一、多弧離子反應鍍膜設備可鍍色彩

1、鍍銀灰色∶用鈦(tai)靶材，真空鍍抽(chou)至1.5×10-2Pa，充(chong)Ar（氬氣）至1.0×10-1Pa左右鍍三(san)分鐘左右。（產生Ti金屬層(ceng)）

2、鍍(du)銀白色∶用鉻靶(ba)材，真空度(du)抽至(zhi)1.0×10-2Pa，充Ar（氬氣）至(zhi)1.5×10-1Pa左(zuo)右(you)鍍(du)三分鐘(zhong)左(zuo)右(you)。（產生Cr金屬(shu)層(ceng)）

3、鍍金色∶用鈦靶材，真空(kong)度抽至(zhi)1.5×10-2Pa，充Ar（氬(ya)氣(qi)）至(zhi)1×10-1Pa鍍60秒—關(guan)氬(ya)氣(qi)（Ar）—開(kai)氮氣(qi)至(zhi)2~4×10-1Pa鍍4分鐘左右（產生TiN化(hua)合物）

4、鍍古銅色∶用一半鈦靶材，一半鈦鋁靶(ba)(ba)(ba)材(cai)，充Ar（氬氣）至1×10Pa-1開(kai)鈦靶(ba)(ba)(ba)鍍50秒(miao)—關Ar（氬氣）開(kai)氮(dan)氣至1×10-1Pa—開(kai)鈦靶(ba)(ba)(ba)、鈦鋁靶(ba)(ba)(ba)—充乙(yi)炔150流(liu)量(liang)左(zuo)右，氮(dan)氣調(diao)至3×10-1Pa左(zuo)右，鍍4分鐘(zhong)（加熱爐體至200°C左(zuo)右）。（產生TiCN和(he)TiN化合物）

5、鍍玫瑰金色∶跟(gen)古銅(tong)色一樣操(cao)作，只是乙炔在60流量左右，氮氣調至2.5×10-1Pa左右（氮氣、乙炔要同(tong)時加進去反應(ying)，乙炔要保(bao)持不變，真空(kong)度多少只調節氮氣流量，古銅(tong)跟(gen)玫瑰金同(tong)樣調節）。（產生TiCN化(hua)合物）

6、鍍(du)五(wu)彩色∶用鈦(tai)靶材，充(chong)Ar（氬(ya)氣(qi)(qi)(qi)）至(zhi)1.0×10-1Pa鍍(du)1分(fen)鐘后，關氬(ya)氣(qi)(qi)(qi)，開N氮(dan)氣(qi)(qi)(qi)至(zhi)2.5×10-1Pa鍍(du)70秒后關氮(dan)氣(qi)(qi)(qi)，開氧氣(qi)(qi)(qi)O2至(zhi)4.5×10-1Pa鍍(du)160秒左右，（產生(sheng)TiO2、Ti2O3等氧化物）

7、鍍(du)珠光色∶用鈦靶材(cai)，充O2（氧氣）在6.5×10-1Pa~7.5×10-1Pa不變動，鍍(du)40秒左右(you)即可，注意同時引弧(hu)，加熱(re)爐(lu)體至180°C。（產生(sheng)TiO2、Ti2O3等氧化物）

8、鍍18K金(jin)色∶用鋯(gao)靶材，充Ar（氬氣）至1.0×10-1Pa鍍30秒，關氬氣，開(kai)氮氣至2~4×10-1Pa左右鍍3~4分鐘即可。（產生ZrN化合物）

9、鍍(du)土豪金色(se)∶裝一半(ban)鈦(tai)靶(ba)(ba)材，一半(ban)錯靶(ba)(ba)材，充Ar（（氬氣）1.0×10-1Pa鍍(du)鈦(tai)靶(ba)(ba)30秒后關氬氣，開氮氣至2~4×10-1Pa左右，開鈦(tai)靶(ba)(ba)、鋯靶(ba)(ba)，鍍(du)4分鐘左右。（產生TiZrN化(hua)合物）

10、鍍(du)透明(ming)七彩色（AB彩）∶用鈦(tai)靶材，充O2（氧(yang)氣）至6.5~7.5×10-1Pa鍍(du)4分鐘左右，加熱爐戶(hu)溫(wen)150°C。（產生TiO2、Ti2O3；TiO、等(deng)氧(yang)化(hua)物(wu)）

11、鍍酒紅色∶用鐵靶材，充O2（氧氣(qi)）至7.5~9.5×10-1Pa鍍4~6分鐘，加熱爐溫150°℃左右(you)(you)，弧焊機電流在150A左右(you)(you)（產(chan)生Fe2O3氧化物）。

