一、多弧離子反應鍍膜設備可鍍色彩

1、鍍(du)銀灰色∶用鈦靶材，真(zhen)空鍍(du)抽(chou)至(zhi)1.5×10-2Pa，充Ar（氬氣(qi)）至(zhi)1.0×10-1Pa左(zuo)右鍍(du)三分鐘左(zuo)右。（產生Ti金屬層）

2、鍍(du)銀白(bai)色∶用鉻靶(ba)材(cai)，真空度抽至1.0×10-2Pa，充(chong)Ar（氬氣）至1.5×10-1Pa左右鍍(du)三分鐘左右。（產生Cr金屬層(ceng)）

3、鍍金色∶用鈦靶(ba)材(cai)，真空度抽(chou)至(zhi)1.5×10-2Pa，充Ar（氬(ya)(ya)氣(qi)）至(zhi)1×10-1Pa鍍60秒—關氬(ya)(ya)氣(qi)（Ar）—開氮氣(qi)至(zhi)2~4×10-1Pa鍍4分鐘左右（產生TiN化合物）

4、鍍古銅色∶用一半鈦靶材，一半鈦(tai)鋁靶(ba)材，充(chong)Ar（氬(ya)氣(qi)）至1×10Pa-1開鈦(tai)靶(ba)鍍(du)50秒—關(guan)Ar（氬(ya)氣(qi)）開氮氣(qi)至1×10-1Pa—開鈦(tai)靶(ba)、鈦(tai)鋁靶(ba)—充(chong)乙炔150流量左右，氮氣(qi)調至3×10-1Pa左右，鍍(du)4分鐘（加(jia)熱爐體至200°C左右）。（產生TiCN和TiN化合物）

5、鍍玫瑰金色∶跟古銅(tong)(tong)色一樣(yang)操作，只是乙炔在60流量左(zuo)右(you)(you)，氮氣(qi)(qi)調(diao)至(zhi)2.5×10-1Pa左(zuo)右(you)(you)（氮氣(qi)(qi)、乙炔要(yao)同時加進(jin)去反(fan)應，乙炔要(yao)保持不(bu)變，真(zhen)空度多(duo)少只調(diao)節氮氣(qi)(qi)流量，古銅(tong)(tong)跟玫瑰金同樣(yang)調(diao)節）。（產生TiCN化合物(wu)）

6、鍍(du)五彩色∶用鈦靶材，充Ar（氬氣）至1.0×10-1Pa鍍(du)1分鐘后(hou)(hou)，關氬氣，開N氮氣至2.5×10-1Pa鍍(du)70秒(miao)后(hou)(hou)關氮氣，開氧(yang)氣O2至4.5×10-1Pa鍍(du)160秒(miao)左右，（產生TiO2、Ti2O3等氧(yang)化(hua)物）

7、鍍珠光色∶用(yong)鈦靶材，充O2（氧(yang)氣(qi)）在(zai)6.5×10-1Pa~7.5×10-1Pa不變(bian)動，鍍40秒(miao)左右即可(ke)，注意同時引(yin)弧(hu)，加熱爐(lu)體至(zhi)180°C。（產生(sheng)TiO2、Ti2O3等氧(yang)化物）

8、鍍(du)18K金色∶用鋯靶(ba)材(cai)，充Ar（氬氣(qi)）至1.0×10-1Pa鍍(du)30秒(miao)，關氬氣(qi)，開氮氣(qi)至2~4×10-1Pa左右鍍(du)3~4分鐘(zhong)即可(ke)。（產(chan)生ZrN化合物）

9、鍍土豪金色∶裝(zhuang)一(yi)半(ban)鈦靶材，一(yi)半(ban)錯靶材，充(chong)Ar（（氬(ya)氣(qi)）1.0×10-1Pa鍍鈦靶30秒(miao)后關氬(ya)氣(qi)，開氮(dan)氣(qi)至2~4×10-1Pa左右(you)，開鈦靶、鋯靶，鍍4分鐘左右(you)。（產生TiZrN化合物）

10、鍍(du)透明七彩(cai)色（AB彩(cai)）∶用鈦(tai)靶(ba)材，充O2（氧(yang)氣）至6.5~7.5×10-1Pa鍍(du)4分鐘左右，加熱(re)爐戶溫150°C。（產生TiO2、Ti2O3；TiO、等(deng)氧(yang)化物）

11、鍍酒(jiu)紅色(se)∶用鐵(tie)靶材，充(chong)O2（氧氣）至7.5~9.5×10-1Pa鍍4~6分鐘(zhong)，加熱(re)爐溫(wen)150°℃左(zuo)右，弧焊機(ji)電(dian)流在150A左(zuo)右（產(chan)生Fe2O3氧化物）。

