一、半導體設備檢修工具有哪些

半導體(ti)設備(bei)是(shi)一(yi)種高(gao)精(jing)度(du)的機器，在現代化工業發(fa)展(zhan)過程中(zhong)，流水線的生(sheng)產操(cao)作對于半導體(ti)設備(bei)要求較(jiao)高(gao)，一(yi)旦出(chu)(chu)現故障會直接(jie)影響整個企業的生(sheng)產進(jin)程，因此需要定期進(jin)行維修(xiu)保養(yang)，防止出(chu)(chu)現故障發(fa)生(sheng)導致停產，對企業造成較(jiao)為嚴重的經濟損失，半導體(ti)設備(bei)檢修(xiu)可以用到哪些(xie)工具(ju)？

1、氣浮搬運平臺

氣浮搬運平臺利用空氣懸浮在地面上，與地面不接觸，防止半導體設備受到(dao)振動(dong)和沖擊，同時保(bao)護(hu)地面不(bu)受損傷，可(ke)以實現(xian)精確的位置控制，保(bao)質期四年。

2、帶滑臺爪式千斤頂

帶滑臺爪式千(qian)斤(jin)頂可以實(shi)現前(qian)后100mm水(shui)平(ping)移動，頂升平(ping)穩(wen)無晃(huang)動，可以實(shi)現高精度的升降(jiang)和定位控制(zhi)，可定制(zhi)無塵(chen)型。

3、楔形千斤頂

楔形千(qian)斤頂只需5mm的縫(feng)隙，楔頭即可(ke)插(cha)入起升至(zhi)34mm的高度，手柄可(ke)以360度旋轉，能(neng)用于狹窄空間(jian)。

4、滑動紙

滑(hua)動(dong)紙人力(li)即(ji)可(ke)推動(dong)1至9噸的重(zhong)物，調(diao)整范圍為1cm-5cm，半導體設(she)備檢修(xiu)結束(shu)后抬起約1mm的高(gao)度即(ji)可(ke)拉(la)出滑(hua)動(dong)紙，操作簡單，輕松便攜(xie)。

二、半導體設備檢修流程介紹

半(ban)導體設備出現故(gu)障后，先(xian)做(zuo)好總體分析，然后仔細檢查(cha)故(gu)障問題。

1、首(shou)先，檢(jian)查半導(dao)體設(she)(she)(she)備(bei)周(zhou)圍的(de)冷凍機、真空壓(ya)縮機、變壓(ya)器等是否運行正(zheng)常(chang)，如果這些設(she)(she)(she)備(bei)都(dou)正(zheng)常(chang)，再排查和(he)檢(jian)查半導(dao)體設(she)(she)(she)備(bei)主體，檢(jian)修人(ren)員(yuan)貿然拆解半導(dao)體設(she)(she)(she)備(bei)會損壞(huai)元(yuan)器件，重復的(de)返工會浪費(fei)大量物力、人(ren)力和(he)財力。

2、其次，全面了解半(ban)(ban)導體(ti)(ti)(ti)(ti)設(she)備(bei)情況(kuang)，確定半(ban)(ban)導體(ti)(ti)(ti)(ti)設(she)備(bei)故(gu)障范圍，有針對性(xing)地(di)采(cai)用檢(jian)修(xiu)方法，半(ban)(ban)導體(ti)(ti)(ti)(ti)設(she)備(bei)包括附加部(bu)(bu)分(fen)(fen)、傳送部(bu)(bu)分(fen)(fen)、動力部(bu)(bu)分(fen)(fen)、控制(zhi)部(bu)(bu)分(fen)(fen)等，控制(zhi)部(bu)(bu)分(fen)(fen)是半(ban)(ban)導體(ti)(ti)(ti)(ti)設(she)備(bei)中(zhong)最(zui)精密的部(bu)(bu)分(fen)(fen)，應重(zhong)點(dian)檢(jian)查(cha)這個部(bu)(bu)分(fen)(fen)，逐一排查(cha)電路板模(mo)塊，反復進行對比分(fen)(fen)析，仔細檢(jian)查(cha)半(ban)(ban)導體(ti)(ti)(ti)(ti)設(she)備(bei)故(gu)障位置。

3、最后(hou)，仔細清理(li)半(ban)導(dao)體設備灰塵，檢查各(ge)個(ge)板件的焊接和線路連接，很多(duo)半(ban)導(dao)體設備在(zai)長(chang)時間使用過程中接口和插頭容易堆(dui)積(ji)大(da)量灰塵導(dao)致漏電事故，線路板發生(sheng)氧化形(xing)成(cheng)虛焊，對于這些問題，檢修人(ren)員應積(ji)極進行檢修維護(hu)。