一、多弧離子反應鍍膜設備可鍍色彩

1、鍍(du)銀灰色∶用鈦靶(ba)材，真空鍍(du)抽至(zhi)1.5×10-2Pa，充(chong)Ar（氬氣）至(zhi)1.0×10-1Pa左(zuo)右鍍(du)三分鐘左(zuo)右。（產(chan)生Ti金屬層(ceng)）

2、鍍(du)銀白色∶用鉻(ge)靶材，真空(kong)度抽至(zhi)1.0×10-2Pa，充Ar（氬氣）至(zhi)1.5×10-1Pa左(zuo)右鍍(du)三分鐘(zhong)左(zuo)右。（產(chan)生Cr金屬層）

3、鍍(du)(du)金色∶用鈦靶材，真空度抽至(zhi)1.5×10-2Pa，充(chong)Ar（氬氣(qi)）至(zhi)1×10-1Pa鍍(du)(du)60秒—關氬氣(qi)（Ar）—開氮氣(qi)至(zhi)2~4×10-1Pa鍍(du)(du)4分(fen)鐘左右(you)（產生TiN化合(he)物(wu)）

4、鍍古銅色∶用一半鈦靶材，一半鈦鋁靶(ba)材，充Ar（氬(ya)氣(qi)）至1×10Pa-1開(kai)鈦靶(ba)鍍(du)(du)50秒—關Ar（氬(ya)氣(qi)）開(kai)氮氣(qi)至1×10-1Pa—開(kai)鈦靶(ba)、鈦鋁靶(ba)—充乙炔150流(liu)量左(zuo)右，氮氣(qi)調(diao)至3×10-1Pa左(zuo)右，鍍(du)(du)4分鐘（加熱爐體至200°C左(zuo)右）。（產生TiCN和TiN化(hua)合物）

5、鍍玫瑰(gui)(gui)金(jin)色∶跟古(gu)銅色一樣(yang)操作，只(zhi)是乙炔(gui)在60流量左右，氮(dan)氣調(diao)至(zhi)2.5×10-1Pa左右（氮(dan)氣、乙炔(gui)要同(tong)時加進(jin)去反應，乙炔(gui)要保(bao)持不變，真空度多少只(zhi)調(diao)節(jie)氮(dan)氣流量，古(gu)銅跟玫瑰(gui)(gui)金(jin)同(tong)樣(yang)調(diao)節(jie)）。（產生(sheng)TiCN化合物）

6、鍍五彩色∶用鈦靶(ba)材，充Ar（氬氣(qi)(qi)）至(zhi)1.0×10-1Pa鍍1分(fen)鐘后(hou)，關氬氣(qi)(qi)，開N氮(dan)氣(qi)(qi)至(zhi)2.5×10-1Pa鍍70秒后(hou)關氮(dan)氣(qi)(qi)，開氧氣(qi)(qi)O2至(zhi)4.5×10-1Pa鍍160秒左(zuo)右，（產生TiO2、Ti2O3等(deng)氧化(hua)物）

7、鍍珠光色(se)∶用鈦靶材，充(chong)O2（氧氣）在(zai)6.5×10-1Pa~7.5×10-1Pa不變動，鍍40秒左右即(ji)可，注意同(tong)時(shi)引弧，加(jia)熱爐(lu)體至(zhi)180°C。（產生TiO2、Ti2O3等氧化物）

8、鍍18K金色(se)∶用(yong)鋯靶材，充Ar（氬氣(qi)）至1.0×10-1Pa鍍30秒，關氬氣(qi)，開氮(dan)氣(qi)至2~4×10-1Pa左右鍍3~4分鐘(zhong)即可。（產(chan)生ZrN化(hua)合物）

9、鍍(du)土豪金色(se)∶裝(zhuang)一(yi)半鈦(tai)靶(ba)(ba)材(cai)，一(yi)半錯靶(ba)(ba)材(cai)，充Ar（（氬氣）1.0×10-1Pa鍍(du)鈦(tai)靶(ba)(ba)30秒后關氬氣，開氮氣至2~4×10-1Pa左右，開鈦(tai)靶(ba)(ba)、鋯(gao)靶(ba)(ba)，鍍(du)4分鐘(zhong)左右。（產生TiZrN化合物(wu)）

10、鍍透明(ming)七彩色（AB彩）∶用鈦(tai)靶材(cai)，充O2（氧(yang)氣）至(zhi)6.5~7.5×10-1Pa鍍4分鐘左右(you)，加熱爐戶(hu)溫150°C。（產(chan)生TiO2、Ti2O3；TiO、等(deng)氧(yang)化物）

