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半導體芯片封裝材料有哪些 半導體封裝設備有哪些

本文章由注冊用戶 荊湖酒徒 上傳提供 2024-04-18 評論 0
摘要:一般半導體芯片都需要進行封裝處理,半導體芯片的封裝處理離不開材料和設備兩個方面,半導體芯片封裝主要用到的材料有封裝基板、封裝框架、塑封料、線材和膠材,使用到的封裝設備則包括減薄機、劃片機、測試機、分選機和探針機。下面一起來詳細了解一下半導體芯片封裝材料有哪些以及半導體封裝設備有哪些吧。

一、半導體芯片封裝材料有哪些

材(cai)(cai)料和設備(bei)是半導體產業的基石(shi),一(yi)代(dai)技術依賴(lai)于(yu)一(yi)代(dai)工藝,一(yi)代(dai)工藝依賴(lai)于(yu)一(yi)代(dai)材(cai)(cai)料和設備(bei)來實現,半導體芯片的封裝材(cai)(cai)料主要有:

1、封裝基板

封裝(zhuang)基(ji)板(ban)可為芯(xin)片提供電連接、保(bao)護、支撐、散熱、組裝(zhuang)等功能,可實現多引腳化,縮小封裝(zhuang)產品體積(ji)、改善電性能及(ji)散熱性、超(chao)高密(mi)度或多芯(xin)片模塊化等效果。

2、封裝框架

封裝(zhuang)框(kuang)(kuang)架(jia)包括框(kuang)(kuang)架(jia)本體(ti)(ti)(ti)(ti)、位于框(kuang)(kuang)架(jia)本體(ti)(ti)(ti)(ti)上(shang)的(de)基(ji)島(dao)、連接(jie)基(ji)島(dao)和框(kuang)(kuang)架(jia)本體(ti)(ti)(ti)(ti)的(de)支撐腳(jiao)(jiao)、連接(jie)框(kuang)(kuang)架(jia)本體(ti)(ti)(ti)(ti)上(shang)與基(ji)島(dao)外(wai)圍的(de)引腳(jiao)(jiao),框(kuang)(kuang)架(jia)本體(ti)(ti)(ti)(ti)上(shang)設(she)有若干金屬(shu)導電(dian)(dian)片,引腳(jiao)(jiao)與金屬(shu)導電(dian)(dian)片電(dian)(dian)性連接(jie),以實現全部或部分引腳(jiao)(jiao)之間的(de)短接(jie)。

3、塑封料

塑(su)封料的作(zuo)用在于(yu)提(ti)供結構(gou)和(he)機械(xie)支(zhi)撐,保護電子元器件(jian)不受環(huan)境的損害(機械(xie)沖擊、水汽、溫度等),維持電路(lu)絕緣性(xing)。

4、線材

線(xian)(xian)(xian)材方(fang)面主要是(shi)金線(xian)(xian)(xian)和銅線(xian)(xian)(xian),目前金線(xian)(xian)(xian)已(yi)經因為高(gao)成(cheng)本,慢慢被(bei)踢出消(xiao)費(fei)類(lei)芯片封裝(zhuang)測試產(chan)品市場;替(ti)而代之的是(shi)銅線(xian)(xian)(xian)、合金線(xian)(xian)(xian)等。

5、膠材

包括(kuo)間接材(cai)料的(de)藍膜(mo)、UV膜(mo),還有(you)銀(yin)膠(jiao)、DAF膜(mo)等。

二、半導體封裝設備有哪些

除(chu)了材料(liao)以(yi)外,半(ban)導(dao)體芯片的(de)封裝還(huan)需要(yao)用到專門的(de)半(ban)導(dao)體封裝設備,主(zhu)要(yao)包括(kuo):

1、減薄機

由于制造工(gong)(gong)(gong)藝的(de)要(yao)求(qiu),對(dui)晶片的(de)尺寸(cun)精度(du)、幾(ji)何精度(du)、表面潔凈度(du)以及表面微晶格結構提出很高要(yao)求(qiu)。因此在(zai)幾(ji)百道(dao)工(gong)(gong)(gong)藝流(liu)程(cheng)中(zhong)只能采用一(yi)定(ding)厚度(du)的(de)晶片在(zai)工(gong)(gong)(gong)藝過(guo)(guo)(guo)程(cheng)中(zhong)傳遞、流(liu)片。通常在(zai)集成電路(lu)封(feng)裝前,需要(yao)對(dui)晶片背面多余的(de)基(ji)體材料去除一(yi)定(ding)的(de)厚度(du)。這一(yi)工(gong)(gong)(gong)藝過(guo)(guo)(guo)程(cheng)稱之為晶片背面減(jian)薄(bo)(bo)工(gong)(gong)(gong)藝,對(dui)應裝備就是(shi)(shi)晶片減(jian)薄(bo)(bo)機(ji)。減(jian)薄(bo)(bo)機(ji)是(shi)(shi)通過(guo)(guo)(guo)減(jian)薄(bo)(bo)/研(yan)磨的(de)方式對(dui)晶片襯底進行減(jian)薄(bo)(bo),改善芯片散熱效果,減(jian)薄(bo)(bo)到(dao)一(yi)定(ding)厚度(du)有利于后期(qi)封(feng)裝工(gong)(gong)(gong)藝。

