一、多弧離子反應鍍膜設備可鍍色彩

1、鍍(du)銀灰(hui)色(se)∶用鈦靶材，真空鍍(du)抽至1.5×10-2Pa，充Ar（氬氣）至1.0×10-1Pa左(zuo)右鍍(du)三(san)分(fen)鐘左(zuo)右。（產生(sheng)Ti金屬(shu)層）

2、鍍(du)(du)銀白色∶用鉻靶(ba)材，真(zhen)空度抽至1.0×10-2Pa，充Ar（氬氣）至1.5×10-1Pa左右(you)鍍(du)(du)三分鐘左右(you)。（產生(sheng)Cr金(jin)屬層）

3、鍍金色∶用鈦靶(ba)材，真空度抽至(zhi)(zhi)1.5×10-2Pa，充Ar（氬(ya)(ya)氣(qi)）至(zhi)(zhi)1×10-1Pa鍍60秒(miao)—關(guan)氬(ya)(ya)氣(qi)（Ar）—開氮氣(qi)至(zhi)(zhi)2~4×10-1Pa鍍4分鐘左右（產生TiN化合物）

4、鍍古銅色∶用一半鈦靶材，一(yi)半鈦鋁靶(ba)材，充Ar（氬氣）至1×10Pa-1開鈦靶(ba)鍍(du)50秒—關Ar（氬氣）開氮氣至1×10-1Pa—開鈦靶(ba)、鈦鋁靶(ba)—充乙(yi)炔150流量左(zuo)右(you)，氮氣調至3×10-1Pa左(zuo)右(you)，鍍(du)4分鐘（加熱爐體至200°C左(zuo)右(you)）。（產(chan)生TiCN和(he)TiN化合物(wu)）

5、鍍玫(mei)瑰金色∶跟(gen)(gen)古銅(tong)色一樣(yang)操作(zuo)，只是乙炔(gui)在60流量(liang)左(zuo)右(you)，氮氣調至2.5×10-1Pa左(zuo)右(you)（氮氣、乙炔(gui)要(yao)同(tong)時(shi)加進去(qu)反應，乙炔(gui)要(yao)保持不變，真空度多少只調節氮氣流量(liang)，古銅(tong)跟(gen)(gen)玫(mei)瑰金同(tong)樣(yang)調節）。（產生(sheng)TiCN化(hua)合物(wu)）

6、鍍五彩色∶用鈦靶材，充Ar（氬(ya)氣）至1.0×10-1Pa鍍1分鐘后，關氬(ya)氣，開N氮氣至2.5×10-1Pa鍍70秒后關氮氣，開氧氣O2至4.5×10-1Pa鍍160秒左(zuo)右，（產生(sheng)TiO2、Ti2O3等氧化物）

7、鍍珠光色∶用鈦靶材，充(chong)O2（氧(yang)氣）在6.5×10-1Pa~7.5×10-1Pa不變(bian)動，鍍40秒左右即可，注(zhu)意同時(shi)引(yin)弧，加熱(re)爐體至180°C。（產生(sheng)TiO2、Ti2O3等氧(yang)化物）

8、鍍(du)18K金色∶用(yong)鋯靶材，充(chong)Ar（氬(ya)(ya)氣(qi)）至1.0×10-1Pa鍍(du)30秒，關氬(ya)(ya)氣(qi)，開氮氣(qi)至2~4×10-1Pa左(zuo)右鍍(du)3~4分鐘即(ji)可。（產生ZrN化合(he)物）

9、鍍土豪金色∶裝一半鈦(tai)靶材，一半錯靶材，充Ar（（氬(ya)氣(qi)(qi)）1.0×10-1Pa鍍鈦(tai)靶30秒(miao)后關氬(ya)氣(qi)(qi)，開氮(dan)氣(qi)(qi)至2~4×10-1Pa左(zuo)右，開鈦(tai)靶、鋯靶，鍍4分鐘(zhong)左(zuo)右。（產(chan)生TiZrN化合物）

10、鍍透明七彩(cai)(cai)色（AB彩(cai)(cai)）∶用鈦靶材，充O2（氧氣(qi)）至6.5~7.5×10-1Pa鍍4分(fen)鐘(zhong)左右(you)，加熱爐戶溫150°C。（產生TiO2、Ti2O3；TiO、等(deng)氧化物）

11、鍍酒(jiu)紅色∶用鐵靶材，充(chong)O2（氧(yang)(yang)氣）至7.5~9.5×10-1Pa鍍4~6分鐘，加熱爐溫150°℃左(zuo)(zuo)右，弧焊機電流在150A左(zuo)(zuo)右（產生(sheng)Fe2O3氧(yang)(yang)化物）。

