一、探針的種類有哪些

在晶圓或(huo)芯(xin)片測試的(de)過程(cheng)中，通(tong)常會使用探針(zhen)來準(zhun)確連接晶圓或(huo)芯(xin)片的(de)引腳或(huo)錫球(qiu)與測試機，以便檢(jian)測產品的(de)導通(tong)性(xing)、電流性(xing)、功能性(xing)和老化性(xing)等(deng)性(xing)能指(zhi)標(biao)。那么你知(zhi)道探針(zhen)的(de)種(zhong)類(lei)有哪些(xie)嗎？

1、就結構而言，常見的探針類型主要包括彈性探針、懸臂探針和垂直探針

（1）彈性探針

可(ke)彈(dan)(dan)性探針(zhen)(zhen)是一(yi)個由(you)螺旋彈(dan)(dan)簧(huang)組(zu)成(cheng)(cheng)的探針(zhen)(zhen)，其(qi)兩(liang)端(duan)連接(jie)在(zai)上下柱栓(shuan)上。螺旋彈(dan)(dan)簧(huang)的中間(jian)部分(fen)緊密纏(chan)繞在(zai)一(yi)起，以防止(zhi)產(chan)生額(e)外的電(dian)感和附件電(dian)阻(zu)。而彈(dan)(dan)簧(huang)的兩(liang)端(duan)部分(fen)則被(bei)稀疏纏(chan)繞，以降低(di)探針(zhen)(zhen)對被(bei)測(ce)試物體的壓力(li)。在(zai)檢測(ce)集(ji)成(cheng)(cheng)電(dian)路(lu)時(shi)，信號會從下柱栓(shuan)流(liu)向上方，形成(cheng)(cheng)導電(dian)路(lu)徑。

（2）懸臂式探針

懸臂(bei)(bei)探針(zhen)為(wei)探針(zhen)部提供適當的縱向位移(yi)，用于(yu)通(tong)過(guo)橫向懸臂(bei)(bei)接觸待測(ce)半導(dao)體產品，以避免探針(zhen)部對待測(ce)半導(dao)體產品施加過(guo)大的針(zhen)壓。

（3）垂直式探針

垂直探針(zhen)可(ke)以(yi)(yi)對(dui)應(ying)高密度信(xin)號觸點(dian)的(de)(de)待測(ce)半導體(ti)產品的(de)(de)細間距排列，針(zhen)尖(jian)接觸待測(ce)半導體(ti)產品所需的(de)(de)縱(zong)向(xiang)位(wei)移可(ke)以(yi)(yi)通過針(zhen)體(ti)本身(shen)的(de)(de)彈(dan)性(xing)變形來提供。

2、根據探針材料的劃分，常見的有鎢探針、釩銅探針和鎢合金探針

其中，鎢髁合金(jin)探針具有穩定的接觸電阻，兼顧硬度和柔韌性，不易(yi)發生探針偏差。因(yin)此，鎢髁合金(jin)探針是目前性能良好的一種常見探針。

3、根據探針的工作頻率，探針分為同軸探針和普通探針

同軸探(tan)針(zhen)(zhen)用于對測(ce)試頻率比較敏感的(de)測(ce)試環(huan)境；普通探(tan)針(zhen)(zhen)用于對信(xin)號衰減不(bu)敏感的(de)測(ce)試環(huan)境。

二、探針的選用與要求

1、探針的選用

（1）材(cai)(cai)料(liao)：選(xuan)擇材(cai)(cai)質通常為316不(bu)銹鋼、金屬玻璃、石英玻璃、硅、玻璃鋼等。不(bu)同材(cai)(cai)料(liao)的(de)探針具(ju)有(you)不(bu)同的(de)化學惰性(xing)和機械性(xing)能，對探測的(de)液體(ti)和氣(qi)體(ti)有(you)不(bu)同的(de)適應性(xing)。

（2）形(xing)狀：選(xuan)(xuan)擇探(tan)(tan)針的(de)形(xing)狀應該根據實(shi)驗(yan)需求進行選(xuan)(xuan)擇，通常探(tan)(tan)針的(de)形(xing)狀為直棒狀、U形(xing)、Z形(xing)等。考慮到實(shi)驗(yan)的(de)靈敏(min)度問(wen)題，在選(xuan)(xuan)用探(tan)(tan)針時必須與(yu)被測物相匹(pi)配。

（3）長(chang)度(du)：探針的長(chang)度(du)是下(xia)降液面幅度(du)的關鍵因素。為獲(huo)得準確的下(xia)降水(shui)平，要根據實際測量需求選擇合適的長(chang)度(du)。

（4）直(zhi)徑(jing)：探針(zhen)的(de)粗細通(tong)常采(cai)用0.5mm至5mm之間。過粗的(de)探針(zhen)會(hui)影響測量的(de)靈敏度，過細的(de)探針(zhen)則可能會(hui)導致探針(zhen)的(de)折斷。

（5）表(biao)面(mian)處(chu)理：在實驗中(zhong)(zhong)，探針處(chu)于探測(ce)(ce)的介質中(zhong)(zhong)，探針的表(biao)面(mian)形態(tai)和性質會直接影響到測(ce)(ce)量結果。因此(ci)，探針的表(biao)面(mian)要求經過光(guang)潔處(chu)理和表(biao)面(mian)處(chu)理。

2、探針的要求

（1）質(zhi)量(liang)問題：在使(shi)用(yong)過(guo)程中(zhong)應(ying)定期進(jin)行質(zhi)量(liang)檢查。探針的質(zhi)量(liang)差會導(dao)致(zhi)測(ce)量(liang)誤(wu)差增大，嚴重時可(ke)能會損壞實驗(yan)設備。

（2）加工(gong)工(gong)藝問題(ti)：在探(tan)針(zhen)的制(zhi)作過程中(zhong)，要保證探(tan)針(zhen)的形狀、尺寸的精確與(yu)穩(wen)定(ding)。

（3）使用(yong)(yong)注(zhu)意(yi)事項：避免在測量(liang)過程中引入空(kong)氣，勿使用(yong)(yong)有(you)陷進、連(lian)續的(de)探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)以免擾動(dong)測量(liang)，對于使用(yong)(yong)多(duo)個探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)進行測量(liang)的(de)情(qing)況要確保探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)之間的(de)長度和(he)間距足夠。

（4）存儲和保(bao)養問題：盡可能地保(bao)證存儲環境無除塵、避光(guang)性好；探針表(biao)面不能有(you)刮傷等損壞(huai)，使用前應清(qing)洗干凈且(qie)消毒(du)處理。