一、探針的種類有哪些

在晶圓或(huo)芯片測試的(de)過程中，通(tong)常會使(shi)用探針來準確連(lian)接晶圓或(huo)芯片的(de)引(yin)腳或(huo)錫球與測試機，以便檢測產(chan)品的(de)導通(tong)性(xing)、電流性(xing)、功(gong)能(neng)性(xing)和老化性(xing)等性(xing)能(neng)指標。那(nei)么你知道探針的(de)種類有哪(na)些嗎？

1、就結構而言，常見的探針類型主要包括彈性探針、懸臂探針和垂直探針

（1）彈性探針

可彈(dan)性探(tan)(tan)針(zhen)是一(yi)個由螺旋(xuan)彈(dan)簧(huang)組(zu)成的(de)(de)(de)探(tan)(tan)針(zhen)，其兩端連接在(zai)上(shang)下柱(zhu)栓上(shang)。螺旋(xuan)彈(dan)簧(huang)的(de)(de)(de)中間(jian)部(bu)分(fen)(fen)緊密纏(chan)繞在(zai)一(yi)起，以(yi)防止產生額(e)外(wai)的(de)(de)(de)電感和(he)附(fu)件電阻。而彈(dan)簧(huang)的(de)(de)(de)兩端部(bu)分(fen)(fen)則被稀(xi)疏纏(chan)繞，以(yi)降低探(tan)(tan)針(zhen)對被測(ce)試物體的(de)(de)(de)壓力。在(zai)檢測(ce)集成電路時(shi)，信號會從下柱(zhu)栓流向上(shang)方，形成導電路徑。

（2）懸臂式探針

懸(xuan)臂探(tan)針(zhen)為(wei)探(tan)針(zhen)部提供適當的縱向(xiang)位移(yi)，用于通過(guo)橫向(xiang)懸(xuan)臂接(jie)觸待測半(ban)導體(ti)產品，以避免探(tan)針(zhen)部對(dui)待測半(ban)導體(ti)產品施加過(guo)大的針(zhen)壓。

（3）垂直式探針

垂直探針(zhen)可以(yi)對應高密度信號(hao)觸(chu)點(dian)的(de)(de)待測(ce)半(ban)導(dao)體產品的(de)(de)細間距排列，針(zhen)尖接觸(chu)待測(ce)半(ban)導(dao)體產品所(suo)需的(de)(de)縱(zong)向位移可以(yi)通過針(zhen)體本身的(de)(de)彈(dan)性(xing)變形來(lai)提供。

2、根據探針材料的劃分，常見的有鎢探針、釩銅探針和鎢合金探針

其中(zhong)，鎢髁(ke)合(he)金探(tan)針(zhen)(zhen)具有(you)穩定的(de)接(jie)觸電阻(zu)，兼顧硬度和柔韌性，不易發生探(tan)針(zhen)(zhen)偏差。因此，鎢髁(ke)合(he)金探(tan)針(zhen)(zhen)是目前性能良好(hao)的(de)一(yi)種常見探(tan)針(zhen)(zhen)。

3、根據探針的工作頻率，探針分為同軸探針和普通探針

同軸探針用(yong)(yong)于(yu)對測(ce)試頻率比較敏感的測(ce)試環境；普(pu)通探針用(yong)(yong)于(yu)對信號衰減不(bu)敏感的測(ce)試環境。

二、探針的選用與要求

1、探針的選用

（1）材料：選擇材質(zhi)通常為316不(bu)(bu)銹鋼、金屬(shu)玻(bo)(bo)璃、石英玻(bo)(bo)璃、硅、玻(bo)(bo)璃鋼等(deng)。不(bu)(bu)同材料的探(tan)(tan)針(zhen)具有不(bu)(bu)同的化學惰性(xing)和機械性(xing)能，對(dui)探(tan)(tan)測的液體和氣體有不(bu)(bu)同的適應性(xing)。

（2）形狀：選擇(ze)探針的(de)(de)形狀應該根據實(shi)驗(yan)需求進行選擇(ze)，通常探針的(de)(de)形狀為(wei)直棒(bang)狀、U形、Z形等。考慮(lv)到(dao)實(shi)驗(yan)的(de)(de)靈敏度問(wen)題，在選用探針時(shi)必(bi)須與被測物相匹配(pei)。

（3）長度(du)(du)：探針的(de)(de)長度(du)(du)是下降(jiang)液(ye)面(mian)幅度(du)(du)的(de)(de)關鍵因(yin)素。為獲得準確(que)的(de)(de)下降(jiang)水平，要(yao)根(gen)據實際(ji)測量需求(qiu)選(xuan)擇合適的(de)(de)長度(du)(du)。

（4）直徑：探(tan)針(zhen)的(de)粗細(xi)通常采用0.5mm至5mm之間。過粗的(de)探(tan)針(zhen)會影響測量的(de)靈敏度(du)，過細(xi)的(de)探(tan)針(zhen)則可(ke)能(neng)會導致探(tan)針(zhen)的(de)折(zhe)斷。

（5）表面(mian)處理(li)：在實驗中，探(tan)針處于探(tan)測的(de)介質中，探(tan)針的(de)表面(mian)形態(tai)和性質會直接影響到(dao)測量結果。因此，探(tan)針的(de)表面(mian)要求經過光潔處理(li)和表面(mian)處理(li)。

2、探針的要求

（1）質(zhi)量問題：在使用(yong)過程(cheng)中應定期進行(xing)質(zhi)量檢查。探(tan)針的質(zhi)量差(cha)會導致測量誤差(cha)增(zeng)大，嚴重時可能會損壞實驗設(she)備。

（2）加工工藝問題：在(zai)探針的(de)制作過程中，要保證探針的(de)形狀(zhuang)、尺(chi)寸的(de)精確與穩定。

（3）使用注意(yi)事項：避(bi)免(mian)(mian)在測(ce)量過程中引入空氣(qi)，勿使用有(you)陷進、連續的探(tan)針以免(mian)(mian)擾動(dong)測(ce)量，對(dui)于使用多個探(tan)針進行測(ce)量的情況要確保探(tan)針之間的長(chang)度(du)和間距足(zu)夠。

（4）存儲和保(bao)養問題：盡可能地保(bao)證(zheng)存儲環境無除塵、避(bi)光性好；探針表面不能有刮傷等損壞，使(shi)用前應清(qing)洗干凈(jing)且消毒處(chu)理。