一、探針的種類有哪些

在晶圓(yuan)或(huo)芯片(pian)測試(shi)(shi)的(de)過程(cheng)中，通常會(hui)使用(yong)探針(zhen)來準(zhun)確連接晶圓(yuan)或(huo)芯片(pian)的(de)引腳(jiao)或(huo)錫(xi)球(qiu)與測試(shi)(shi)機，以便檢(jian)測產品的(de)導通性(xing)(xing)、電流性(xing)(xing)、功能性(xing)(xing)和老化性(xing)(xing)等性(xing)(xing)能指標(biao)。那(nei)么你知道探針(zhen)的(de)種(zhong)類(lei)有哪些嗎？

1、就結構而言，常見的探針類型主要包括彈性探針、懸臂探針和垂直探針

（1）彈性探針

可彈性探針是一個由(you)螺旋(xuan)彈簧(huang)組成(cheng)(cheng)的探針，其兩(liang)端(duan)連(lian)接在上(shang)下柱(zhu)栓上(shang)。螺旋(xuan)彈簧(huang)的中間部分緊密纏(chan)繞在一起，以(yi)防止產(chan)生額(e)外的電感(gan)和附件電阻。而彈簧(huang)的兩(liang)端(duan)部分則被稀疏纏(chan)繞，以(yi)降(jiang)低探針對(dui)被測試物體的壓力(li)。在檢測集成(cheng)(cheng)電路時(shi)，信號會從下柱(zhu)栓流向(xiang)上(shang)方，形(xing)成(cheng)(cheng)導(dao)電路徑。

（2）懸臂式探針

懸臂探針(zhen)為探針(zhen)部提供適當的縱向(xiang)位(wei)移，用于通(tong)過橫向(xiang)懸臂接觸待測(ce)半(ban)導體產品，以避免探針(zhen)部對待測(ce)半(ban)導體產品施加過大的針(zhen)壓。

（3）垂直式探針

垂(chui)直探針(zhen)可以對應高密(mi)度(du)信號(hao)觸點的待測(ce)半(ban)導(dao)體產品的細間距(ju)排列(lie)，針(zhen)尖接觸待測(ce)半(ban)導(dao)體產品所(suo)需的縱向位(wei)移可以通過針(zhen)體本身的彈性(xing)變(bian)形來提供。

2、根據探針材料的劃分，常見的有鎢探針、釩銅探針和鎢合金探針

其中，鎢髁合(he)金探(tan)針(zhen)(zhen)具有穩定(ding)的接觸電阻，兼顧硬度和柔(rou)韌性(xing)，不易發生探(tan)針(zhen)(zhen)偏差。因此，鎢髁合(he)金探(tan)針(zhen)(zhen)是目前性(xing)能良好的一種常見探(tan)針(zhen)(zhen)。

3、根據探針的工作頻率，探針分為同軸探針和普通探針

同軸探針用(yong)于對(dui)測試頻率比較敏感的測試環境(jing)；普(pu)通探針用(yong)于對(dui)信(xin)號衰減不敏感的測試環境(jing)。

二、探針的選用與要求

1、探針的選用

（1）材料：選擇材質通常為316不(bu)銹鋼、金屬玻(bo)璃(li)(li)、石英玻(bo)璃(li)(li)、硅、玻(bo)璃(li)(li)鋼等。不(bu)同(tong)材料的(de)探(tan)針(zhen)具(ju)有(you)不(bu)同(tong)的(de)化(hua)學惰性(xing)和機(ji)械性(xing)能，對探(tan)測的(de)液體和氣體有(you)不(bu)同(tong)的(de)適應性(xing)。

（2）形狀(zhuang)：選(xuan)(xuan)擇探針(zhen)(zhen)的(de)形狀(zhuang)應該(gai)根據實驗(yan)需(xu)求進行選(xuan)(xuan)擇，通常探針(zhen)(zhen)的(de)形狀(zhuang)為直(zhi)棒(bang)狀(zhuang)、U形、Z形等(deng)。考慮到實驗(yan)的(de)靈敏度問題(ti)，在選(xuan)(xuan)用探針(zhen)(zhen)時必須與(yu)被測物相匹(pi)配。

（3）長度(du)(du)：探針的長度(du)(du)是下降液面幅(fu)度(du)(du)的關鍵因素(su)。為(wei)獲得準確的下降水平，要根據(ju)實際(ji)測(ce)量需求選擇合適(shi)的長度(du)(du)。

（4）直(zhi)徑：探針(zhen)的粗細(xi)通常(chang)采用0.5mm至5mm之間。過(guo)粗的探針(zhen)會影響測量(liang)的靈(ling)敏度，過(guo)細(xi)的探針(zhen)則可能會導致探針(zhen)的折斷。

（5）表面(mian)處(chu)理：在實驗(yan)中，探(tan)針(zhen)處(chu)于探(tan)測的介質中，探(tan)針(zhen)的表面(mian)形(xing)態(tai)和性(xing)質會直接影響到測量結果(guo)。因此，探(tan)針(zhen)的表面(mian)要求經過(guo)光(guang)潔處(chu)理和表面(mian)處(chu)理。

2、探針的要求

（1）質(zhi)量問題(ti)：在使(shi)用過程中(zhong)應(ying)定期(qi)進行質(zhi)量檢查(cha)。探(tan)針(zhen)的質(zhi)量差會導致(zhi)測量誤差增大，嚴重時可能(neng)會損壞實驗設備。

（2）加工(gong)(gong)工(gong)(gong)藝問題：在探針的制作(zuo)過程中，要保證探針的形狀、尺寸的精確與穩定。

（3）使(shi)(shi)用(yong)注(zhu)意事項(xiang)：避(bi)免在(zai)測量過(guo)程中(zhong)引入空氣(qi)，勿(wu)使(shi)(shi)用(yong)有陷(xian)進、連(lian)續的(de)探(tan)針以免擾動測量，對于使(shi)(shi)用(yong)多個探(tan)針進行(xing)測量的(de)情況要(yao)確保探(tan)針之間的(de)長度和間距足(zu)夠。

（4）存儲(chu)和(he)保養問題：盡可能地保證(zheng)存儲(chu)環境無除塵、避光性好；探針表面不(bu)能有刮傷等損壞，使用(yong)前應清洗干(gan)凈且消(xiao)毒處理(li)。