修(xiu)維護。