一、硅晶圓是什么

硅晶(jing)圓就是硅元素加(jia)以(yi)純化(hua)（99.999%），接著是將這些純硅制成(cheng)長硅晶(jing)棒(bang)，成(cheng)為制造積(ji)體(ti)電(dian)路(lu)的石英半導(dao)體(ti)的材料(liao)，經過照相制版，研磨，拋光，切片(pian)(pian)等程序，將多晶(jing)硅融解拉(la)出單(dan)晶(jing)硅晶(jing)棒(bang)，然后切割成(cheng)一片(pian)(pian)一片(pian)(pian)薄(bo)薄(bo)的晶(jing)圓。

二、硅晶圓的特點有哪些

硅材(cai)料(liao)制作的晶圓具有高純度、良好(hao)的機械(xie)加工性和(he)尺寸穩(wen)定性，是制作半導(dao)體集成電路和(he)光(guang)電子器件的重要材(cai)料(liao)。

1、高純度

硅材料制作的(de)晶圓具有(you)高(gao)(gao)純度的(de)特點，可通過單晶生長和多(duo)晶熔軋(ya)等工藝獲得。高(gao)(gao)純度的(de)晶圓可保證電子器件(jian)(jian)中的(de)光、電、熱性(xing)能，從而使(shi)器件(jian)(jian)具有(you)更(geng)高(gao)(gao)的(de)可靠性(xing)和長壽命。

2、良好的機械加工性

硅材料制作的晶圓具有良好的機械加工性能，可進行水切、磨削、玻璃噴砂等加工工藝。這一特點使硅晶圓可方便(bian)地進行精(jing)確的加(jia)工和制造(zao)，從而滿(man)足(zu)半(ban)導體行業對晶圓(yuan)加(jia)工精(jing)度的要求。

3、尺寸穩定性

硅材(cai)料制作的晶(jing)圓具有尺寸穩定(ding)性(xing)(xing)，且可保持高度的平面度。這種特性(xing)(xing)使得(de)硅晶(jing)圓可廣(guang)泛應用于制造半導體(ti)器件(jian)。硅晶(jing)圓表現出良好(hao)的尺寸穩定(ding)性(xing)(xing)和平面度，這有助于提(ti)高電(dian)子器件(jian)制造的質量和效率。

三、硅晶圓為什么是圓的

因為制作工藝決定了它是圓形的。提純過后的高純度多晶硅是在一個子晶（seed）上旋轉生長出來的。多晶硅被融化后放入一個坩堝（Quartz Crucible）中，再將子晶放入坩堝中勻速轉動并且向上提拉，則熔融的硅會沿著子晶向形成一個圓柱體的硅錠（ingot），然后硅錠再經過金剛線切割變成硅片，硅(gui)片經過(guo)打(da)磨等處理(li)后(hou)就可以進行后(hou)續的工序了。

單晶直拉法工藝中的(de)旋(xuan)轉提拉決(jue)定(ding)了硅錠的(de)圓(yuan)柱型，從(cong)而決(jue)定(ding)晶圓(yuan)是圓(yuan)形的(de)。