12、鍍琥珀色∶用鐵靶材，充O2（氧(yang)(yang)氣）至7.5~9.5×10-1Pa鍍1.5~2.5分(fen)鐘，加熱爐溫150℃左右(you)，弧焊(han)機電(dian)流在150A左右(you)。（產生Fe2O3氧(yang)(yang)化物(wu)）

13、鍍(du)寶石(shi)藍(lan)色(se)，用鈦靶材，充Ar（氬氣）至1.0×10-1Pa鍍(du)60秒后關氯氣，開氮氣800-900流(liu)量，同時(shi)開氧(yang)氣1000-1130流(liu)量（真空控制(zhi)在2.5~3.5×10-1Pa鍍(du)110秒左右）。（產生TiO2、Ti2O3、TiO、等氧(yang)化物和(he)TiN化合物的混合膜層）

14、鍍紫色∶同十(shi)三號工藝(yi)，充氮(dan)氣(qi)和(he)氧氣(qi)的鍍膜時(shi)間控(kong)制在(zai)(zai)60-70秒左(zuo)右(you)，真空在(zai)(zai)2.5~3.8×10-1Pa左(zuo)右(you)即可。

15、鍍(du)鉻黑色(se)(se)∶用鈦Ti和鉻靶材，先充入(ru)氬(ya)氣Ar在1×10-1Pa鍍(du)60秒左右，關(guan)鈦靶，開(kai)鉻靶，關(guan)小氯氣至(zhi)80-120流(liu)量再通入(ru)CH乙快(kuai)氣至(zhi)8~9.0×10-1Pa，鍍(du)300秒左右。（產生(sheng)CrC黑色(se)(se)膜(mo)層）

16、鍍槍黑(hei)色∶用鈦(tai)靶材，充入Ar氣(qi)在1.0×10-1Pa鍍60秒(miao)后，關小(xiao)氬氣(qi)至80-120流量(liang)，再通入CH乙炔氣(qi)在8~9×10-1Pa鍍300秒(miao)左右。（產生TiC化合(he)物膜層）。

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二、各種靶材對應的PVD鍍膜顏色

選擇靶材種類(lei)、材質和氣(qi)體（氮(dan)氣(qi)、氧氣(qi)、乙炔、甲烷、等），確定靶(ba)材及氣(qi)體種類(lei)，然后調(diao)整氣(qi)體比例、用量、濺(jian)射功(gong)率、濺(jian)射時(shi)間、基(ji)材處理溫(wen)度、濺(jian)射溫(wen)度、濺(jian)射時(shi)間等工藝參數，制備出(chu)顏色膜層(ceng)，廣泛應(ying)用于裝飾性鍍膜行(xing)業。

靶材膜層顏色可調的PVD鍍膜方法

1、鍍(du)金(jin)屬膜層(ceng)(ceng)，將待鍍(du)產品傳入裝(zhuang)有(you)金(jin)屬靶材(cai)的鍍(du)膜腔室，開啟(qi)(qi)泵抽真空及加熱裝(zhuang)置進(jin)行基底加熱，使得本底真空達到(dao)1×10-3Pa及達到(dao)80-150℃工藝溫度后，向腔室通入10-1000sccm的氬氣(qi)，啟(qi)(qi)動濺射(she)電源，設置濺射(she)功率1-15KW，鍍(du)膜時(shi)間10-300S，得到(dao)厚度為(wei)1-100nm的金(jin)屬膜層(ceng)(ceng)，金(jin)屬膜層(ceng)(ceng)為(wei)銅（Cu）、銀（Ag）、鋁（Al）、鉻（Cr）等金(jin)屬膜層(ceng)(ceng)，或鎳銅（NiCu）、鎳鉻（NiCr）等合金(jin)膜層(ceng)(ceng)。

2、鍍(du)(du)(du)低(di)折(zhe)(zhe)射率(lv)膜層(ceng)，將(jiang)鍍(du)(du)(du)完金屬(shu)膜層(ceng)的產(chan)品傳入(ru)裝(zhuang)有(you)可(ke)形成低(di)折(zhe)(zhe)射率(lv)膜層(ceng)的靶材鍍(du)(du)(du)膜腔室，加熱(re)達(da)到80-150℃的工(gong)藝(yi)溫度(du)，向(xiang)腔室通入(ru)工(gong)藝(yi)氣體，設(she)置濺射功率(lv)1-15KW，鍍(du)(du)(du)膜時間1-300S，得到厚度(du)為1-100nm的低(di)折(zhe)(zhe)射率(lv)膜層(ceng)，此低(di)折(zhe)(zhe)射率(lv)膜層(ceng)為氧化(hua)硅、氮化(hua)硅等膜層(ceng)。