2、劃片機

劃片(pian)機包括砂輪(lun)劃片(pian)機和(he)激光(guang)劃片(pian)機兩類。其(qi)中,砂輪(lun)劃片(pian)機是綜合了水氣電(dian)、空氣靜壓(ya)高(gao)速主(zhu)(zhu)軸、精密機械傳(chuan)動(dong)、傳(chuan)感器及(ji)自(zi)動(dong)化控(kong)(kong)制等(deng)技術的精密數控(kong)(kong)設備。主(zhu)(zhu)要用于硅集成(cheng)電(dian)路,發光(guang)二極管,鈮酸鋰,壓(ya)電(dian)陶瓷,砷化鎵,藍寶石,氧化鋁,氧化鐵,石英,玻璃(li),陶瓷,太陽(yang)能(neng)電(dian)池片(pian)等(deng)材料的劃切(qie)加工。

激(ji)光劃片(pian)機是(shi)利用(yong)高能(neng)激(ji)光束照射在工(gong)件表面,使被照射區域局部熔(rong)化、氣(qi)化、從而達到(dao)劃片(pian)的目的。因(yin)激(ji)光是(shi)經專用(yong)光學系統聚焦(jiao)后成為(wei)一個非常小的光點,能(neng)量密度高,因(yin)其加(jia)工(gong)是(shi)非接觸式的,對工(gong)件本身(shen)無機械沖(chong)壓(ya)力(li),工(gong)件不易變形。熱(re)影(ying)響極小,劃精度高,廣泛應(ying)用(yong)于太(tai)陽能(neng)電(dian)池板、薄金屬片(pian)的切割和劃片(pian)。

3、測試機

測(ce)試機(ji)(ji)(ji)是檢測(ce)芯片(pian)功(gong)(gong)能(neng)和(he)性能(neng)的專用設備。測(ce)試時,測(ce)試機(ji)(ji)(ji)對待測(ce)芯片(pian)施加輸(shu)(shu)入信(xin)(xin)號,得到(dao)輸(shu)(shu)出信(xin)(xin)號與預期值進行(xing)比(bi)較(jiao),判斷芯片(pian)的電性性能(neng)和(he)產(chan)品功(gong)(gong)能(neng)的有(you)效(xiao)性。在(zai)CP、FT檢測(ce)環(huan)節內,測(ce)試機(ji)(ji)(ji)會分(fen)別將結(jie)果傳輸(shu)(shu)給(gei)探(tan)針臺(tai)和(he)分(fen)選機(ji)(ji)(ji)。當探(tan)針臺(tai)接收到(dao)測(ce)試結(jie)果后,會進行(xing)噴墨操作(zuo)以標記出晶(jing)圓上有(you)缺損的芯片(pian);而(er)當分(fen)選器(qi)接收到(dao)來自測(ce)試機(ji)(ji)(ji)的結(jie)果后,則會對芯片(pian)進行(xing)取舍和(he)分(fen)類。

4、分選機

分(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)選設(she)備應用于芯(xin)片(pian)封裝之(zhi)后(hou)的FT測(ce)試(shi)(shi)(shi)環節(jie),它是提供芯(xin)片(pian)篩(shai)選、分(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)類功(gong)能(neng)的后(hou)道測(ce)試(shi)(shi)(shi)設(she)備。分(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)選機負責將輸入的芯(xin)片(pian)按(an)照系統(tong)設(she)計的取放(fang)方(fang)式運輸到測(ce)試(shi)(shi)(shi)模塊完成電(dian)路(lu)壓測(ce),在此步驟(zou)內分(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)選機依據測(ce)試(shi)(shi)(shi)結果(guo)對(dui)電(dian)路(lu)進行取舍(she)和分(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)類。分(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)選機按(an)照系統(tong)結構可以分(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)為三大類別,即重力式(Gravity)分(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)選機、轉塔式(Turret)分(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)選機、平移(yi)拾取和放(fang)置式(PickandPlace)分(fen)(fen)(fen)(fen)(fen)選機。

5、探針機

探(tan)針(zhen)臺用于晶(jing)圓(yuan)加工之后、芯片封裝工藝之前的CP測(ce)試(shi)環節,負責晶(jing)圓(yuan)的輸送(song)與定(ding)位(wei),使晶(jing)圓(yuan)上(shang)的晶(jing)粒依次與探(tan)針(zhen)接觸并逐(zhu)個(ge)測(ce)試(shi)。探(tan)針(zhen)臺的工作流程為(wei):通過(guo)載片臺將晶(jing)圓(yuan)移(yi)動(dong)(dong)到(dao)晶(jing)圓(yuan)相(xiang)機(ji)下→通過(guo)晶(jing)圓(yuan)相(xiang)機(ji)拍攝晶(jing)圓(yuan)圖像,確定(ding)晶(jing)圓(yuan)位(wei)置→將探(tan)針(zhen)相(xiang)機(ji)移(yi)動(dong)(dong)到(dao)探(tan)針(zhen)卡下,確定(ding)探(tan)針(zhen)頭位(wei)置→將晶(jing)圓(yuan)移(yi)動(dong)(dong)到(dao)探(tan)針(zhen)卡下→通過(guo)載片臺垂(chui)直(zhi)方(fang)向(xiang)運動(dong)(dong)實現(xian)對針(zhen)。

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