一、半導體設備檢修工具有哪些

半(ban)(ban)導(dao)體(ti)設備(bei)是一(yi)種高精(jing)度的(de)機器，在(zai)現(xian)代化工(gong)業發(fa)展過程中，流(liu)水線的(de)生產操作對于半(ban)(ban)導(dao)體(ti)設備(bei)要求(qiu)較高，一(yi)旦出(chu)現(xian)故(gu)障會直接影響(xiang)整個企業的(de)生產進(jin)程，因此(ci)需要定期(qi)進(jin)行維修保養，防止出(chu)現(xian)故(gu)障發(fa)生導(dao)致停產，對企業造成(cheng)較為嚴重(zhong)的(de)經濟損失，半(ban)(ban)導(dao)體(ti)設備(bei)檢修可以用(yong)到哪些工(gong)具？

1、氣浮搬運平臺

氣浮搬運平臺利用空氣懸浮在地面上，與地面不接觸，防止半導體設備受(shou)到振動和沖擊，同時保(bao)護地面不受(shou)損(sun)傷，可以實現精確(que)的位置控制(zhi)，保(bao)質期四年。

2、帶滑臺爪式千斤頂

帶(dai)滑臺爪式千斤頂(ding)可(ke)以實現(xian)前后100mm水平移動(dong)，頂(ding)升平穩無晃動(dong)，可(ke)以實現(xian)高(gao)精度的升降和定位控制(zhi)，可(ke)定制(zhi)無塵型。

3、楔形千斤頂

楔(xie)形千斤頂只(zhi)需5mm的縫隙，楔(xie)頭即可(ke)插入起升至34mm的高度(du)，手柄可(ke)以360度(du)旋轉，能用于狹窄空間。

4、滑動紙

滑(hua)動(dong)紙人力即可推動(dong)1至9噸的重物，調整范圍(wei)為(wei)1cm-5cm，半(ban)導體設備檢修結束后抬起約(yue)1mm的高度(du)即可拉出滑(hua)動(dong)紙，操作簡單，輕松(song)便(bian)攜。

二、半導體設備檢修流程介紹

半導體(ti)設備(bei)出(chu)現故障后，先做好總(zong)體(ti)分析，然(ran)后仔細(xi)檢(jian)查故障問(wen)題。

1、首(shou)先，檢(jian)查(cha)半導(dao)體設備(bei)周圍的冷(leng)凍機(ji)、真空壓縮(suo)機(ji)、變壓器等是(shi)否運行正常，如果(guo)這些設備(bei)都正常，再排查(cha)和檢(jian)查(cha)半導(dao)體設備(bei)主(zhu)體，檢(jian)修(xiu)人員貿然拆(chai)解半導(dao)體設備(bei)會損壞元(yuan)器件，重(zhong)復的返工會浪費(fei)大量物力、人力和財力。

2、其次，全面了解(jie)半(ban)(ban)(ban)導(dao)體(ti)(ti)設(she)(she)備情況(kuang)，確定(ding)半(ban)(ban)(ban)導(dao)體(ti)(ti)設(she)(she)備故障范圍，有針對性地采用檢(jian)修方法，半(ban)(ban)(ban)導(dao)體(ti)(ti)設(she)(she)備包括附加部分(fen)(fen)(fen)、傳送部分(fen)(fen)(fen)、動力部分(fen)(fen)(fen)、控(kong)制(zhi)部分(fen)(fen)(fen)等，控(kong)制(zhi)部分(fen)(fen)(fen)是半(ban)(ban)(ban)導(dao)體(ti)(ti)設(she)(she)備中最精密的部分(fen)(fen)(fen)，應重點檢(jian)查這個(ge)部分(fen)(fen)(fen)，逐一排查電路板模塊，反復進行對比分(fen)(fen)(fen)析，仔(zi)細檢(jian)查半(ban)(ban)(ban)導(dao)體(ti)(ti)設(she)(she)備故障位置。

3、最后，仔細清理半(ban)導(dao)體(ti)設(she)備灰(hui)塵(chen)，檢查各個(ge)板件的焊(han)接(jie)(jie)和線路(lu)連接(jie)(jie)，很多半(ban)導(dao)體(ti)設(she)備在長時間使用過程中接(jie)(jie)口和插頭容易堆(dui)積(ji)大量灰(hui)塵(chen)導(dao)致漏電事故(gu)，線路(lu)板發(fa)生氧化形成(cheng)虛(xu)焊(han)，對(dui)于(yu)這些問題，檢修人員應積(ji)極進行檢修維護(hu)。