3、鍍(du)高(gao)折(zhe)射(she)(she)(she)率(lv)膜(mo)(mo)(mo)層(ceng)(ceng)，將鍍(du)完低折(zhe)射(she)(she)(she)率(lv)膜(mo)(mo)(mo)層(ceng)(ceng)的(de)(de)(de)產(chan)品(pin)傳入裝有(you)可形成高(gao)折(zhe)射(she)(she)(she)率(lv)膜(mo)(mo)(mo)層(ceng)(ceng)的(de)(de)(de)靶材鍍(du)膜(mo)(mo)(mo)腔室(shi)，加熱達到80-150℃的(de)(de)(de)工藝(yi)(yi)溫度，向腔室(shi)通入工藝(yi)(yi)氣(qi)(qi)體，設(she)置濺(jian)射(she)(she)(she)功(gong)率(lv)1-15KW，鍍(du)膜(mo)(mo)(mo)時間1-300S，得(de)到厚度為(wei)(wei)1-100nm的(de)(de)(de)高(gao)折(zhe)射(she)(she)(she)率(lv)膜(mo)(mo)(mo)層(ceng)(ceng)，所述(shu)高(gao)折(zhe)射(she)(she)(she)率(lv)膜(mo)(mo)(mo)層(ceng)(ceng)為(wei)(wei)氧(yang)(yang)化鈦、氮(dan)化鈦、氧(yang)(yang)化鋯、氮(dan)化鋯、氧(yang)(yang)化鈮(ni)、氮(dan)化鈮(ni)、氧(yang)(yang)化鋅、氧(yang)(yang)化銦、氧(yang)(yang)化鋁、氧(yang)(yang)化鐵、氧(yang)(yang)化鉻、氮(dan)化鉻等膜(mo)(mo)(mo)層(ceng)(ceng)，此高(gao)低折(zhe)射(she)(she)(she)膜(mo)(mo)(mo)層(ceng)(ceng)的(de)(de)(de)工藝(yi)(yi)氣(qi)(qi)體為(wei)(wei)Ar、N2、O2中(zhong)的(de)(de)(de)至少一種，其中(zhong)Ar氣(qi)(qi)體流(liu)(liu)量(liang)(liang)為(wei)(wei)10-1000sccm，N2氣(qi)(qi)體流(liu)(liu)量(liang)(liang)為(wei)(wei)10-1000sccm，O2氣(qi)(qi)體流(liu)(liu)量(liang)(liang)為(wei)(wei)10-1000sccm。

4、重(zhong)復步驟二和步驟三(san)數次(ci)，得到不(bu)同顏色的膜層，重(zhong)復步驟二和步驟三(san)的次(ci)數為1-100次(ci)。

以下(xia)是(shi)PVD真空鍍膜裝(zhuang)(zhuang)飾薄膜常用材料及其常用氣體制作的(de)各(ge)類裝(zhuang)(zhuang)飾顏色涂層(ceng)：

鋯靶(ba)+氮氣：黃綠金(jin)黃色

鋯靶(ba)+甲(jia)烷(wan)：深淺(qian)黑色(se)

鋯+氧氣：白色、透明(ming)膜(mo)

鋯靶+氮氣+甲烷：金色、仿玫瑰(gui)金

鉻(ge)靶+甲烷：深淺黑色

鉻靶(ba)+氮氣：淺黑色

鉻靶+氮氣+甲烷：銀灰色

鉻靶+氧氣(qi)：黃色、紫色、綠(lv)色

鉻靶+氧氣：銀色

不銹鋼靶+氧氣：紫色

不銹鋼靶(ba)+氮氣：藍色

不銹鋼靶+甲烷(wan)：亮黑色

不銹鋼靶+甲烷+氮氣(qi)：藍黑色

硅+氮氣：黑色

硅靶+氧氣(qi)：混濁白、透明膜

硅靶+甲烷(wan)：黃(huang)色(se)(se)(se)(se)、綠(lv)色(se)(se)(se)(se)、藍色(se)(se)(se)(se)、黑(hei)色(se)(se)(se)(se)（靶材(cai)純(chun)度高于99%僅能調黑(hei)色(se)(se)(se)(se)）

鈦靶+氧氣：光學膜七彩截色(se)

鈦靶+甲烷：深淺黑色（DLC制備不能達標）

鈦靶+氮氣(qi)：仿(fang)金(jin)色、黃銅色、紫(zi)色、紅色

鈦(tai)靶+氮氣(qi)+甲烷：仿玫瑰金、黑(hei)綠色(se)(se)、復(fu)古黃、棕色(se)(se)、紫色(se)(se)

鎢靶(ba)+氮氣(qi)：棕黃色

鎢靶+甲(jia)烷：深淺黑色

鎢靶+氧氣：紫色(se)、鮮黃色(se)、棕(zong)色(se)、藍色(se)