一、多弧離子反應鍍膜設備可鍍色彩

1、鍍(du)銀灰色∶用鈦靶(ba)材，真空(kong)鍍(du)抽至(zhi)(zhi)1.5×10-2Pa，充Ar（氬氣）至(zhi)(zhi)1.0×10-1Pa左(zuo)右鍍(du)三分鐘左(zuo)右。（產生Ti金屬(shu)層）

2、鍍銀白色∶用鉻靶材，真(zhen)空度抽至1.0×10-2Pa，充Ar（氬氣）至1.5×10-1Pa左右鍍三分鐘左右。（產生(sheng)Cr金屬層）

3、鍍金色∶用鈦靶材(cai)，真空度抽至(zhi)1.5×10-2Pa，充Ar（氬氣）至(zhi)1×10-1Pa鍍60秒—關氬氣（Ar）—開氮氣至(zhi)2~4×10-1Pa鍍4分(fen)鐘左右（產生TiN化合物）

4、鍍古銅色∶用一半鈦靶材，一半鈦鋁靶材，充Ar（氬氣）至(zhi)(zhi)1×10Pa-1開(kai)鈦靶鍍(du)50秒—關(guan)Ar（氬氣）開(kai)氮(dan)氣至(zhi)(zhi)1×10-1Pa—開(kai)鈦靶、鈦鋁靶—充乙炔150流量左(zuo)右(you)，氮(dan)氣調至(zhi)(zhi)3×10-1Pa左(zuo)右(you)，鍍(du)4分鐘（加熱爐體至(zhi)(zhi)200°C左(zuo)右(you)）。（產生TiCN和TiN化合物）

5、鍍玫(mei)瑰(gui)金(jin)色∶跟(gen)古銅色一樣操作，只是乙炔(gui)(gui)在60流量左(zuo)右，氮氣(qi)(qi)調至2.5×10-1Pa左(zuo)右（氮氣(qi)(qi)、乙炔(gui)(gui)要同時加進去反應，乙炔(gui)(gui)要保(bao)持不(bu)變，真空度(du)多少只調節氮氣(qi)(qi)流量，古銅跟(gen)玫(mei)瑰(gui)金(jin)同樣調節）。（產生(sheng)TiCN化(hua)合物(wu)）

6、鍍五(wu)彩(cai)色∶用鈦靶(ba)材，充(chong)Ar（氬氣）至1.0×10-1Pa鍍1分(fen)鐘后(hou)，關氬氣，開N氮氣至2.5×10-1Pa鍍70秒后(hou)關氮氣，開氧氣O2至4.5×10-1Pa鍍160秒左右，（產生TiO2、Ti2O3等氧化物）

7、鍍(du)珠(zhu)光色∶用鈦(tai)靶(ba)材，充O2（氧氣）在(zai)6.5×10-1Pa~7.5×10-1Pa不變動，鍍(du)40秒左右即可，注意同時引(yin)弧，加(jia)熱爐體(ti)至180°C。（產生TiO2、Ti2O3等氧化物）

8、鍍18K金色∶用(yong)鋯靶材(cai)，充(chong)Ar（氬(ya)氣）至1.0×10-1Pa鍍30秒，關氬(ya)氣，開氮氣至2~4×10-1Pa左右(you)鍍3~4分鐘即(ji)可。（產生ZrN化(hua)合物）

9、鍍土(tu)豪金色∶裝一半鈦靶(ba)(ba)材(cai)，一半錯靶(ba)(ba)材(cai)，充Ar（（氬(ya)氣(qi)）1.0×10-1Pa鍍鈦靶(ba)(ba)30秒后(hou)關氬(ya)氣(qi)，開氮氣(qi)至2~4×10-1Pa左(zuo)右，開鈦靶(ba)(ba)、鋯(gao)靶(ba)(ba)，鍍4分(fen)鐘左(zuo)右。（產(chan)生(sheng)TiZrN化合物(wu)）

10、鍍(du)透明七彩色（AB彩）∶用鈦靶材，充O2（氧(yang)(yang)氣）至(zhi)6.5~7.5×10-1Pa鍍(du)4分鐘(zhong)左右(you)，加熱爐戶溫150°C。（產生TiO2、Ti2O3；TiO、等氧(yang)(yang)化物(wu)）

11、鍍酒紅(hong)色∶用鐵靶(ba)材，充O2（氧氣）至7.5~9.5×10-1Pa鍍4~6分鐘，加(jia)熱爐(lu)溫150°℃左右，弧(hu)焊(han)機電(dian)流在150A左右（產生(sheng)Fe2O3氧化物）。

