一、探針的種類有哪些

在(zai)晶(jing)圓(yuan)或(huo)(huo)芯(xin)片測試的過程中，通常會(hui)使用探針(zhen)來準確連接晶(jing)圓(yuan)或(huo)(huo)芯(xin)片的引腳(jiao)或(huo)(huo)錫球(qiu)與(yu)測試機，以便檢測產品的導通性、電流性、功能性和老化性等性能指標。那么你知道探針(zhen)的種(zhong)類有哪些嗎？

1、就結構而言，常見的探針類型主要包括彈性探針、懸臂探針和垂直探針

（1）彈性探針

可彈性探針是一個由螺旋彈簧(huang)組成的(de)(de)探針，其(qi)兩端連(lian)接在(zai)上(shang)下(xia)柱(zhu)栓上(shang)。螺旋彈簧(huang)的(de)(de)中(zhong)間部分(fen)緊密纏(chan)繞在(zai)一起，以防(fang)止(zhi)產生(sheng)額外(wai)的(de)(de)電(dian)(dian)(dian)感和附件電(dian)(dian)(dian)阻。而彈簧(huang)的(de)(de)兩端部分(fen)則被稀(xi)疏纏(chan)繞，以降低探針對被測(ce)試物體的(de)(de)壓力(li)。在(zai)檢測(ce)集(ji)成電(dian)(dian)(dian)路(lu)時，信號會從下(xia)柱(zhu)栓流(liu)向(xiang)上(shang)方，形成導電(dian)(dian)(dian)路(lu)徑。

（2）懸臂式探針

懸臂(bei)探針為探針部提供適當(dang)的縱向位移，用(yong)于通過(guo)橫向懸臂(bei)接觸待測半(ban)導體(ti)(ti)產(chan)品，以避(bi)免探針部對(dui)待測半(ban)導體(ti)(ti)產(chan)品施加(jia)過(guo)大的針壓。

（3）垂直式探針

垂直探針(zhen)可以(yi)對應高密度信號(hao)觸點的(de)待測半導(dao)體產品(pin)的(de)細間距(ju)排(pai)列，針(zhen)尖(jian)接觸待測半導(dao)體產品(pin)所需的(de)縱向位移(yi)可以(yi)通過針(zhen)體本身(shen)的(de)彈性變形來提供。

2、根據探針材料的劃分，常見的有鎢探針、釩銅探針和鎢合金探針

其(qi)中，鎢髁(ke)合金探(tan)(tan)針(zhen)具有(you)穩定的接(jie)觸電(dian)阻，兼顧硬(ying)度和柔(rou)韌性(xing)，不易發生探(tan)(tan)針(zhen)偏(pian)差。因此(ci)，鎢髁(ke)合金探(tan)(tan)針(zhen)是目(mu)前性(xing)能良好(hao)的一種(zhong)常見(jian)探(tan)(tan)針(zhen)。

3、根據探針的工作頻率，探針分為同軸探針和普通探針

同軸探針用于對(dui)測(ce)試頻(pin)率比較(jiao)敏(min)感的測(ce)試環(huan)境(jing)(jing)；普通探針用于對(dui)信號衰(shuai)減不(bu)敏(min)感的測(ce)試環(huan)境(jing)(jing)。

二、探針的選用與要求

1、探針的選用

（1）材(cai)料：選擇材(cai)質通常為(wei)316不銹鋼(gang)、金屬玻(bo)璃、石(shi)英(ying)玻(bo)璃、硅、玻(bo)璃鋼(gang)等。不同材(cai)料的探針具有不同的化學惰(duo)性和(he)機械(xie)性能(neng)，對探測的液體和(he)氣體有不同的適應性。

（2）形(xing)狀：選擇探針(zhen)的形(xing)狀應該根據實(shi)驗需求進(jin)行選擇，通常探針(zhen)的形(xing)狀為直(zhi)棒狀、U形(xing)、Z形(xing)等。考慮到(dao)實(shi)驗的靈敏度問題，在選用探針(zhen)時必須與被測(ce)物(wu)相(xiang)匹(pi)配(pei)。

（3）長(chang)度(du)：探針(zhen)的(de)(de)長(chang)度(du)是下降液面幅(fu)度(du)的(de)(de)關鍵因(yin)素。為獲得準確的(de)(de)下降水平，要根據實際測(ce)量需求選擇合適的(de)(de)長(chang)度(du)。

（4）直徑：探(tan)針的(de)粗細通常采用0.5mm至5mm之間(jian)。過粗的(de)探(tan)針會影響測量的(de)靈敏度(du)，過細的(de)探(tan)針則可能(neng)會導致探(tan)針的(de)折斷(duan)。

（5）表面(mian)處(chu)(chu)理：在實驗中，探(tan)針處(chu)(chu)于探(tan)測的(de)介(jie)質中，探(tan)針的(de)表面(mian)形態和性質會直接(jie)影響(xiang)到測量結果。因此，探(tan)針的(de)表面(mian)要求經過光潔處(chu)(chu)理和表面(mian)處(chu)(chu)理。

2、探針的要求

（1）質(zhi)量(liang)問題(ti)：在使用過程中應(ying)定期進行質(zhi)量(liang)檢查(cha)。探(tan)針的質(zhi)量(liang)差會(hui)(hui)導致(zhi)測量(liang)誤差增大，嚴重時可能會(hui)(hui)損(sun)壞(huai)實驗(yan)設備(bei)。

（2）加工(gong)工(gong)藝(yi)問(wen)題：在探針(zhen)的制作(zuo)過(guo)程中，要保(bao)證探針(zhen)的形狀、尺寸的精確(que)與(yu)穩定。

（3）使(shi)用注意事項：避免在測(ce)(ce)(ce)量過程中引入空氣，勿使(shi)用有陷進(jin)、連續的探針以免擾動測(ce)(ce)(ce)量，對于使(shi)用多個探針進(jin)行測(ce)(ce)(ce)量的情況要確保探針之間(jian)的長度和間(jian)距(ju)足夠。

（4）存(cun)儲和保(bao)養問(wen)題：盡可能(neng)地(di)保(bao)證存(cun)儲環境無除(chu)塵、避光性好；探針(zhen)表面不能(neng)有刮傷(shang)等損壞，使用前應清洗干凈(jing)且(qie)消毒處理(li)。