一、硅晶圓和芯片有什么關系
硅晶圓一般采用p型或n型單晶硅制成,具有高純度、高穩定性、高可加工性等優點。那么你知道硅晶圓和(he)芯片究竟有什么關(guan)系(xi)嗎?
硅(gui)晶圓(yuan)和(he)芯(xin)(xin)片(pian)是(shi)半(ban)導(dao)體制(zhi)造過(guo)(guo)程(cheng)中不(bu)可(ke)或缺的(de)(de)兩個元(yuan)素,硅(gui)晶圓(yuan)作為芯(xin)(xin)片(pian)的(de)(de)基礎材料,為芯(xin)(xin)片(pian)提供了可(ke)靠的(de)(de)物(wu)理支撐。芯(xin)(xin)片(pian)制(zhi)作過(guo)(guo)程(cheng)離(li)不(bu)開硅(gui)晶圓(yuan),無論是(shi)電路(lu)圖(tu)案的(de)(de)制(zhi)作還(huan)是(shi)電路(lu)的(de)(de)連(lian)接(jie)和(he)元(yuan)器件的(de)(de)生長,都需要硅(gui)晶圓(yuan)的(de)(de)支持。硅(gui)晶圓(yuan)的(de)(de)質(zhi)量(liang)和(he)性(xing)能對芯(xin)(xin)片(pian)的(de)(de)質(zhi)量(liang)和(he)性(xing)能有(you)著直(zhi)接(jie)的(de)(de)影(ying)響。
二、硅晶圓在芯片制造中的重要作用
前文已經簡單的了(le)解(jie)到硅(gui)(gui)晶圓是(shi)芯片(pian)制造的基礎,芯片(pian)離不開硅(gui)(gui)晶圓。那么具體的硅(gui)(gui)晶圓在芯片(pian)制造中(zhong)的重要作用體現在哪些(xie)方面(mian)呢(ni)?
1、芯片刻畫
芯片刻畫是制(zhi)作(zuo)芯片的(de)(de)重(zhong)要步驟(zou)之一(yi),硅晶圓作(zuo)為芯片刻畫的(de)(de)載(zai)體(ti),具有(you)很好(hao)的(de)(de)機械穩定性和(he)(he)高度的(de)(de)表面(mian)平(ping)整度,能夠承載(zai)半導體(ti)器件的(de)(de)各(ge)種圖(tu)形(xing),以(yi)及各(ge)種圖(tu)形(xing)的(de)(de)加工和(he)(he)制(zhi)作(zuo)流程(cheng)。
2、化學加工
化學(xue)加工(gong)是芯(xin)片制(zhi)造的重要步驟之(zhi)一。通過對硅晶(jing)圓(yuan)表(biao)面(mian)進行化學(xue)反應,可以在(zai)表(biao)面(mian)形成氧(yang)化層(ceng)、硝化層(ceng)等(deng),達到保護、改(gai)性和創造新的表(biao)面(mian)結(jie)構等(deng)多種目的。
3、光刻
光(guang)刻(ke)(ke)是芯(xin)(xin)片制造中重要的(de)工藝,用(yong)光(guang)刻(ke)(ke)技術將(jiang)掩膜上(shang)的(de)圖案通(tong)過硅晶圓上(shang)的(de)紫外光(guang)投射到光(guang)致蝕(shi)性的(de)光(guang)刻(ke)(ke)膠或者氧化硅上(shang),使得芯(xin)(xin)片上(shang)的(de)此區域留下片上(shang)圖形或者形變,從而達到芯(xin)(xin)片制造的(de)目的(de)。
三、為什么芯片是方的,晶圓是圓的
1、在生產芯片的過程中,圓形晶圓由于力學因素生產更方便,良率(lv)更高,且硅棒天(tian)然是圓柱(zhu)型,晶圓自(zi)然也(ye)就是圓形了。
2、硅(gui)片(pian)(pian)(pian)在(zai)經(jing)過(guo)(guo)(guo)涂膠、光刻(ke)、刻(ke)蝕、離子注入等步驟后,一顆(ke)顆(ke)芯(xin)(xin)(xin)片(pian)(pian)(pian)才會被制(zhi)造出(chu)來,不(bu)過(guo)(guo)(guo)此時芯(xin)(xin)(xin)片(pian)(pian)(pian)還是“長”在(zai)晶(jing)圓上(shang)的(de)(de),需要(yao)經(jing)過(guo)(guo)(guo)切(qie)割才能(neng)變成(cheng)一顆(ke)顆(ke)單獨的(de)(de)芯(xin)(xin)(xin)片(pian)(pian)(pian)。方形的(de)(de)芯(xin)(xin)(xin)片(pian)(pian)(pian)僅需幾刀就可以全部(bu)切(qie)下(xia)。圓形的(de)(de)芯(xin)(xin)(xin)片(pian)(pian)(pian),恐怕就要(yao)耗費(fei)比方形幾倍的(de)(de)時間來切(qie)割了(le)。最重要(yao)的(de)(de)一點,圓形芯(xin)(xin)(xin)片(pian)(pian)(pian)并不(bu)能(neng)解決硅(gui)片(pian)(pian)(pian)面積浪費(fei)的(de)(de)問題。