一、探針的種類有哪些

在晶圓(yuan)或芯(xin)片測試的(de)過程中，通常(chang)會(hui)使(shi)用探針來準確連接晶圓(yuan)或芯(xin)片的(de)引腳或錫球與測試機，以便(bian)檢測產(chan)品的(de)導通性(xing)(xing)、電(dian)流性(xing)(xing)、功能性(xing)(xing)和老化性(xing)(xing)等(deng)性(xing)(xing)能指(zhi)標。那(nei)么你(ni)知(zhi)道探針的(de)種類有哪些(xie)嗎？

1、就結構而言，常見的探針類型主要包括彈性探針、懸臂探針和垂直探針

（1）彈性探針

可(ke)彈(dan)性(xing)探針是一(yi)(yi)個由螺旋(xuan)彈(dan)簧(huang)組成(cheng)的(de)(de)探針，其兩(liang)端連接在上下柱栓(shuan)上。螺旋(xuan)彈(dan)簧(huang)的(de)(de)中間部(bu)(bu)分(fen)緊(jin)密(mi)纏(chan)繞在一(yi)(yi)起(qi)，以(yi)防止產生額外的(de)(de)電(dian)(dian)感和(he)附件(jian)電(dian)(dian)阻。而彈(dan)簧(huang)的(de)(de)兩(liang)端部(bu)(bu)分(fen)則被稀疏纏(chan)繞，以(yi)降(jiang)低(di)探針對被測(ce)(ce)試物體的(de)(de)壓(ya)力(li)。在檢測(ce)(ce)集成(cheng)電(dian)(dian)路(lu)時，信(xin)號會從下柱栓(shuan)流向上方，形成(cheng)導電(dian)(dian)路(lu)徑。

（2）懸臂式探針

懸臂探(tan)針(zhen)(zhen)為探(tan)針(zhen)(zhen)部提供適(shi)當的縱向(xiang)位移，用(yong)于(yu)通(tong)過橫(heng)向(xiang)懸臂接觸(chu)待測(ce)半導(dao)體產(chan)品，以避免探(tan)針(zhen)(zhen)部對待測(ce)半導(dao)體產(chan)品施加過大的針(zhen)(zhen)壓。

（3）垂直式探針

垂(chui)直(zhi)探針(zhen)可以(yi)對(dui)應(ying)高密度信號觸點的(de)待測半(ban)導體(ti)產品的(de)細(xi)間距排列，針(zhen)尖(jian)接觸待測半(ban)導體(ti)產品所需的(de)縱向位移可以(yi)通過針(zhen)體(ti)本身的(de)彈性變形(xing)來提供。

2、根據探針材料的劃分，常見的有鎢探針、釩銅探針和鎢合金探針

其中，鎢髁合(he)(he)金探(tan)針(zhen)(zhen)具有穩定的接觸電阻(zu)，兼顧硬度和(he)柔韌性，不易發生探(tan)針(zhen)(zhen)偏差(cha)。因(yin)此，鎢髁合(he)(he)金探(tan)針(zhen)(zhen)是目(mu)前性能(neng)良(liang)好(hao)的一(yi)種常見(jian)探(tan)針(zhen)(zhen)。

3、根據探針的工作頻率，探針分為同軸探針和普通探針

同軸(zhou)探針用于對(dui)測(ce)試(shi)頻率比較敏感(gan)的測(ce)試(shi)環境(jing)；普(pu)通(tong)探針用于對(dui)信(xin)號衰減不(bu)敏感(gan)的測(ce)試(shi)環境(jing)。

二、探針的選用與要求

1、探針的選用

（1）材料(liao)：選(xuan)擇材質通常為(wei)316不(bu)(bu)銹鋼、金屬玻(bo)璃、石英玻(bo)璃、硅、玻(bo)璃鋼等。不(bu)(bu)同材料(liao)的(de)(de)探針具有(you)不(bu)(bu)同的(de)(de)化學惰(duo)性和機械性能，對(dui)探測的(de)(de)液體和氣體有(you)不(bu)(bu)同的(de)(de)適(shi)應性。

（2）形(xing)狀(zhuang)：選擇(ze)探(tan)針(zhen)的形(xing)狀(zhuang)應該根(gen)據(ju)實(shi)驗需求進行(xing)選擇(ze)，通(tong)常探(tan)針(zhen)的形(xing)狀(zhuang)為直棒狀(zhuang)、U形(xing)、Z形(xing)等。考慮(lv)到實(shi)驗的靈敏(min)度(du)問(wen)題，在選用探(tan)針(zhen)時必須與被測(ce)物相匹配(pei)。

（3）長(chang)度：探針的(de)長(chang)度是(shi)下降液面幅度的(de)關鍵因素。為獲得準確的(de)下降水(shui)平(ping)，要根據實際測量需求選擇合適的(de)長(chang)度。

（4）直徑(jing)：探(tan)針(zhen)(zhen)的(de)粗細通常采用0.5mm至(zhi)5mm之間。過粗的(de)探(tan)針(zhen)(zhen)會影響測量的(de)靈敏(min)度，過細的(de)探(tan)針(zhen)(zhen)則可能會導致探(tan)針(zhen)(zhen)的(de)折斷。

（5）表面處理(li)：在實驗中，探針處于(yu)探測的介質中，探針的表面形(xing)態和性質會直接影(ying)響到測量(liang)結果。因(yin)此，探針的表面要求經(jing)過光潔(jie)處理(li)和表面處理(li)。

2、探針的要求

（1）質量(liang)問題(ti)：在使用過程中(zhong)應定期進行質量(liang)檢查。探針(zhen)的(de)質量(liang)差會(hui)導致測量(liang)誤差增大，嚴重時可(ke)能會(hui)損壞實驗(yan)設備(bei)。

（2）加工工藝(yi)問(wen)題：在探針的(de)制作(zuo)過程中，要保證探針的(de)形狀、尺寸(cun)的(de)精確與穩定。

（3）使(shi)用注意(yi)事項(xiang)：避免在測量(liang)過(guo)程中引入空氣(qi)，勿使(shi)用有陷進(jin)、連續的探(tan)針(zhen)以免擾動(dong)測量(liang)，對于使(shi)用多個探(tan)針(zhen)進(jin)行測量(liang)的情況要確保探(tan)針(zhen)之間(jian)的長度和間(jian)距足夠。

（4）存(cun)儲(chu)和(he)保養(yang)問(wen)題：盡可能地保證存(cun)儲(chu)環境無除塵(chen)、避(bi)光性好；探(tan)針表面不能有刮傷(shang)等損壞，使用前應清(qing)洗干凈且消毒處理(li)。