12、鍍琥珀色∶用(yong)鐵(tie)靶材，充O2（氧氣）至7.5~9.5×10-1Pa鍍1.5~2.5分鐘，加熱爐(lu)溫150℃左右，弧焊機電(dian)流(liu)在150A左右。（產(chan)生Fe2O3氧化物）

13、鍍(du)寶石藍色，用(yong)鈦靶材(cai)，充Ar（氬氣）至1.0×10-1Pa鍍(du)60秒后關氯(lv)氣，開氮氣800-900流(liu)量，同時開氧(yang)(yang)氣1000-1130流(liu)量（真空控制在2.5~3.5×10-1Pa鍍(du)110秒左右）。（產(chan)生(sheng)TiO2、Ti2O3、TiO、等氧(yang)(yang)化(hua)物和TiN化(hua)合(he)(he)物的混合(he)(he)膜層）

14、鍍(du)紫色∶同十(shi)三號工藝，充氮(dan)氣(qi)和氧氣(qi)的鍍(du)膜時間控(kong)制在60-70秒左右(you)，真(zhen)空(kong)在2.5~3.8×10-1Pa左右(you)即可(ke)。

15、鍍鉻黑色∶用鈦(tai)Ti和鉻靶材，先充入(ru)(ru)氬氣(qi)Ar在(zai)1×10-1Pa鍍60秒(miao)(miao)左右，關鈦(tai)靶，開鉻靶，關小氯氣(qi)至80-120流量再通入(ru)(ru)CH乙快氣(qi)至8~9.0×10-1Pa，鍍300秒(miao)(miao)左右。（產生CrC黑色膜層）

16、鍍槍黑色∶用鈦靶(ba)材，充入(ru)Ar氣在1.0×10-1Pa鍍60秒后(hou)，關小(xiao)氬氣至80-120流量(liang)，再(zai)通入(ru)CH乙炔氣在8~9×10-1Pa鍍300秒左右。（產生TiC化(hua)合(he)物(wu)膜層）。

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二、各種靶材對應的PVD鍍膜顏色

選擇靶材種類(lei)、材質和(he)氣(qi)(qi)(qi)體（氮氣(qi)(qi)(qi)、氧(yang)氣(qi)(qi)(qi)、乙(yi)炔、甲烷、等），確(que)定靶材及氣(qi)(qi)(qi)體種類(lei)，然后調整氣(qi)(qi)(qi)體比(bi)例、用量、濺射功率、濺射時間(jian)、基材處理溫度、濺射溫度、濺射時間(jian)等工藝參數(shu)，制(zhi)備(bei)出顏(yan)色(se)膜層(ceng)，廣泛應用于裝飾性鍍(du)膜行業。

靶材膜層顏色可調的PVD鍍膜方法

1、鍍(du)(du)金(jin)(jin)(jin)屬(shu)膜(mo)層，將待鍍(du)(du)產品傳入裝有(you)金(jin)(jin)(jin)屬(shu)靶材(cai)的(de)鍍(du)(du)膜(mo)腔室，開啟泵抽(chou)真(zhen)空及加(jia)熱裝置進行基(ji)底加(jia)熱，使得(de)本底真(zhen)空達到1×10-3Pa及達到80-150℃工(gong)藝溫度(du)后，向腔室通入10-1000sccm的(de)氬氣，啟動濺射(she)電源，設置濺射(she)功率(lv)1-15KW，鍍(du)(du)膜(mo)時間10-300S，得(de)到厚度(du)為(wei)1-100nm的(de)金(jin)(jin)(jin)屬(shu)膜(mo)層，金(jin)(jin)(jin)屬(shu)膜(mo)層為(wei)銅（Cu）、銀（Ag）、鋁（Al）、鉻(ge)（Cr）等(deng)金(jin)(jin)(jin)屬(shu)膜(mo)層，或鎳銅（NiCu）、鎳鉻(ge)（NiCr）等(deng)合金(jin)(jin)(jin)膜(mo)層。

2、鍍低(di)折(zhe)射(she)率(lv)(lv)膜(mo)(mo)層(ceng)(ceng)(ceng)，將(jiang)鍍完金屬膜(mo)(mo)層(ceng)(ceng)(ceng)的(de)(de)產品傳入裝有可形成低(di)折(zhe)射(she)率(lv)(lv)膜(mo)(mo)層(ceng)(ceng)(ceng)的(de)(de)靶(ba)材鍍膜(mo)(mo)腔(qiang)室，加熱達到(dao)80-150℃的(de)(de)工藝溫度，向(xiang)腔(qiang)室通入工藝氣(qi)體，設置(zhi)濺射(she)功率(lv)(lv)1-15KW，鍍膜(mo)(mo)時間1-300S，得到(dao)厚度為1-100nm的(de)(de)低(di)折(zhe)射(she)率(lv)(lv)膜(mo)(mo)層(ceng)(ceng)(ceng)，此低(di)折(zhe)射(she)率(lv)(lv)膜(mo)(mo)層(ceng)(ceng)(ceng)為氧化硅(gui)、氮(dan)化硅(gui)等膜(mo)(mo)層(ceng)(ceng)(ceng)。