11、鍍酒紅色(se)∶用鐵(tie)靶材，充O2（氧氣）至7.5~9.5×10-1Pa鍍4~6分鐘，加熱爐溫150°℃左(zuo)右，弧焊機電流在150A左(zuo)右（產生Fe2O3氧化物）。

12、鍍(du)琥珀色∶用鐵靶材，充O2（氧氣）至7.5~9.5×10-1Pa鍍(du)1.5~2.5分鐘，加熱爐(lu)溫150℃左右，弧焊機(ji)電流在150A左右。（產生(sheng)Fe2O3氧化物）

13、鍍(du)寶石藍色(se)，用鈦靶材，充Ar（氬氣(qi)）至1.0×10-1Pa鍍(du)60秒(miao)(miao)后關氯氣(qi)，開氮氣(qi)800-900流量，同時開氧氣(qi)1000-1130流量（真空控制(zhi)在2.5~3.5×10-1Pa鍍(du)110秒(miao)(miao)左右）。（產生TiO2、Ti2O3、TiO、等氧化(hua)物和TiN化(hua)合物的混合膜(mo)層）

14、鍍紫色∶同十三號(hao)工藝，充氮氣和氧(yang)氣的鍍膜時間控制在60-70秒左右(you)，真空在2.5~3.8×10-1Pa左右(you)即可。

15、鍍(du)鉻(ge)黑(hei)(hei)色(se)∶用鈦Ti和鉻(ge)靶(ba)材(cai)，先充(chong)入氬氣Ar在1×10-1Pa鍍(du)60秒(miao)左右(you)，關(guan)鈦靶(ba)，開鉻(ge)靶(ba)，關(guan)小氯氣至80-120流量(liang)再通入CH乙(yi)快氣至8~9.0×10-1Pa，鍍(du)300秒(miao)左右(you)。（產生CrC黑(hei)(hei)色(se)膜層）

16、鍍(du)槍(qiang)黑(hei)色(se)∶用鈦靶材(cai)，充入(ru)Ar氣在1.0×10-1Pa鍍(du)60秒后，關小氬氣至(zhi)80-120流量，再通入(ru)CH乙炔氣在8~9×10-1Pa鍍(du)300秒左右。（產生TiC化合物膜層）。

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二、各種靶材對應的PVD鍍膜顏色

選擇靶材種(zhong)類、材(cai)質和(he)氣(qi)(qi)(qi)體（氮氣(qi)(qi)(qi)、氧氣(qi)(qi)(qi)、乙炔、甲烷(wan)、等），確定靶材(cai)及氣(qi)(qi)(qi)體種(zhong)類，然(ran)后調(diao)整氣(qi)(qi)(qi)體比例、用量(liang)、濺射功率(lv)、濺射時(shi)(shi)間、基材(cai)處(chu)理溫度、濺射溫度、濺射時(shi)(shi)間等工藝參數，制備出顏色(se)膜層，廣泛(fan)應用于(yu)裝飾(shi)性鍍(du)膜行業。

靶材膜層顏色可調的PVD鍍膜方法

1、鍍金(jin)屬(shu)(shu)膜層(ceng)，將待鍍產品傳入裝有金(jin)屬(shu)(shu)靶材的鍍膜腔室，開啟泵(beng)抽真空及(ji)加(jia)熱(re)裝置(zhi)進行基底加(jia)熱(re)，使得(de)本底真空達到(dao)(dao)(dao)1×10-3Pa及(ji)達到(dao)(dao)(dao)80-150℃工藝溫度后，向腔室通入10-1000sccm的氬氣(qi)，啟動濺(jian)射電源，設置(zhi)濺(jian)射功率1-15KW，鍍膜時間10-300S，得(de)到(dao)(dao)(dao)厚(hou)度為1-100nm的金(jin)屬(shu)(shu)膜層(ceng)，金(jin)屬(shu)(shu)膜層(ceng)為銅（Cu）、銀（Ag）、鋁（Al）、鉻（Cr）等金(jin)屬(shu)(shu)膜層(ceng)，或(huo)鎳(nie)銅（NiCu）、鎳(nie)鉻（NiCr）等合金(jin)膜層(ceng)。

2、鍍(du)低(di)折射(she)率(lv)膜(mo)(mo)層，將鍍(du)完金(jin)屬膜(mo)(mo)層的(de)產品傳入裝有可形成低(di)折射(she)率(lv)膜(mo)(mo)層的(de)靶材鍍(du)膜(mo)(mo)腔室，加(jia)熱達(da)到(dao)80-150℃的(de)工藝溫度，向腔室通(tong)入工藝氣體，設(she)置濺射(she)功(gong)率(lv)1-15KW，鍍(du)膜(mo)(mo)時間1-300S，得到(dao)厚度為(wei)1-100nm的(de)低(di)折射(she)率(lv)膜(mo)(mo)層，此低(di)折射(she)率(lv)膜(mo)(mo)層為(wei)氧化硅、氮(dan)化硅等膜(mo)(mo)層。

