一、半導體設備檢修工具有哪些

半導(dao)體設備是一(yi)種(zhong)高精度的機器(qi)，在現代化工(gong)業(ye)發展(zhan)過(guo)程(cheng)中，流(liu)水線(xian)的生產操作對(dui)于半導(dao)體設備要(yao)求較(jiao)高，一(yi)旦出現故障(zhang)會直接影(ying)響整個企(qi)業(ye)的生產進程(cheng)，因此需要(yao)定期進行(xing)維修(xiu)(xiu)保(bao)養，防(fang)止(zhi)出現故障(zhang)發生導(dao)致停產，對(dui)企(qi)業(ye)造成較(jiao)為嚴重的經(jing)濟損(sun)失(shi)，半導(dao)體設備檢修(xiu)(xiu)可以用(yong)到哪些工(gong)具？

1、氣浮搬運平臺

氣浮搬運平臺利用空氣懸浮在地面上，與地面不接觸，防止半導體設備受到振動和沖(chong)擊，同時(shi)保(bao)護地面不受損(sun)傷，可以實現精(jing)確的位置控(kong)制，保(bao)質期(qi)四年(nian)。

2、帶滑臺爪式千斤頂

帶滑臺爪式千斤(jin)頂可(ke)以(yi)實現(xian)前后100mm水平移動(dong)，頂升平穩(wen)無晃動(dong)，可(ke)以(yi)實現(xian)高精度(du)的升降和(he)定(ding)位控制，可(ke)定(ding)制無塵型。

3、楔形千斤頂

楔(xie)(xie)形千斤頂(ding)只需(xu)5mm的(de)(de)縫隙，楔(xie)(xie)頭即可插入起升至34mm的(de)(de)高度，手柄可以360度旋轉，能用于狹窄空間。

4、滑動紙

滑(hua)(hua)動(dong)紙人力即可推(tui)動(dong)1至9噸(dun)的(de)(de)重物(wu)，調整(zheng)范(fan)圍為(wei)1cm-5cm，半導體設(she)備檢修結束后抬起約1mm的(de)(de)高(gao)度(du)即可拉出(chu)滑(hua)(hua)動(dong)紙，操作簡單，輕松便攜。

二、半導體設備檢修流程介紹

半導體(ti)設備出現故(gu)障后，先做好總體(ti)分析(xi)，然后仔細檢查故(gu)障問題(ti)。

1、首先，檢查(cha)半(ban)導(dao)體(ti)設(she)(she)備周(zhou)圍的冷凍機、真空壓縮機、變壓器(qi)等是(shi)否運行正常，如(ru)果這些設(she)(she)備都正常，再(zai)排查(cha)和(he)檢查(cha)半(ban)導(dao)體(ti)設(she)(she)備主體(ti)，檢修人員貿(mao)然拆解半(ban)導(dao)體(ti)設(she)(she)備會損壞元器(qi)件，重復的返工(gong)會浪費(fei)大量物力、人力和(he)財力。

2、其(qi)次(ci)，全面了解半(ban)導(dao)體(ti)設(she)備(bei)(bei)情況，確定半(ban)導(dao)體(ti)設(she)備(bei)(bei)故(gu)障范圍，有(you)針對(dui)性地采用檢修(xiu)方(fang)法，半(ban)導(dao)體(ti)設(she)備(bei)(bei)包括附加部(bu)(bu)分(fen)(fen)(fen)、傳送(song)部(bu)(bu)分(fen)(fen)(fen)、動(dong)力部(bu)(bu)分(fen)(fen)(fen)、控制部(bu)(bu)分(fen)(fen)(fen)等，控制部(bu)(bu)分(fen)(fen)(fen)是半(ban)導(dao)體(ti)設(she)備(bei)(bei)中最(zui)精密的(de)部(bu)(bu)分(fen)(fen)(fen)，應重(zhong)點檢查這個(ge)部(bu)(bu)分(fen)(fen)(fen)，逐一排查電路板模塊，反復進行對(dui)比分(fen)(fen)(fen)析，仔細檢查半(ban)導(dao)體(ti)設(she)備(bei)(bei)故(gu)障位置(zhi)。

3、最后，仔細清理半(ban)導(dao)體設備(bei)灰塵，檢查各個板件的焊接和線(xian)路連接，很多半(ban)導(dao)體設備(bei)在長時(shi)間使用過(guo)程中接口和插頭容易(yi)堆積大量(liang)灰塵導(dao)致漏電事故，線(xian)路板發生氧化形成虛焊，對于這些問(wen)題，檢修人員(yuan)應積極(ji)進行檢修維護。