一、半導體設備檢修工具有哪些

半(ban)導體設(she)(she)備是一種高精度(du)的機器，在現(xian)(xian)代化工(gong)業發展(zhan)過程中，流水線的生(sheng)(sheng)產(chan)操(cao)作對(dui)于(yu)半(ban)導體設(she)(she)備要求較(jiao)高，一旦出(chu)現(xian)(xian)故障會直接(jie)影響整(zheng)個企業的生(sheng)(sheng)產(chan)進(jin)程，因此(ci)需要定期進(jin)行維修(xiu)保養，防止(zhi)出(chu)現(xian)(xian)故障發生(sheng)(sheng)導致停(ting)產(chan)，對(dui)企業造成較(jiao)為嚴(yan)重的經濟損失，半(ban)導體設(she)(she)備檢修(xiu)可以用到哪些(xie)工(gong)具？

1、氣浮搬運平臺

氣浮搬運平臺利用空氣懸浮在地面上，與地面不接觸，防止半導體設備受到振動(dong)和沖擊，同時保護(hu)地面不受損(sun)傷，可以實現精確的(de)位(wei)置控(kong)制，保質期四(si)年。

2、帶滑臺爪式千斤頂

帶滑臺爪(zhua)式千斤(jin)頂可以實現(xian)前后100mm水平移動，頂升平穩(wen)無晃(huang)動，可以實現(xian)高(gao)精度的升降(jiang)和(he)定位控制，可定制無塵型(xing)。

3、楔形千斤頂

楔形(xing)千斤頂只(zhi)需(xu)5mm的縫隙，楔頭即可(ke)插入起升至34mm的高(gao)度，手柄可(ke)以360度旋轉，能用于狹(xia)窄空(kong)間。

4、滑動紙

滑(hua)(hua)動(dong)紙(zhi)人力即(ji)可(ke)推動(dong)1至(zhi)9噸的重物，調整范圍(wei)為1cm-5cm，半導體(ti)設備檢(jian)修結束后抬起約1mm的高度即(ji)可(ke)拉(la)出滑(hua)(hua)動(dong)紙(zhi)，操作(zuo)簡單，輕(qing)松便(bian)攜。

二、半導體設備檢修流程介紹

半導(dao)體設(she)備出(chu)現故障(zhang)后，先做好(hao)總體分(fen)析，然(ran)后仔細(xi)檢查故障(zhang)問題。

1、首先，檢查(cha)(cha)半導(dao)體(ti)設備周圍的冷凍機、真空壓縮機、變(bian)壓器等是否運行正(zheng)常(chang)，如(ru)果這(zhe)些設備都正(zheng)常(chang)，再排(pai)查(cha)(cha)和(he)(he)檢查(cha)(cha)半導(dao)體(ti)設備主體(ti)，檢修人員(yuan)貿然拆(chai)解(jie)半導(dao)體(ti)設備會損壞元器件(jian)，重復(fu)的返工(gong)會浪費(fei)大量物力、人力和(he)(he)財力。

2、其次，全面了(le)解半(ban)導(dao)體(ti)(ti)設備情況，確定半(ban)導(dao)體(ti)(ti)設備故(gu)障范圍(wei)，有針對性地(di)采用(yong)檢修(xiu)方法，半(ban)導(dao)體(ti)(ti)設備包括附加部(bu)分(fen)、傳送部(bu)分(fen)、動(dong)力(li)部(bu)分(fen)、控(kong)制(zhi)部(bu)分(fen)等(deng)，控(kong)制(zhi)部(bu)分(fen)是半(ban)導(dao)體(ti)(ti)設備中(zhong)最精密的部(bu)分(fen)，應(ying)重點檢查(cha)這(zhe)個(ge)部(bu)分(fen)，逐一排查(cha)電路板模(mo)塊，反復進行對比(bi)分(fen)析(xi)，仔(zi)細檢查(cha)半(ban)導(dao)體(ti)(ti)設備故(gu)障位置(zhi)。

3、最后，仔細清理半(ban)(ban)導體(ti)設備(bei)灰塵，檢(jian)(jian)查各個板(ban)件的(de)焊接(jie)和線路連接(jie)，很多半(ban)(ban)導體(ti)設備(bei)在長時間(jian)使(shi)用過程中接(jie)口和插頭(tou)容易堆積大量灰塵導致漏電事故(gu)，線路板(ban)發生氧化(hua)形成虛焊，對(dui)于這些問題，檢(jian)(jian)修人員應積極(ji)進行(xing)檢(jian)(jian)修維護(hu)。