12、鍍(du)琥珀色∶用鐵(tie)靶材，充O2（氧氣）至(zhi)7.5~9.5×10-1Pa鍍(du)1.5~2.5分鐘(zhong)，加(jia)熱爐溫150℃左右(you)(you)，弧焊機電流在150A左右(you)(you)。（產生Fe2O3氧化物）

13、鍍(du)寶石(shi)藍色，用鈦靶(ba)材，充Ar（氬(ya)氣(qi)(qi)）至(zhi)1.0×10-1Pa鍍(du)60秒(miao)后關氯氣(qi)(qi)，開(kai)(kai)氮氣(qi)(qi)800-900流量，同時(shi)開(kai)(kai)氧氣(qi)(qi)1000-1130流量（真(zhen)空控制在2.5~3.5×10-1Pa鍍(du)110秒(miao)左右）。（產(chan)生(sheng)TiO2、Ti2O3、TiO、等氧化物和TiN化合物的混合膜層(ceng)）

14、鍍紫色∶同(tong)十三號工藝，充(chong)氮(dan)氣(qi)和氧氣(qi)的鍍膜時間控制(zhi)在(zai)60-70秒左(zuo)右，真空在(zai)2.5~3.8×10-1Pa左(zuo)右即可。

15、鍍(du)鉻(ge)黑(hei)(hei)色(se)(se)∶用(yong)鈦(tai)Ti和鉻(ge)靶材，先充入(ru)氬氣Ar在1×10-1Pa鍍(du)60秒左右，關鈦(tai)靶，開鉻(ge)靶，關小氯(lv)氣至80-120流量再通入(ru)CH乙快氣至8~9.0×10-1Pa，鍍(du)300秒左右。（產(chan)生CrC黑(hei)(hei)色(se)(se)膜(mo)層）

16、鍍槍黑色∶用鈦靶(ba)材(cai)，充(chong)入(ru)Ar氣在1.0×10-1Pa鍍60秒后(hou)，關小(xiao)氬氣至80-120流量，再通入(ru)CH乙炔氣在8~9×10-1Pa鍍300秒左右。（產生TiC化合(he)物膜層(ceng)）。

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二、各種靶材對應的PVD鍍膜顏色

選擇靶材種類(lei)、材質和(he)氣體（氮氣、氧氣、乙炔、甲烷、等），確定(ding)靶(ba)材及(ji)氣體種類(lei)，然后調整氣體比例、用量(liang)、濺(jian)射(she)功(gong)率、濺(jian)射(she)時間、基(ji)材處理溫(wen)度(du)、濺(jian)射(she)溫(wen)度(du)、濺(jian)射(she)時間等工藝參數，制備(bei)出(chu)顏色膜層，廣(guang)泛(fan)應用于(yu)裝飾(shi)性(xing)鍍膜行業。

靶材膜層顏色可調的PVD鍍膜方法

1、鍍金(jin)屬膜(mo)(mo)層，將待鍍產(chan)品傳(chuan)入裝有(you)金(jin)屬靶(ba)材的鍍膜(mo)(mo)腔(qiang)室，開啟(qi)泵抽(chou)真(zhen)空(kong)及加熱裝置進行基底加熱，使(shi)得本底真(zhen)空(kong)達到(dao)1×10-3Pa及達到(dao)80-150℃工藝溫度(du)后，向腔(qiang)室通入10-1000sccm的氬氣(qi)，啟(qi)動濺射(she)電源(yuan)，設置濺射(she)功率1-15KW，鍍膜(mo)(mo)時間10-300S，得到(dao)厚度(du)為(wei)1-100nm的金(jin)屬膜(mo)(mo)層，金(jin)屬膜(mo)(mo)層為(wei)銅(tong)（Cu）、銀（Ag）、鋁（Al）、鉻（Cr）等金(jin)屬膜(mo)(mo)層，或鎳銅(tong)（NiCu）、鎳鉻（NiCr）等合金(jin)膜(mo)(mo)層。

2、鍍(du)低折(zhe)(zhe)(zhe)射(she)率膜(mo)(mo)(mo)層(ceng)(ceng)(ceng)，將鍍(du)完金屬膜(mo)(mo)(mo)層(ceng)(ceng)(ceng)的產品傳入(ru)(ru)裝有(you)可形成(cheng)低折(zhe)(zhe)(zhe)射(she)率膜(mo)(mo)(mo)層(ceng)(ceng)(ceng)的靶(ba)材(cai)鍍(du)膜(mo)(mo)(mo)腔(qiang)室，加(jia)熱(re)達到80-150℃的工藝(yi)溫度，向腔(qiang)室通入(ru)(ru)工藝(yi)氣(qi)體，設(she)置濺射(she)功(gong)率1-15KW，鍍(du)膜(mo)(mo)(mo)時(shi)間1-300S，得到厚度為1-100nm的低折(zhe)(zhe)(zhe)射(she)率膜(mo)(mo)(mo)層(ceng)(ceng)(ceng)，此低折(zhe)(zhe)(zhe)射(she)率膜(mo)(mo)(mo)層(ceng)(ceng)(ceng)為氧化硅(gui)、氮化硅(gui)等膜(mo)(mo)(mo)層(ceng)(ceng)(ceng)。