3、鍍高(gao)折射(she)率膜(mo)(mo)層(ceng)(ceng)，將鍍完低折射(she)率膜(mo)(mo)層(ceng)(ceng)的(de)(de)(de)產品傳入裝(zhuang)有可形成高(gao)折射(she)率膜(mo)(mo)層(ceng)(ceng)的(de)(de)(de)靶材(cai)鍍膜(mo)(mo)腔室，加(jia)熱(re)達到80-150℃的(de)(de)(de)工(gong)藝(yi)(yi)溫度(du)，向腔室通入工(gong)藝(yi)(yi)氣體，設(she)置濺(jian)射(she)功率1-15KW，鍍膜(mo)(mo)時(shi)間1-300S，得到厚度(du)為(wei)1-100nm的(de)(de)(de)高(gao)折射(she)率膜(mo)(mo)層(ceng)(ceng)，所述高(gao)折射(she)率膜(mo)(mo)層(ceng)(ceng)為(wei)氧(yang)(yang)化(hua)(hua)鈦、氮(dan)化(hua)(hua)鈦、氧(yang)(yang)化(hua)(hua)鋯(gao)、氮(dan)化(hua)(hua)鋯(gao)、氧(yang)(yang)化(hua)(hua)鈮(ni)、氮(dan)化(hua)(hua)鈮(ni)、氧(yang)(yang)化(hua)(hua)鋅(xin)、氧(yang)(yang)化(hua)(hua)銦、氧(yang)(yang)化(hua)(hua)鋁(lv)、氧(yang)(yang)化(hua)(hua)鐵(tie)、氧(yang)(yang)化(hua)(hua)鉻(ge)、氮(dan)化(hua)(hua)鉻(ge)等膜(mo)(mo)層(ceng)(ceng)，此(ci)高(gao)低折射(she)膜(mo)(mo)層(ceng)(ceng)的(de)(de)(de)工(gong)藝(yi)(yi)氣體為(wei)Ar、N2、O2中(zhong)的(de)(de)(de)至少一種，其(qi)中(zhong)Ar氣體流(liu)量(liang)為(wei)10-1000sccm，N2氣體流(liu)量(liang)為(wei)10-1000sccm，O2氣體流(liu)量(liang)為(wei)10-1000sccm。

4、重復(fu)步(bu)(bu)(bu)驟(zou)二(er)和步(bu)(bu)(bu)驟(zou)三(san)(san)數次，得到不同顏色(se)的(de)膜層，重復(fu)步(bu)(bu)(bu)驟(zou)二(er)和步(bu)(bu)(bu)驟(zou)三(san)(san)的(de)次數為1-100次。

以下是PVD真空鍍膜(mo)裝飾(shi)薄膜(mo)常用材料(liao)及(ji)其常用氣體制作的各類裝飾(shi)顏色涂(tu)層：

鋯靶+氮氣：黃綠(lv)金(jin)黃色(se)

鋯靶(ba)+甲烷：深淺黑(hei)色

鋯+氧(yang)氣：白色、透明膜(mo)

鋯靶+氮氣+甲(jia)烷：金色、仿玫瑰金

鉻靶+甲(jia)烷：深淺黑色

鉻靶(ba)+氮氣：淺黑色

鉻靶+氮氣+甲烷：銀灰色

鉻靶+氧氣：黃色、紫色、綠色

鉻靶(ba)+氧氣：銀色

不銹鋼靶+氧氣：紫色

不銹鋼靶(ba)+氮(dan)氣(qi)：藍色(se)

不(bu)銹鋼靶+甲烷：亮(liang)黑色

不(bu)銹鋼(gang)靶+甲烷+氮氣(qi)：藍黑色

硅+氮氣：黑色

硅靶(ba)+氧(yang)氣：混濁白、透(tou)明膜

硅靶(ba)+甲烷：黃色(se)(se)、綠色(se)(se)、藍色(se)(se)、黑色(se)(se)（靶(ba)材純度高于99%僅(jin)能調(diao)黑色(se)(se)）

鈦靶(ba)+氧(yang)氣：光學膜七彩截色(se)

鈦靶(ba)+甲烷：深淺(qian)黑色（DLC制備不能達標）

鈦(tai)靶+氮(dan)氣(qi)：仿(fang)金(jin)色、黃銅色、紫色、紅色

鈦靶+氮氣+甲烷(wan)：仿玫瑰金、黑綠色(se)、復古黃、棕(zong)色(se)、紫色(se)

鎢靶(ba)+氮氣(qi)：棕黃色

鎢靶+甲(jia)烷：深淺黑色(se)

鎢靶+氧氣：紫色(se)、鮮黃色(se)、棕(zong)色(se)、藍(lan)色(se)