一、半導體設備檢修工具有哪些

半導體(ti)設(she)備(bei)是一(yi)種(zhong)高精度的機器，在現(xian)代化工業(ye)發展過程中，流水線的生(sheng)(sheng)產操作對于半導體(ti)設(she)備(bei)要求較(jiao)高，一(yi)旦(dan)出現(xian)故障會直接影響整(zheng)個企業(ye)的生(sheng)(sheng)產進程，因此需要定期(qi)進行維修保養，防止出現(xian)故障發生(sheng)(sheng)導致停(ting)產，對企業(ye)造成(cheng)較(jiao)為(wei)嚴重的經濟損失，半導體(ti)設(she)備(bei)檢(jian)修可(ke)以用(yong)到哪些工具？

1、氣浮搬運平臺

氣浮搬運平臺利用空氣懸浮在地面上，與地面不接觸，防止半導體設備受(shou)到振(zhen)動和沖擊，同時保(bao)護地面不受(shou)損(sun)傷，可以實現(xian)精確的位(wei)置(zhi)控制，保(bao)質期四年。

2、帶滑臺爪式千斤頂

帶滑(hua)臺爪式千(qian)斤頂(ding)可(ke)以實現前后100mm水平移(yi)動，頂(ding)升(sheng)平穩無(wu)晃(huang)動，可(ke)以實現高精度的升(sheng)降和(he)定位控制，可(ke)定制無(wu)塵型。

3、楔形千斤頂

楔形千斤頂(ding)只需5mm的(de)縫(feng)隙(xi)，楔頭即可(ke)插入(ru)起升至34mm的(de)高度(du)，手柄可(ke)以360度(du)旋轉(zhuan)，能用于狹窄空間。

4、滑動紙

滑動紙人力即可(ke)推動1至9噸的重物，調(diao)整范圍為1cm-5cm，半導體設備檢修結束后抬起約1mm的高(gao)度即可(ke)拉出滑動紙，操作簡單，輕(qing)松便攜。

二、半導體設備檢修流程介紹

半導體設備出現(xian)故障后，先(xian)做好總(zong)體分析，然后仔細檢查故障問題。

1、首(shou)先，檢查半(ban)(ban)導(dao)體(ti)設(she)備(bei)(bei)周圍的(de)冷凍機、真空壓(ya)縮機、變壓(ya)器等是否(fou)運行正常，如果這(zhe)些(xie)設(she)備(bei)(bei)都正常，再排查和(he)檢查半(ban)(ban)導(dao)體(ti)設(she)備(bei)(bei)主體(ti)，檢修人員(yuan)貿然拆解(jie)半(ban)(ban)導(dao)體(ti)設(she)備(bei)(bei)會損壞元器件(jian)，重復的(de)返(fan)工會浪(lang)費大量物(wu)力(li)、人力(li)和(he)財力(li)。

2、其次，全面了解半(ban)導(dao)體(ti)設備情況，確定(ding)半(ban)導(dao)體(ti)設備故(gu)障范圍，有針對(dui)性(xing)地采用檢(jian)修方法(fa)，半(ban)導(dao)體(ti)設備包括(kuo)附加部(bu)分(fen)(fen)、傳送部(bu)分(fen)(fen)、動力部(bu)分(fen)(fen)、控制(zhi)部(bu)分(fen)(fen)等，控制(zhi)部(bu)分(fen)(fen)是半(ban)導(dao)體(ti)設備中最(zui)精密的部(bu)分(fen)(fen)，應(ying)重點(dian)檢(jian)查(cha)(cha)這個(ge)部(bu)分(fen)(fen)，逐一排查(cha)(cha)電路板模塊(kuai)，反復進(jin)行(xing)對(dui)比分(fen)(fen)析，仔細檢(jian)查(cha)(cha)半(ban)導(dao)體(ti)設備故(gu)障位置。

3、最(zui)后，仔細清理半導(dao)(dao)體設備灰塵(chen)，檢(jian)查各個板件的焊接(jie)(jie)和線路連接(jie)(jie)，很多半導(dao)(dao)體設備在長時間使用過程(cheng)中接(jie)(jie)口和插頭容易堆積大量灰塵(chen)導(dao)(dao)致漏電事故，線路板發生氧化形成虛焊，對于(yu)這些問題(ti)，檢(jian)修人員(yuan)應積極進(jin)行檢(jian)修維護。