1、根據不(bu)同材(cai)質劃分

（1）金屬靶材

鎳(nie)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Ni、鈦(tai)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Ti、鋅靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Zn、鉻(ge)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Cr、鎂靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Mg、鈮(ni)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Nb、錫靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Sn、鋁(lv)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Al、銦靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)In、鐵(tie)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Fe、鋯鋁(lv)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)ZrAl、鈦(tai)鋁(lv)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)TiAl、鋯靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Zr、鋁(lv)硅(gui)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)AlSi、硅(gui)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Si、銅(tong)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Cu、鉭靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Ta、鍺靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Ge、銀(yin)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Ag、鈷(gu)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Co、金靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Au、釓靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Gd、鑭靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)La、釔靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Y、鈰靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Ce、不銹(xiu)鋼靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、鎳(nie)鉻(ge)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)NiCr、鉿靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Hf、鉬靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Mo、鐵(tie)鎳(nie)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)FeNi、鎢靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、W等。

（2）陶瓷靶材

ITO靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、氧(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鎂靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、氧(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鐵靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、氮(dan)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)硅(gui)(gui)(gui)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、碳化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)硅(gui)(gui)(gui)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、氮(dan)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鈦靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、氧(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鉻靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、氧(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鋅靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、硫(liu)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鋅靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、二(er)(er)(er)(er)氧(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)硅(gui)(gui)(gui)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、一氧(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)硅(gui)(gui)(gui)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、氧(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鈰靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、二(er)(er)(er)(er)氧(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鋯(gao)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、五(wu)氧(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)二(er)(er)(er)(er)鈮(ni)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、二(er)(er)(er)(er)氧(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鈦靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、二(er)(er)(er)(er)氧(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鋯(gao)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)，、二(er)(er)(er)(er)氧(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鉿靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)，二(er)(er)(er)(er)硼(peng)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鈦靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)，二(er)(er)(er)(er)硼(peng)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鋯(gao)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)，三氧(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鎢(wu)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)，三氧(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)二(er)(er)(er)(er)鋁靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)五(wu)氧(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)二(er)(er)(er)(er)鉭，五(wu)氧(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)二(er)(er)(er)(er)鈮(ni)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、氟化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鎂靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、氟化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)釔靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、硒化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鋅靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、氮(dan)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鋁靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)，氮(dan)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)硅(gui)(gui)(gui)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)，氮(dan)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)硼(peng)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)，氮(dan)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鈦靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)，碳化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)硅(gui)(gui)(gui)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)，鈮(ni)酸鋰靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、鈦酸鐠靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、鈦酸鋇靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、鈦酸鑭靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、氧(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鎳靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、濺射靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)材等(deng)。

（3）合金靶材

鐵鈷(gu)靶(ba)FeCo、鋁(lv)(lv)硅(gui)靶(ba)AlSi、鈦硅(gui)靶(ba)TiSi、鉻硅(gui)靶(ba)CrSi、鋅鋁(lv)(lv)靶(ba)ZnAl、鈦鋅靶(ba)材TiZn、鈦鋁(lv)(lv)靶(ba)TiAl、鈦鋯靶(ba)TiZr、鈦硅(gui)靶(ba)TiSi、鈦鎳(nie)(nie)(nie)靶(ba)TiNi、鎳(nie)(nie)(nie)鉻靶(ba)NiCr、鎳(nie)(nie)(nie)鋁(lv)(lv)靶(ba)NiAl、鎳(nie)(nie)(nie)釩靶(ba)NiV、鎳(nie)(nie)(nie)鐵靶(ba)NiFe等。

2、根據不(bu)同應(ying)用(yong)方向劃分

（1）半導體關聯靶(ba)材

電極(ji)、布(bu)線薄膜：鋁靶(ba)(ba)(ba)材(cai)，銅(tong)(tong)靶(ba)(ba)(ba)材(cai)，金(jin)靶(ba)(ba)(ba)材(cai)，銀靶(ba)(ba)(ba)材(cai)，鈀靶(ba)(ba)(ba)材(cai)，鉑靶(ba)(ba)(ba)材(cai)，鋁硅合金(jin)靶(ba)(ba)(ba)材(cai)，鋁硅銅(tong)(tong)合金(jin)靶(ba)(ba)(ba)材(cai)等。

儲(chu)存器電(dian)極薄(bo)膜：鉬靶材，鎢靶材，鈦靶材等(deng)。

粘附薄膜：鎢靶(ba)材，鈦靶(ba)材等。

電容器(qi)絕緣膜薄膜：鋯鈦酸鉛(qian)靶(ba)材等。

（2）磁記錄(lu)靶材

垂直磁記(ji)錄(lu)薄膜：鈷鉻合金靶材等。

硬盤(pan)用薄膜：鈷鉻(ge)(ge)鉭合(he)金靶(ba)材，鈷鉻(ge)(ge)鉑合(he)金靶(ba)材，鈷鉻(ge)(ge)鉭鉑合(he)金靶(ba)材等。

薄膜(mo)磁頭：鈷鉭鉻合(he)金(jin)靶(ba)材，鈷鉻鋯合(he)金(jin)靶(ba)材等。

人工晶體薄膜(mo)：鈷(gu)鉑合金(jin)靶(ba)材(cai)，鈷(gu)鈀合金(jin)靶(ba)材(cai)等。

（3）光記錄靶材

相(xiang)變(bian)光盤記錄(lu)薄膜(mo)：硒(xi)化碲(di)(di)靶材，硒(xi)化銻(ti)靶材，鍺銻(ti)碲(di)(di)合(he)金靶材，鍺碲(di)(di)合(he)金靶材等(deng)。

磁光盤記錄(lu)薄(bo)膜(mo)：鏑鐵鈷(gu)合金靶(ba)材，鋱(te)鏑鐵合金靶(ba)材，鋱(te)鐵鈷(gu)合金靶(ba)材，氧(yang)化(hua)鋁靶(ba)材，氧(yang)化(hua)鎂靶(ba)材，氮化(hua)硅靶(ba)材等。