一、半導體設備檢修工具有哪些

半導體(ti)設備是一種高精度的機器，在現(xian)代(dai)化工業(ye)發(fa)展過(guo)程中(zhong)，流水線的生產操作對(dui)于(yu)半導體(ti)設備要(yao)求較(jiao)高，一旦(dan)出(chu)現(xian)故障會直接影響整個企業(ye)的生產進(jin)程，因此(ci)需(xu)要(yao)定期(qi)進(jin)行維修保養，防止出(chu)現(xian)故障發(fa)生導致停產，對(dui)企業(ye)造成較(jiao)為嚴重的經濟損(sun)失，半導體(ti)設備檢修可(ke)以用(yong)到哪些工具？

1、氣浮搬運平臺

氣浮搬運平臺利用空氣懸浮在地面上，與地面不接觸，防止半導體設備受到振動和沖(chong)擊(ji)，同時保(bao)(bao)護地(di)面不受損傷，可以實現精確的位置控(kong)制，保(bao)(bao)質期四年。

2、帶滑臺爪式千斤頂

帶滑臺(tai)爪式千斤頂可以實現前(qian)后100mm水平移動(dong)，頂升平穩(wen)無晃動(dong)，可以實現高精度(du)的升降和定位控制，可定制無塵型。

3、楔形千斤頂

楔形千斤頂只需5mm的縫隙，楔頭即可插入起升至34mm的高度，手柄可以360度旋(xuan)轉，能用(yong)于(yu)狹窄(zhai)空間。

4、滑動紙

滑動紙人力即(ji)可推(tui)動1至9噸的重物(wu)，調(diao)整(zheng)范圍(wei)為1cm-5cm，半(ban)導(dao)體設備(bei)檢(jian)修結束后(hou)抬(tai)起約1mm的高度即(ji)可拉出(chu)滑動紙，操作簡單，輕松便攜(xie)。

二、半導體設備檢修流程介紹

半導體設備出現故障后(hou)，先做好總體分析(xi)，然后(hou)仔細檢查故障問題(ti)。

1、首先(xian)，檢查(cha)半導(dao)(dao)體(ti)(ti)設備周圍的(de)(de)冷凍機、真空(kong)壓(ya)縮機、變壓(ya)器(qi)等是否運行正常(chang)，如果這些設備都(dou)正常(chang)，再排查(cha)和檢查(cha)半導(dao)(dao)體(ti)(ti)設備主體(ti)(ti)，檢修(xiu)人(ren)員貿然拆解半導(dao)(dao)體(ti)(ti)設備會(hui)損壞(huai)元器(qi)件，重復的(de)(de)返工會(hui)浪費大(da)量物力(li)、人(ren)力(li)和財(cai)力(li)。

2、其次(ci)，全面了解半(ban)導體(ti)(ti)設(she)(she)備(bei)情況，確(que)定半(ban)導體(ti)(ti)設(she)(she)備(bei)故障范圍，有針對性地采用檢(jian)(jian)修(xiu)方法，半(ban)導體(ti)(ti)設(she)(she)備(bei)包括(kuo)附加部(bu)分、傳送部(bu)分、動力部(bu)分、控(kong)制部(bu)分等(deng)，控(kong)制部(bu)分是半(ban)導體(ti)(ti)設(she)(she)備(bei)中最精密的部(bu)分，應(ying)重(zhong)點(dian)檢(jian)(jian)查這(zhe)個部(bu)分，逐一排查電路板模塊，反復進行對比(bi)分析，仔(zi)細(xi)檢(jian)(jian)查半(ban)導體(ti)(ti)設(she)(she)備(bei)故障位置。

3、最后(hou)，仔細清理(li)半導體(ti)(ti)設備灰(hui)塵，檢查各(ge)個板件(jian)的焊接(jie)和(he)線路連(lian)接(jie)，很多(duo)半導體(ti)(ti)設備在長時間使用過程(cheng)中(zhong)接(jie)口和(he)插(cha)頭容易堆積大量灰(hui)塵導致漏電事故，線路板發生氧(yang)化形(xing)成虛焊，對于這些問題，檢修(xiu)人員應積極進行檢修(xiu)維護(hu)。