一、半導體設備檢修工具有哪些

半(ban)導(dao)(dao)體(ti)設備是一(yi)種(zhong)高精度(du)的機器，在現(xian)代化工(gong)業發(fa)(fa)展過(guo)程中，流水線的生產(chan)操(cao)作對于半(ban)導(dao)(dao)體(ti)設備要求較高，一(yi)旦出現(xian)故障(zhang)會直接影響整個企(qi)(qi)業的生產(chan)進程，因此(ci)需要定期進行維修(xiu)保養，防(fang)止出現(xian)故障(zhang)發(fa)(fa)生導(dao)(dao)致(zhi)停產(chan)，對企(qi)(qi)業造成(cheng)較為嚴(yan)重的經濟損失，半(ban)導(dao)(dao)體(ti)設備檢修(xiu)可以用到哪些工(gong)具？

1、氣浮搬運平臺

氣浮搬運平臺利用空氣懸浮在地面上，與地面不接觸，防止半導體設備受到振動和沖擊，同時保(bao)護(hu)地面不受損傷，可以實現精確的位置控制，保(bao)質期四年。

2、帶滑臺爪式千斤頂

帶滑臺爪(zhua)式千(qian)斤頂(ding)可以實(shi)現(xian)前(qian)后(hou)100mm水(shui)平(ping)移(yi)動，頂(ding)升平(ping)穩無晃(huang)動，可以實(shi)現(xian)高精度的升降和(he)定(ding)位控制，可定(ding)制無塵(chen)型。

3、楔形千斤頂

楔形千斤頂只需5mm的縫隙，楔頭即可(ke)插入起(qi)升至34mm的高度，手(shou)柄(bing)可(ke)以360度旋轉(zhuan)，能用于狹(xia)窄空間。

4、滑動紙

滑(hua)動紙人(ren)力即可推動1至9噸(dun)的重物，調(diao)整范(fan)圍為(wei)1cm-5cm，半導(dao)體設備檢修(xiu)結束后抬(tai)起(qi)約1mm的高度即可拉出滑(hua)動紙，操作簡單，輕(qing)松便攜。

二、半導體設備檢修流程介紹

半導體設備出(chu)現故障后，先做好總體分(fen)析，然后仔細檢查故障問題。

1、首先，檢(jian)查(cha)半(ban)導體(ti)設(she)(she)備(bei)周圍的(de)冷凍(dong)機、真(zhen)空壓縮機、變(bian)壓器等是否運行正常，如果(guo)這些設(she)(she)備(bei)都正常，再排查(cha)和(he)檢(jian)查(cha)半(ban)導體(ti)設(she)(she)備(bei)主體(ti)，檢(jian)修人員貿然(ran)拆解(jie)半(ban)導體(ti)設(she)(she)備(bei)會損壞元(yuan)器件，重復(fu)的(de)返工會浪費大(da)量物力(li)、人力(li)和(he)財力(li)。

2、其次，全面(mian)了解(jie)半導(dao)體設(she)備情況(kuang)，確定(ding)半導(dao)體設(she)備故障范(fan)圍(wei)，有針對性地采用(yong)檢(jian)(jian)修方(fang)法，半導(dao)體設(she)備包括附加部(bu)(bu)(bu)分、傳送部(bu)(bu)(bu)分、動力部(bu)(bu)(bu)分、控制(zhi)部(bu)(bu)(bu)分等，控制(zhi)部(bu)(bu)(bu)分是半導(dao)體設(she)備中最精(jing)密的部(bu)(bu)(bu)分，應重(zhong)點檢(jian)(jian)查這個部(bu)(bu)(bu)分，逐一排查電路板模塊，反(fan)復(fu)進行對比(bi)分析(xi)，仔(zi)細檢(jian)(jian)查半導(dao)體設(she)備故障位置。

3、最(zui)后，仔細清理半導(dao)(dao)體設(she)(she)備(bei)灰(hui)塵，檢查各個板(ban)件的焊接和線(xian)路連(lian)接，很多半導(dao)(dao)體設(she)(she)備(bei)在長時(shi)間(jian)使用過程中接口和插頭容易堆積大量(liang)灰(hui)塵導(dao)(dao)致漏電(dian)事故(gu)，線(xian)路板(ban)發生(sheng)氧化形成虛焊，對于(yu)這些問題，檢修人員應積極進行檢修維護。