1、根(gen)據不同材(cai)質劃分

（1）金屬靶材

鎳靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Ni、鈦靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Ti、鋅靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Zn、鉻(ge)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Cr、鎂靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Mg、鈮靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Nb、錫靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Sn、鋁靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Al、銦靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)In、鐵靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Fe、鋯鋁靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)ZrAl、鈦鋁靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)TiAl、鋯靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Zr、鋁硅靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)AlSi、硅靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Si、銅靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Cu、鉭靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Ta、鍺(zang)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Ge、銀(yin)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Ag、鈷靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Co、金靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Au、釓靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Gd、鑭靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)La、釔靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Y、鈰靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Ce、不銹(xiu)鋼靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、鎳鉻(ge)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)NiCr、鉿(jia)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Hf、鉬(mu)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Mo、鐵鎳靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)FeNi、鎢靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、W等。

（2）陶瓷靶材

ITO靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、氧(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鎂靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、氧(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鐵靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、氮(dan)(dan)(dan)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)硅(gui)(gui)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、碳化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)硅(gui)(gui)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、氮(dan)(dan)(dan)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鈦(tai)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、氧(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鉻(ge)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、氧(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鋅(xin)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、硫化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鋅(xin)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、二(er)(er)(er)氧(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)硅(gui)(gui)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、一(yi)氧(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)硅(gui)(gui)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、氧(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鈰靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、二(er)(er)(er)氧(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鋯靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、五(wu)氧(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)二(er)(er)(er)鈮靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、二(er)(er)(er)氧(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鈦(tai)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、二(er)(er)(er)氧(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鋯靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)，、二(er)(er)(er)氧(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鉿靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)，二(er)(er)(er)硼(peng)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鈦(tai)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)，二(er)(er)(er)硼(peng)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鋯靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)，三(san)氧(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鎢靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)，三(san)氧(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)二(er)(er)(er)鋁靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)五(wu)氧(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)二(er)(er)(er)鉭(tan)，五(wu)氧(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)二(er)(er)(er)鈮靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、氟化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鎂靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、氟化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)釔靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、硒化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鋅(xin)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、氮(dan)(dan)(dan)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鋁靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)，氮(dan)(dan)(dan)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)硅(gui)(gui)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)，氮(dan)(dan)(dan)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)硼(peng)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)，氮(dan)(dan)(dan)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鈦(tai)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)，碳化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)硅(gui)(gui)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)，鈮酸鋰靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、鈦(tai)酸鐠(pu)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、鈦(tai)酸鋇靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、鈦(tai)酸鑭靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、氧(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鎳(nie)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、濺射靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)材(cai)等。

（3）合金靶材

鐵(tie)鈷靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)FeCo、鋁(lv)硅靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)AlSi、鈦硅靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)TiSi、鉻硅靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)CrSi、鋅(xin)鋁(lv)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)ZnAl、鈦鋅(xin)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)材TiZn、鈦鋁(lv)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)TiAl、鈦鋯靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)TiZr、鈦硅靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)TiSi、鈦鎳靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)TiNi、鎳鉻靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)NiCr、鎳鋁(lv)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)NiAl、鎳釩靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)NiV、鎳鐵(tie)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)NiFe等。

2、根(gen)據不(bu)同應用方(fang)向劃(hua)分

（1）半(ban)導體關聯靶材

電極、布線薄(bo)膜(mo)：鋁靶(ba)(ba)材(cai)(cai)，銅(tong)靶(ba)(ba)材(cai)(cai)，金靶(ba)(ba)材(cai)(cai)，銀靶(ba)(ba)材(cai)(cai)，鈀靶(ba)(ba)材(cai)(cai)，鉑(bo)靶(ba)(ba)材(cai)(cai)，鋁硅(gui)合金靶(ba)(ba)材(cai)(cai)，鋁硅(gui)銅(tong)合金靶(ba)(ba)材(cai)(cai)等。

儲(chu)存器電極薄膜：鉬靶(ba)材(cai)，鎢靶(ba)材(cai)，鈦靶(ba)材(cai)等。

粘(zhan)附薄膜：鎢靶材，鈦靶材等。

電容器絕緣(yuan)膜薄膜：鋯鈦酸鉛靶材(cai)等。

（2）磁記錄靶(ba)材

垂直磁記錄薄膜：鈷鉻(ge)合(he)金靶(ba)材等。

硬盤(pan)用薄膜(mo)：鈷(gu)鉻鉭合金靶材(cai)，鈷(gu)鉻鉑合金靶材(cai)，鈷(gu)鉻鉭鉑合金靶材(cai)等(deng)。

薄膜磁頭(tou)：鈷(gu)鉭鉻合(he)金靶(ba)材，鈷(gu)鉻鋯合(he)金靶(ba)材等。

人(ren)工晶體薄膜：鈷鉑合金靶(ba)材，鈷鈀(ba)合金靶(ba)材等。

（3）光記錄靶材

相變光盤記(ji)錄薄(bo)膜(mo)：硒(xi)化(hua)碲(di)靶材，硒(xi)化(hua)銻(ti)靶材，鍺銻(ti)碲(di)合金靶材，鍺碲(di)合金靶材等。

磁光盤記錄薄(bo)膜：鏑鐵(tie)鈷合(he)金靶(ba)材(cai)(cai)(cai)，鋱鏑鐵(tie)合(he)金靶(ba)材(cai)(cai)(cai)，鋱鐵(tie)鈷合(he)金靶(ba)材(cai)(cai)(cai)，氧化鋁靶(ba)材(cai)(cai)(cai)，氧化鎂靶(ba)材(cai)(cai)(cai)，氮化硅靶(ba)材(cai)(cai)(cai)等(deng)。