3、鍍(du)高(gao)(gao)折(zhe)(zhe)射(she)(she)率(lv)膜(mo)(mo)層(ceng)(ceng)，將(jiang)鍍(du)完(wan)低折(zhe)(zhe)射(she)(she)率(lv)膜(mo)(mo)層(ceng)(ceng)的產(chan)品傳入(ru)裝有可形成(cheng)高(gao)(gao)折(zhe)(zhe)射(she)(she)率(lv)膜(mo)(mo)層(ceng)(ceng)的靶材鍍(du)膜(mo)(mo)腔室，加熱(re)達到(dao)80-150℃的工藝溫度，向(xiang)腔室通(tong)入(ru)工藝氣體，設置濺射(she)(she)功率(lv)1-15KW，鍍(du)膜(mo)(mo)時間(jian)1-300S，得到(dao)厚度為(wei)(wei)1-100nm的高(gao)(gao)折(zhe)(zhe)射(she)(she)率(lv)膜(mo)(mo)層(ceng)(ceng)，所(suo)述高(gao)(gao)折(zhe)(zhe)射(she)(she)率(lv)膜(mo)(mo)層(ceng)(ceng)為(wei)(wei)氧(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)鈦(tai)(tai)、氮(dan)化(hua)(hua)(hua)(hua)鈦(tai)(tai)、氧(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)鋯(gao)、氮(dan)化(hua)(hua)(hua)(hua)鋯(gao)、氧(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)鈮、氮(dan)化(hua)(hua)(hua)(hua)鈮、氧(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)鋅、氧(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)銦、氧(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)鋁、氧(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)鐵、氧(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)鉻、氮(dan)化(hua)(hua)(hua)(hua)鉻等膜(mo)(mo)層(ceng)(ceng)，此(ci)高(gao)(gao)低折(zhe)(zhe)射(she)(she)膜(mo)(mo)層(ceng)(ceng)的工藝氣體為(wei)(wei)Ar、N2、O2中的至少(shao)一(yi)種，其中Ar氣體流量(liang)為(wei)(wei)10-1000sccm，N2氣體流量(liang)為(wei)(wei)10-1000sccm，O2氣體流量(liang)為(wei)(wei)10-1000sccm。

4、重復步(bu)驟二(er)和(he)步(bu)驟三(san)數(shu)次，得到不同顏色的膜層，重復步(bu)驟二(er)和(he)步(bu)驟三(san)的次數(shu)為(wei)1-100次。

以下是PVD真空(kong)鍍膜(mo)裝飾(shi)薄膜(mo)常用材料及其常用氣體(ti)制作的各類(lei)裝飾(shi)顏色涂層(ceng)：

鋯靶(ba)+氮氣：黃綠金黃色(se)

鋯(gao)靶+甲烷(wan)：深淺(qian)黑(hei)色

鋯+氧氣：白色、透明(ming)膜(mo)

鋯靶+氮氣+甲烷：金色、仿(fang)玫瑰金

鉻靶+甲烷：深淺黑(hei)色(se)

鉻靶+氮氣：淺黑(hei)色

鉻靶+氮(dan)氣+甲烷：銀灰色

鉻靶+氧氣：黃色(se)、紫色(se)、綠色(se)

鉻靶(ba)+氧氣：銀色

不銹(xiu)鋼靶+氧氣：紫色

不(bu)銹鋼靶+氮氣(qi)：藍色

不銹(xiu)鋼(gang)靶+甲烷：亮黑(hei)色

不(bu)銹(xiu)鋼靶+甲烷+氮氣：藍(lan)黑(hei)色

硅+氮氣：黑色

硅靶(ba)+氧氣：混濁(zhuo)白、透(tou)明膜

硅靶+甲(jia)烷：黃色(se)、綠色(se)、藍色(se)、黑色(se)（靶材純度(du)高于99%僅能調黑色(se)）

鈦靶+氧氣：光學膜七彩(cai)截色

鈦(tai)靶+甲烷：深淺黑色（DLC制備不能達標）

鈦靶+氮氣：仿(fang)金色、黃銅色、紫色、紅(hong)色

鈦(tai)靶+氮(dan)氣+甲烷(wan)：仿(fang)玫(mei)瑰金、黑綠色(se)、復(fu)古黃、棕色(se)、紫色(se)

鎢靶+氮(dan)氣：棕黃色

鎢(wu)靶+甲烷：深淺黑(hei)色(se)

鎢靶+氧氣(qi)：紫色、鮮黃色、棕(zong)色、藍色