一、芯片封裝需要光刻機嗎
光刻機是制造芯片的核心裝備,很多朋友都知道,一般是芯片制造過程中使用,芯片封裝和芯(xin)片(pian)制造不同,那么芯(xin)片(pian)封裝要用光(guang)刻機(ji)嗎?
一般來說,普通(tong)芯片(pian)封(feng)裝(zhuang)不需要用(yong)到(dao)光(guang)(guang)刻(ke)機,不過高(gao)端芯片(pian)封(feng)測,比如(ru)晶圓級封(feng)測,就需要用(yong)到(dao)光(guang)(guang)刻(ke)機。不過值得一提的是,芯片(pian)封(feng)裝(zhuang)用(yong)的光(guang)(guang)刻(ke)機和我們平時常說的光(guang)(guang)刻(ke)機其實是有所不同的。
二、芯片封裝用的什么光刻機
芯片封裝用的光刻機是封裝光刻機,又叫后道光刻機;而我們常說的卡脖子的光刻機,實際上是(shi)用于晶(jing)圓制造的前道光刻(ke)機:
1、前道光刻(ke)機(ji)又(you)分(fen)為EUV和DUV光刻(ke)機(ji)。EUV也就(jiu)是“極深紫(zi)外(wai)線(xian)”的意思,EUV能(neng)滿足10nm以下的晶圓制造;而DUV是“深紫(zi)外(wai)線(xian)”的意思,DUV基本上只(zhi)能(neng)做到25nm。
2、后道光刻機是用于芯片封裝,相比前(qian)道光(guang)刻機(ji)來說,技術含(han)量要低不少,精度方面也有所差距,后道光(guang)刻機(ji)已經可以國(guo)產(chan)了(le)(le),并且很多(duo)國(guo)產(chan)的封裝光(guang)刻機(ji)在后道光(guang)刻機(ji)領域做(zuo)到了(le)(le)世界領先水(shui)平。