一、硅晶圓是什么

硅(gui)晶(jing)(jing)圓就是硅(gui)元素加以純(chun)化（99.999%），接著是將這些純(chun)硅(gui)制成長硅(gui)晶(jing)(jing)棒，成為制造積體電(dian)路的石英半導體的材料，經過照相(xiang)制版，研磨，拋光，切片(pian)(pian)(pian)等程序，將多晶(jing)(jing)硅(gui)融解拉出單晶(jing)(jing)硅(gui)晶(jing)(jing)棒，然后切割成一(yi)片(pian)(pian)(pian)一(yi)片(pian)(pian)(pian)薄薄的晶(jing)(jing)圓。

二、硅晶圓的特點有哪些

硅材料(liao)制(zhi)作(zuo)的晶圓具(ju)有高純度、良好的機械加工性(xing)和尺寸穩(wen)定性(xing)，是制(zhi)作(zuo)半導體集(ji)成電(dian)路和光電(dian)子(zi)器件的重要(yao)材料(liao)。

1、高純度

硅(gui)材料制作的晶圓(yuan)具有高(gao)純度的特點，可(ke)(ke)通過單晶生長和多晶熔軋等工藝(yi)獲(huo)得。高(gao)純度的晶圓(yuan)可(ke)(ke)保證電(dian)子器件(jian)(jian)中的光、電(dian)、熱性能，從而使(shi)器件(jian)(jian)具有更高(gao)的可(ke)(ke)靠(kao)性和長壽命(ming)。

2、良好的機械加工性

硅材料制作的晶圓具有良好的機械加工性能，可進行水切、磨削、玻璃噴砂等加工工藝。這一特點使硅晶圓可方(fang)便(bian)地進行精確的加(jia)工(gong)和制造，從而(er)滿足(zu)半導體(ti)行業(ye)對晶圓加(jia)工(gong)精度的要(yao)求。

3、尺寸穩定性

硅(gui)材(cai)料制作的晶圓具有(you)(you)尺寸穩定(ding)性(xing)，且可(ke)保持高(gao)度(du)的平面度(du)。這(zhe)種特性(xing)使(shi)得(de)硅(gui)晶圓可(ke)廣(guang)泛應用(yong)于制造半導體器(qi)件。硅(gui)晶圓表(biao)現出良好的尺寸穩定(ding)性(xing)和(he)(he)平面度(du)，這(zhe)有(you)(you)助(zhu)于提高(gao)電子器(qi)件制造的質量和(he)(he)效率。

三、硅晶圓為什么是圓的

因為制作工藝決定了它是圓形的。提純過后的高純度多晶硅是在一個子晶（seed）上旋轉生長出來的。多晶硅被融化后放入一個坩堝（Quartz Crucible）中，再將子晶放入坩堝中勻速轉動并且向上提拉，則熔融的硅會沿著子晶向形成一個圓柱體的硅錠（ingot），然后硅錠再經過金剛線切割變成硅片，硅(gui)片經過打磨(mo)等處理后就可以進行后續的工序了(le)。

單晶(jing)直拉(la)法工藝(yi)中(zhong)的(de)旋轉提拉(la)決定了硅(gui)錠(ding)的(de)圓(yuan)(yuan)(yuan)柱型，從(cong)而決定晶(jing)圓(yuan)(yuan)(yuan)是圓(yuan)(yuan)(yuan)形的(de)。