12、鍍琥珀色(se)∶用鐵靶材，充O2（氧氣）至7.5~9.5×10-1Pa鍍1.5~2.5分鐘，加熱爐溫150℃左右(you)，弧焊機電流在150A左右(you)。（產生(sheng)Fe2O3氧化(hua)物）

13、鍍(du)寶石藍色，用鈦靶材，充Ar（氬(ya)氣）至1.0×10-1Pa鍍(du)60秒后(hou)關(guan)氯氣，開氮氣800-900流(liu)量(liang)，同時開氧氣1000-1130流(liu)量(liang)（真(zhen)空(kong)控制(zhi)在2.5~3.5×10-1Pa鍍(du)110秒左右）。（產(chan)生TiO2、Ti2O3、TiO、等(deng)氧化物和TiN化合(he)物的混合(he)膜層）

14、鍍紫色∶同十三號工藝，充(chong)氮氣和氧氣的(de)鍍膜時間控制在(zai)60-70秒左(zuo)右，真空在(zai)2.5~3.8×10-1Pa左(zuo)右即可。

15、鍍(du)鉻黑色∶用鈦Ti和鉻靶材，先充入氬(ya)氣(qi)Ar在1×10-1Pa鍍(du)60秒(miao)左右(you)，關鈦靶，開鉻靶，關小氯(lv)氣(qi)至(zhi)80-120流(liu)量再(zai)通入CH乙快氣(qi)至(zhi)8~9.0×10-1Pa，鍍(du)300秒(miao)左右(you)。（產生CrC黑色膜(mo)層）

16、鍍槍黑色∶用(yong)鈦靶材，充(chong)入Ar氣在1.0×10-1Pa鍍60秒(miao)后，關小氬氣至(zhi)80-120流量，再通(tong)入CH乙炔氣在8~9×10-1Pa鍍300秒(miao)左右。（產生TiC化合物(wu)膜層）。

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二、各種靶材對應的PVD鍍膜顏色

選擇靶材種類、材質(zhi)和氣體（氮氣、氧氣、乙炔(gui)、甲(jia)烷、等），確定靶材及(ji)氣體種類，然后(hou)調整氣體比例、用(yong)量(liang)、濺射(she)功率、濺射(she)時間、基材處理溫(wen)度、濺射(she)溫(wen)度、濺射(she)時間等工藝參數，制備出顏色(se)膜層(ceng)，廣泛應用(yong)于裝飾性(xing)鍍膜行業。

靶材膜層顏色可調的PVD鍍膜方法

1、鍍金(jin)屬膜(mo)(mo)層(ceng)，將待鍍產品傳入裝(zhuang)有(you)金(jin)屬靶材的(de)鍍膜(mo)(mo)腔(qiang)室(shi)，開啟泵(beng)抽真(zhen)空及加(jia)(jia)熱裝(zhuang)置(zhi)進行(xing)基底加(jia)(jia)熱，使得(de)本底真(zhen)空達(da)到1×10-3Pa及達(da)到80-150℃工(gong)藝溫度后，向(xiang)腔(qiang)室(shi)通入10-1000sccm的(de)氬氣，啟動濺射電源，設置(zhi)濺射功(gong)率1-15KW，鍍膜(mo)(mo)時(shi)間10-300S，得(de)到厚度為1-100nm的(de)金(jin)屬膜(mo)(mo)層(ceng)，金(jin)屬膜(mo)(mo)層(ceng)為銅(tong)（Cu）、銀（Ag）、鋁（Al）、鉻（Cr）等金(jin)屬膜(mo)(mo)層(ceng)，或鎳銅(tong)（NiCu）、鎳鉻（NiCr）等合金(jin)膜(mo)(mo)層(ceng)。

2、鍍(du)(du)低(di)(di)(di)折(zhe)射(she)(she)率膜(mo)(mo)層(ceng)(ceng)，將鍍(du)(du)完(wan)金屬膜(mo)(mo)層(ceng)(ceng)的(de)(de)產品傳入裝有(you)可形成低(di)(di)(di)折(zhe)射(she)(she)率膜(mo)(mo)層(ceng)(ceng)的(de)(de)靶材鍍(du)(du)膜(mo)(mo)腔(qiang)室(shi)，加熱(re)達(da)到(dao)80-150℃的(de)(de)工藝(yi)溫度，向(xiang)腔(qiang)室(shi)通入工藝(yi)氣體，設置濺射(she)(she)功率1-15KW，鍍(du)(du)膜(mo)(mo)時(shi)間(jian)1-300S，得到(dao)厚度為1-100nm的(de)(de)低(di)(di)(di)折(zhe)射(she)(she)率膜(mo)(mo)層(ceng)(ceng)，此低(di)(di)(di)折(zhe)射(she)(she)率膜(mo)(mo)層(ceng)(ceng)為氧化硅、氮化硅等(deng)膜(mo)(mo)層(ceng)(ceng)。

