一、探針的種類有哪些

在晶(jing)圓(yuan)或(huo)芯(xin)(xin)片(pian)測(ce)試的過程中，通常會使用探(tan)針來準確連接(jie)晶(jing)圓(yuan)或(huo)芯(xin)(xin)片(pian)的引腳或(huo)錫球與(yu)測(ce)試機，以便檢測(ce)產品的導(dao)通性(xing)(xing)、電流性(xing)(xing)、功能性(xing)(xing)和老化性(xing)(xing)等(deng)性(xing)(xing)能指標。那(nei)么你知道(dao)探(tan)針的種類(lei)有哪些嗎？

1、就結構而言，常見的探針類型主要包括彈性探針、懸臂探針和垂直探針

（1）彈性探針

可彈(dan)性探針是一個由螺旋彈(dan)簧組成(cheng)的(de)(de)探針，其兩(liang)端連接在(zai)上下柱(zhu)栓上。螺旋彈(dan)簧的(de)(de)中間(jian)部(bu)分緊(jin)密纏繞在(zai)一起，以(yi)防止產生(sheng)額(e)外(wai)的(de)(de)電(dian)感和附件電(dian)阻。而彈(dan)簧的(de)(de)兩(liang)端部(bu)分則被稀疏纏繞，以(yi)降低探針對(dui)被測(ce)(ce)試物體的(de)(de)壓(ya)力。在(zai)檢測(ce)(ce)集成(cheng)電(dian)路時，信號會從下柱(zhu)栓流向上方，形成(cheng)導電(dian)路徑(jing)。

（2）懸臂式探針

懸(xuan)臂(bei)探針(zhen)為探針(zhen)部提供適當的縱向位移，用于通(tong)過(guo)橫向懸(xuan)臂(bei)接觸(chu)待(dai)(dai)測半導體產(chan)品(pin)，以避免(mian)探針(zhen)部對待(dai)(dai)測半導體產(chan)品(pin)施(shi)加過(guo)大的針(zhen)壓。

（3）垂直式探針

垂直探針(zhen)可以(yi)對應高密度信號觸點的待測(ce)半導體(ti)產(chan)品的細間距排列，針(zhen)尖接(jie)觸待測(ce)半導體(ti)產(chan)品所需的縱(zong)向位(wei)移可以(yi)通過針(zhen)體(ti)本身的彈性變形來提供。

2、根據探針材料的劃分，常見的有鎢探針、釩銅探針和鎢合金探針

其中，鎢(wu)髁合金探(tan)針(zhen)具有(you)穩定(ding)的接(jie)觸電(dian)阻，兼顧硬度和柔韌(ren)性，不易發生(sheng)探(tan)針(zhen)偏差(cha)。因(yin)此(ci)，鎢(wu)髁合金探(tan)針(zhen)是目(mu)前性能良好(hao)的一種常見探(tan)針(zhen)。

3、根據探針的工作頻率，探針分為同軸探針和普通探針

同軸(zhou)探針用(yong)于(yu)對(dui)測(ce)試(shi)(shi)頻(pin)率(lv)比(bi)較敏(min)感(gan)的(de)(de)測(ce)試(shi)(shi)環境(jing)；普通探針用(yong)于(yu)對(dui)信號衰減(jian)不敏(min)感(gan)的(de)(de)測(ce)試(shi)(shi)環境(jing)。

二、探針的選用與要求

1、探針的選用

（1）材料(liao)：選擇材質通常為(wei)316不銹鋼(gang)(gang)、金屬(shu)玻璃、石(shi)英玻璃、硅、玻璃鋼(gang)(gang)等。不同(tong)(tong)材料(liao)的(de)探(tan)針(zhen)具有(you)不同(tong)(tong)的(de)化學惰(duo)性(xing)和機(ji)械性(xing)能，對探(tan)測的(de)液體(ti)和氣體(ti)有(you)不同(tong)(tong)的(de)適應(ying)性(xing)。

（2）形狀(zhuang)：選擇(ze)探針的(de)形狀(zhuang)應該根據實(shi)驗(yan)需求進行選擇(ze)，通常探針的(de)形狀(zhuang)為直棒狀(zhuang)、U形、Z形等(deng)。考(kao)慮到(dao)實(shi)驗(yan)的(de)靈敏(min)度問題，在選用(yong)探針時(shi)必須與被測(ce)物相匹配。

（3）長(chang)度(du)：探針的長(chang)度(du)是下降液面幅度(du)的關鍵因素。為(wei)獲得準確的下降水平，要根據(ju)實際測量需求選擇合適的長(chang)度(du)。

（4）直徑：探針的(de)(de)粗細(xi)通(tong)常采用0.5mm至5mm之間。過粗的(de)(de)探針會影響測(ce)量的(de)(de)靈(ling)敏度，過細(xi)的(de)(de)探針則(ze)可能會導致探針的(de)(de)折斷。

（5）表(biao)面(mian)(mian)處理：在實驗中(zhong)，探針(zhen)處于探測的介(jie)質(zhi)中(zhong)，探針(zhen)的表(biao)面(mian)(mian)形態(tai)和性質(zhi)會直(zhi)接影響到測量結果(guo)。因(yin)此，探針(zhen)的表(biao)面(mian)(mian)要求(qiu)經過光潔處理和表(biao)面(mian)(mian)處理。

2、探針的要求

（1）質量問題(ti)：在使(shi)用(yong)過程(cheng)中應定期進行(xing)質量檢(jian)查。探針(zhen)的質量差會導致測量誤差增大，嚴重(zhong)時可能(neng)會損壞實驗設備。

（2）加工工藝(yi)問題：在探(tan)針(zhen)的(de)(de)(de)制(zhi)作(zuo)過(guo)程中，要(yao)保證探(tan)針(zhen)的(de)(de)(de)形(xing)狀(zhuang)、尺寸(cun)的(de)(de)(de)精確與(yu)穩定。

（3）使用(yong)注意(yi)事項：避免(mian)在測量過程中引入空氣，勿使用(yong)有陷進、連續的(de)探(tan)(tan)(tan)針以(yi)免(mian)擾動(dong)測量，對(dui)于使用(yong)多個探(tan)(tan)(tan)針進行測量的(de)情況要確保探(tan)(tan)(tan)針之間的(de)長度和間距足夠。

（4）存(cun)儲(chu)和(he)保(bao)養問題：盡可能地保(bao)證存(cun)儲(chu)環(huan)境無除(chu)塵、避光性(xing)好；探針表(biao)面(mian)不能有刮傷(shang)等損壞，使(shi)用(yong)前應清洗干凈且消毒處(chu)理。