3、鍍高(gao)(gao)折射(she)率(lv)膜(mo)(mo)(mo)層(ceng)(ceng)，將(jiang)鍍完低(di)折射(she)率(lv)膜(mo)(mo)(mo)層(ceng)(ceng)的產品傳(chuan)入裝有可形(xing)成高(gao)(gao)折射(she)率(lv)膜(mo)(mo)(mo)層(ceng)(ceng)的靶(ba)材鍍膜(mo)(mo)(mo)腔室，加熱達到(dao)80-150℃的工(gong)藝(yi)溫度(du)(du)，向腔室通入工(gong)藝(yi)氣體，設置濺射(she)功率(lv)1-15KW，鍍膜(mo)(mo)(mo)時間1-300S，得到(dao)厚度(du)(du)為(wei)1-100nm的高(gao)(gao)折射(she)率(lv)膜(mo)(mo)(mo)層(ceng)(ceng)，所述高(gao)(gao)折射(she)率(lv)膜(mo)(mo)(mo)層(ceng)(ceng)為(wei)氧(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)鈦、氮化(hua)(hua)(hua)(hua)鈦、氧(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)鋯(gao)、氮化(hua)(hua)(hua)(hua)鋯(gao)、氧(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)鈮(ni)、氮化(hua)(hua)(hua)(hua)鈮(ni)、氧(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)鋅(xin)、氧(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)銦、氧(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)鋁、氧(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)鐵(tie)、氧(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)鉻、氮化(hua)(hua)(hua)(hua)鉻等膜(mo)(mo)(mo)層(ceng)(ceng)，此高(gao)(gao)低(di)折射(she)膜(mo)(mo)(mo)層(ceng)(ceng)的工(gong)藝(yi)氣體為(wei)Ar、N2、O2中的至少一種，其(qi)中Ar氣體流量為(wei)10-1000sccm，N2氣體流量為(wei)10-1000sccm，O2氣體流量為(wei)10-1000sccm。

4、重復步(bu)驟二和步(bu)驟三數次(ci)，得到(dao)不(bu)同顏色的(de)膜層，重復步(bu)驟二和步(bu)驟三的(de)次(ci)數為(wei)1-100次(ci)。

以下(xia)是PVD真空鍍膜(mo)裝(zhuang)飾薄膜(mo)常用材料(liao)及(ji)其常用氣體(ti)制作的各類裝(zhuang)飾顏色涂層：

鋯(gao)靶(ba)+氮氣：黃綠金黃色

鋯靶+甲(jia)烷：深淺黑色

鋯+氧(yang)氣(qi)：白(bai)色、透明膜

鋯靶(ba)+氮氣(qi)+甲烷(wan)：金色、仿玫瑰金

鉻靶+甲烷：深(shen)淺黑色

鉻靶+氮(dan)氣：淺黑色

鉻靶+氮氣+甲(jia)烷：銀(yin)灰(hui)色(se)

鉻靶+氧氣：黃色(se)、紫色(se)、綠色(se)

鉻靶(ba)+氧氣：銀(yin)色

不銹鋼靶(ba)+氧(yang)氣：紫色

不銹(xiu)鋼靶+氮(dan)氣：藍色

不銹鋼靶+甲烷(wan)：亮黑色

不銹鋼靶+甲烷+氮氣：藍黑色

硅+氮氣：黑色

硅靶+氧氣(qi)：混濁白、透(tou)明膜

硅(gui)靶+甲烷：黃色(se)、綠色(se)、藍色(se)、黑(hei)色(se)（靶材純度(du)高于99%僅能(neng)調黑(hei)色(se)）

鈦靶+氧氣：光學膜七彩截色

鈦靶+甲烷：深淺(qian)黑色（DLC制備不能(neng)達標）

鈦靶+氮氣：仿金色(se)、黃銅色(se)、紫色(se)、紅色(se)

鈦靶+氮氣+甲烷(wan)：仿玫瑰金(jin)、黑綠色、復(fu)古(gu)黃(huang)、棕(zong)色、紫色

鎢(wu)靶(ba)+氮氣：棕(zong)黃(huang)色

鎢靶+甲烷：深淺黑色

鎢靶+氧氣：紫色(se)、鮮黃色(se)、棕色(se)、藍色(se)