一、芯片封裝需要光刻機嗎
光刻機是制造芯片的核心裝備,很多朋友都知道,一般是芯片制造過程中使用,芯片封裝和(he)芯(xin)片制(zhi)造不同,那么芯(xin)片封裝(zhuang)要用(yong)光刻機嗎?
一般來說(shuo),普通(tong)芯(xin)片(pian)封(feng)裝不需要(yao)用到(dao)光(guang)刻(ke)機(ji),不過(guo)高端芯(xin)片(pian)封(feng)測(ce),比(bi)如晶圓(yuan)級封(feng)測(ce),就需要(yao)用到(dao)光(guang)刻(ke)機(ji)。不過(guo)值得一提的(de)是(shi),芯(xin)片(pian)封(feng)裝用的(de)光(guang)刻(ke)機(ji)和我(wo)們平時常說(shuo)的(de)光(guang)刻(ke)機(ji)其實是(shi)有(you)所不同的(de)。
二、芯片封裝用的什么光刻機
芯片封裝用的光刻機是封裝光刻機,又叫后道光刻機;而我們常說的卡脖子的光刻機,實際上是(shi)用于晶(jing)圓制造(zao)的前道光刻(ke)機:
1、前道(dao)光(guang)刻(ke)機又分為EUV和DUV光(guang)刻(ke)機。EUV也就是“極深(shen)紫(zi)(zi)外線”的意(yi)(yi)思(si),EUV能滿足(zu)10nm以下的晶圓制造;而DUV是“深(shen)紫(zi)(zi)外線”的意(yi)(yi)思(si),DUV基本上只能做(zuo)到25nm。
2、后道光刻機是用于芯片封裝,相比前道光(guang)刻(ke)機(ji)(ji)(ji)來說,技術含量要低不少(shao),精度方面也有(you)所差(cha)距,后道光(guang)刻(ke)機(ji)(ji)(ji)已經可以國產(chan)了,并且很(hen)多國產(chan)的(de)封裝光(guang)刻(ke)機(ji)(ji)(ji)在后道光(guang)刻(ke)機(ji)(ji)(ji)領域做到了世界領先水平(ping)。