3、鍍高(gao)折(zhe)射率(lv)(lv)膜(mo)(mo)(mo)層(ceng)(ceng)，將鍍完低(di)折(zhe)射率(lv)(lv)膜(mo)(mo)(mo)層(ceng)(ceng)的(de)(de)(de)產品傳入裝有可形成高(gao)折(zhe)射率(lv)(lv)膜(mo)(mo)(mo)層(ceng)(ceng)的(de)(de)(de)靶(ba)材鍍膜(mo)(mo)(mo)腔室(shi)，加熱達到80-150℃的(de)(de)(de)工(gong)藝(yi)溫度，向(xiang)腔室(shi)通入工(gong)藝(yi)氣體(ti)(ti)，設置濺射功率(lv)(lv)1-15KW，鍍膜(mo)(mo)(mo)時間(jian)1-300S，得到厚度為(wei)1-100nm的(de)(de)(de)高(gao)折(zhe)射率(lv)(lv)膜(mo)(mo)(mo)層(ceng)(ceng)，所述(shu)高(gao)折(zhe)射率(lv)(lv)膜(mo)(mo)(mo)層(ceng)(ceng)為(wei)氧(yang)(yang)(yang)化鈦(tai)、氮(dan)化鈦(tai)、氧(yang)(yang)(yang)化鋯、氮(dan)化鋯、氧(yang)(yang)(yang)化鈮、氮(dan)化鈮、氧(yang)(yang)(yang)化鋅(xin)、氧(yang)(yang)(yang)化銦、氧(yang)(yang)(yang)化鋁、氧(yang)(yang)(yang)化鐵、氧(yang)(yang)(yang)化鉻、氮(dan)化鉻等膜(mo)(mo)(mo)層(ceng)(ceng)，此(ci)高(gao)低(di)折(zhe)射膜(mo)(mo)(mo)層(ceng)(ceng)的(de)(de)(de)工(gong)藝(yi)氣體(ti)(ti)為(wei)Ar、N2、O2中的(de)(de)(de)至少一種，其中Ar氣體(ti)(ti)流量(liang)為(wei)10-1000sccm，N2氣體(ti)(ti)流量(liang)為(wei)10-1000sccm，O2氣體(ti)(ti)流量(liang)為(wei)10-1000sccm。

4、重(zhong)復步驟(zou)(zou)二(er)(er)和步驟(zou)(zou)三數(shu)次，得到不同顏色的膜層(ceng)，重(zhong)復步驟(zou)(zou)二(er)(er)和步驟(zou)(zou)三的次數(shu)為1-100次。

以下是PVD真空鍍膜裝(zhuang)飾(shi)薄膜常用(yong)材(cai)料及其常用(yong)氣(qi)體(ti)制作的各類裝(zhuang)飾(shi)顏色涂層(ceng)：

鋯靶(ba)+氮氣：黃綠金黃色

鋯靶+甲烷：深淺(qian)黑色

鋯+氧氣(qi)：白色、透明(ming)膜

鋯靶(ba)+氮(dan)氣(qi)+甲烷：金色、仿(fang)玫瑰(gui)金

鉻靶+甲烷：深(shen)淺黑色

鉻靶(ba)+氮(dan)氣：淺黑色(se)

鉻靶+氮氣(qi)+甲烷：銀(yin)灰色

鉻靶+氧氣：黃色(se)(se)、紫色(se)(se)、綠(lv)色(se)(se)

鉻靶(ba)+氧氣(qi)：銀色

不銹鋼靶+氧氣：紫色

不銹鋼靶+氮氣(qi)：藍(lan)色

不銹鋼靶+甲(jia)烷：亮黑色

不銹鋼(gang)靶+甲烷+氮氣：藍黑色

硅+氮氣：黑色

硅靶(ba)+氧(yang)氣：混濁白、透明(ming)膜

硅靶+甲烷(wan)：黃色、綠色、藍色、黑色（靶材純度(du)高于99%僅能調(diao)黑色）

鈦靶+氧氣：光(guang)學膜七彩(cai)截色

鈦靶+甲烷：深淺(qian)黑色(se)（DLC制(zhi)備不能(neng)達標(biao)）

鈦靶+氮氣：仿金色、黃銅色、紫(zi)色、紅(hong)色

鈦靶+氮氣+甲(jia)烷：仿玫瑰金(jin)、黑綠色、復古黃、棕色、紫色

鎢靶+氮氣：棕黃色

鎢靶+甲烷：深淺黑(hei)色

鎢靶+氧(yang)氣：紫(zi)色、鮮(xian)黃(huang)色、棕色、藍色