一、半導體設備檢修工具有哪些

半(ban)(ban)導(dao)(dao)體(ti)設備(bei)是一種高精(jing)度的(de)機器，在現(xian)代化工(gong)業發(fa)展過程中，流(liu)水線的(de)生產(chan)操作對于半(ban)(ban)導(dao)(dao)體(ti)設備(bei)要(yao)求較高，一旦(dan)出現(xian)故(gu)障(zhang)會直(zhi)接影響整個企(qi)(qi)業的(de)生產(chan)進程，因此需要(yao)定(ding)期進行維修(xiu)保(bao)養(yang)，防止出現(xian)故(gu)障(zhang)發(fa)生導(dao)(dao)致停產(chan)，對企(qi)(qi)業造成較為嚴(yan)重的(de)經濟(ji)損(sun)失，半(ban)(ban)導(dao)(dao)體(ti)設備(bei)檢修(xiu)可(ke)以用到哪些(xie)工(gong)具？

1、氣浮搬運平臺

氣浮搬運平臺利用空氣懸浮在地面上，與地面不接觸，防止半導體設備受(shou)到振動(dong)和沖擊(ji)，同時保護地面不(bu)受(shou)損傷，可以實現精確的位置控(kong)制，保質(zhi)期四(si)年。

2、帶滑臺爪式千斤頂

帶滑(hua)臺爪(zhua)式千斤頂(ding)(ding)可以實(shi)現前(qian)后100mm水平移動，頂(ding)(ding)升平穩無(wu)晃(huang)動，可以實(shi)現高(gao)精度(du)的升降和定位控制(zhi)，可定制(zhi)無(wu)塵型。

3、楔形千斤頂

楔形(xing)千(qian)斤頂只需5mm的縫(feng)隙，楔頭即可插入(ru)起升至34mm的高度，手(shou)柄可以360度旋(xuan)轉，能用于(yu)狹(xia)窄(zhai)空間。

4、滑動紙

滑(hua)動(dong)紙人力即可(ke)推動(dong)1至9噸的重物(wu)，調整范圍為1cm-5cm，半導(dao)體(ti)設備檢(jian)修結束(shu)后抬起約(yue)1mm的高(gao)度(du)即可(ke)拉出滑(hua)動(dong)紙，操作簡單，輕松(song)便(bian)攜。

二、半導體設備檢修流程介紹

半導體設(she)備(bei)出現故障(zhang)后，先做(zuo)好總(zong)體分析(xi)，然后仔細檢(jian)查故障(zhang)問題。

1、首先(xian)，檢(jian)查半(ban)導體(ti)設備(bei)周圍的冷凍機、真空壓縮機、變壓器(qi)等是(shi)否(fou)運行正常，如果(guo)這些設備(bei)都正常，再排查和(he)檢(jian)查半(ban)導體(ti)設備(bei)主體(ti)，檢(jian)修人員貿(mao)然拆解半(ban)導體(ti)設備(bei)會損(sun)壞元器(qi)件，重復的返工會浪費大量物力(li)、人力(li)和(he)財力(li)。

2、其(qi)次，全面了解半導(dao)體(ti)設(she)(she)備情況，確定半導(dao)體(ti)設(she)(she)備故障范(fan)圍，有針(zhen)對性地采(cai)用檢(jian)修(xiu)方(fang)法，半導(dao)體(ti)設(she)(she)備包括(kuo)附加部(bu)分(fen)、傳送部(bu)分(fen)、動力(li)部(bu)分(fen)、控制部(bu)分(fen)等，控制部(bu)分(fen)是半導(dao)體(ti)設(she)(she)備中(zhong)最精密的部(bu)分(fen)，應重點檢(jian)查這(zhe)個部(bu)分(fen)，逐一排查電(dian)路板模塊，反復進(jin)行對比分(fen)析，仔細(xi)檢(jian)查半導(dao)體(ti)設(she)(she)備故障位置。

3、最后，仔細清理半導體(ti)設備灰塵(chen)，檢查各(ge)個板件的(de)焊(han)接和線(xian)路連接，很多半導體(ti)設備在長(chang)時間使用過程中(zhong)接口和插頭容(rong)易堆積大(da)量灰塵(chen)導致漏電事故(gu)，線(xian)路板發生氧化形成虛(xu)焊(han)，對于這(zhe)些問題，檢修人員應積極進行檢修維(wei)護。