一、探針的種類有哪些

在晶(jing)(jing)圓或(huo)芯(xin)片(pian)測(ce)試的(de)過程中，通常會使(shi)用探(tan)針來準確連接晶(jing)(jing)圓或(huo)芯(xin)片(pian)的(de)引腳或(huo)錫球與測(ce)試機，以便檢測(ce)產(chan)品的(de)導通性、電(dian)流性、功能性和老化性等(deng)性能指標。那么(me)你知道探(tan)針的(de)種類有哪(na)些嗎？

1、就結構而言，常見的探針類型主要包括彈性探針、懸臂探針和垂直探針

（1）彈性探針

可彈性探(tan)針(zhen)是一(yi)個由螺旋彈簧組成(cheng)的(de)探(tan)針(zhen)，其兩(liang)端連接(jie)在上(shang)下柱栓(shuan)上(shang)。螺旋彈簧的(de)中間部分緊密纏(chan)繞在一(yi)起，以防止產(chan)生(sheng)額外的(de)電(dian)(dian)感和附件(jian)電(dian)(dian)阻(zu)。而彈簧的(de)兩(liang)端部分則被(bei)稀疏纏(chan)繞，以降低(di)探(tan)針(zhen)對被(bei)測(ce)試物體的(de)壓力。在檢測(ce)集成(cheng)電(dian)(dian)路時，信號會從下柱栓(shuan)流向上(shang)方(fang)，形成(cheng)導電(dian)(dian)路徑。

（2）懸臂式探針

懸臂探針(zhen)為探針(zhen)部提供適當(dang)的縱(zong)向位移，用于通過橫向懸臂接觸待測半(ban)導體產品，以避免探針(zhen)部對(dui)待測半(ban)導體產品施加過大的針(zhen)壓。

（3）垂直式探針

垂(chui)直(zhi)探(tan)針(zhen)可以對應高密(mi)度信號(hao)觸(chu)點(dian)的(de)(de)待測半(ban)導體產品的(de)(de)細(xi)間距排列，針(zhen)尖接觸(chu)待測半(ban)導體產品所需的(de)(de)縱向(xiang)位(wei)移可以通(tong)過針(zhen)體本身的(de)(de)彈性變(bian)形來提(ti)供。

2、根據探針材料的劃分，常見的有鎢探針、釩銅探針和鎢合金探針

其中，鎢髁(ke)合金(jin)(jin)探針(zhen)具有穩定的接觸電阻(zu)，兼(jian)顧硬度和柔(rou)韌(ren)性，不易發生(sheng)探針(zhen)偏差(cha)。因此，鎢髁(ke)合金(jin)(jin)探針(zhen)是目前性能良好的一種常見探針(zhen)。

3、根據探針的工作頻率，探針分為同軸探針和普通探針

同軸探針用于(yu)對測(ce)試頻率比(bi)較敏(min)感的測(ce)試環境；普通探針用于(yu)對信號衰減不敏(min)感的測(ce)試環境。

二、探針的選用與要求

1、探針的選用

（1）材(cai)料：選(xuan)擇(ze)材(cai)質通常(chang)為(wei)316不銹(xiu)鋼、金屬玻(bo)璃、石英(ying)玻(bo)璃、硅、玻(bo)璃鋼等。不同材(cai)料的(de)(de)(de)探針(zhen)具有不同的(de)(de)(de)化學惰(duo)性和機械(xie)性能，對探測的(de)(de)(de)液體和氣(qi)體有不同的(de)(de)(de)適應性。

（2）形(xing)狀(zhuang)：選擇(ze)探(tan)針的形(xing)狀(zhuang)應該根(gen)據實驗(yan)需求進行選擇(ze)，通常探(tan)針的形(xing)狀(zhuang)為直棒狀(zhuang)、U形(xing)、Z形(xing)等。考慮到實驗(yan)的靈敏度問題(ti)，在選用探(tan)針時必須與被測物相(xiang)匹配(pei)。

（3）長度(du)：探針的(de)(de)長度(du)是下降液面幅度(du)的(de)(de)關鍵因素。為獲(huo)得(de)準確的(de)(de)下降水平，要根(gen)據實際測量需求選擇合(he)適的(de)(de)長度(du)。

（4）直(zhi)徑：探(tan)針(zhen)的(de)粗細通常采用(yong)0.5mm至5mm之間(jian)。過(guo)(guo)粗的(de)探(tan)針(zhen)會(hui)影響測量(liang)的(de)靈(ling)敏度，過(guo)(guo)細的(de)探(tan)針(zhen)則可能會(hui)導致探(tan)針(zhen)的(de)折斷(duan)。

（5）表(biao)(biao)(biao)(biao)面(mian)(mian)處(chu)(chu)理：在實驗中，探(tan)針處(chu)(chu)于探(tan)測(ce)的(de)(de)介質中，探(tan)針的(de)(de)表(biao)(biao)(biao)(biao)面(mian)(mian)形(xing)態和性(xing)質會直接影響到測(ce)量結果。因此，探(tan)針的(de)(de)表(biao)(biao)(biao)(biao)面(mian)(mian)要求(qiu)經(jing)過(guo)光潔處(chu)(chu)理和表(biao)(biao)(biao)(biao)面(mian)(mian)處(chu)(chu)理。

2、探針的要求

（1）質(zhi)(zhi)量(liang)問題：在使(shi)用過程中應定期進行質(zhi)(zhi)量(liang)檢查(cha)。探針的質(zhi)(zhi)量(liang)差(cha)會(hui)導致測(ce)量(liang)誤差(cha)增大，嚴(yan)重(zhong)時可能會(hui)損(sun)壞實驗設備。

（2）加工工藝問題：在探(tan)針的制作過程(cheng)中，要保證探(tan)針的形狀、尺寸的精確(que)與穩定(ding)。

（3）使用注(zhu)意事項：避免在(zai)測(ce)量過程中引(yin)入空氣(qi)，勿使用有陷進、連續(xu)的探針以免擾動測(ce)量，對于使用多個探針進行測(ce)量的情(qing)況要(yao)確保探針之間的長度和間距足(zu)夠。

（4）存儲和保養問題：盡可(ke)能(neng)地保證存儲環境無除塵、避光(guang)性好；探針(zhen)表面不能(neng)有刮傷等損壞，使用前應清洗(xi)干凈且消毒處理。