一、硅晶圓和芯片有什么關系
硅晶圓一般采用p型或n型單晶硅制成,具有高純度、高穩定性、高可加工性等優點。那么你知道硅晶圓和芯片究竟有(you)什么關系嗎(ma)?
硅(gui)晶圓(yuan)(yuan)和(he)芯(xin)(xin)片(pian)(pian)是(shi)半導體制造(zao)過程(cheng)中不(bu)可或缺的(de)兩(liang)個元(yuan)素,硅(gui)晶圓(yuan)(yuan)作為(wei)芯(xin)(xin)片(pian)(pian)的(de)基礎材料,為(wei)芯(xin)(xin)片(pian)(pian)提供了(le)可靠的(de)物理(li)支(zhi)撐。芯(xin)(xin)片(pian)(pian)制作過程(cheng)離不(bu)開硅(gui)晶圓(yuan)(yuan),無論是(shi)電(dian)路(lu)(lu)圖案的(de)制作還是(shi)電(dian)路(lu)(lu)的(de)連接和(he)元(yuan)器件的(de)生長,都需要(yao)硅(gui)晶圓(yuan)(yuan)的(de)支(zhi)持。硅(gui)晶圓(yuan)(yuan)的(de)質量和(he)性能(neng)對芯(xin)(xin)片(pian)(pian)的(de)質量和(he)性能(neng)有著直接的(de)影響(xiang)。
二、硅晶圓在芯片制造中的重要作用
前(qian)文已經簡單(dan)的(de)(de)了解到硅晶圓是芯(xin)片(pian)制(zhi)(zhi)造的(de)(de)基礎,芯(xin)片(pian)離不開硅晶圓。那么具體的(de)(de)硅晶圓在芯(xin)片(pian)制(zhi)(zhi)造中的(de)(de)重要作(zuo)用(yong)體現(xian)在哪些方(fang)面(mian)呢?
1、芯片刻畫
芯(xin)(xin)片(pian)刻(ke)畫是(shi)制作(zuo)(zuo)芯(xin)(xin)片(pian)的重要(yao)步驟之一,硅晶圓作(zuo)(zuo)為芯(xin)(xin)片(pian)刻(ke)畫的載體(ti),具有很好的機械穩定性和高度(du)的表面平整(zheng)度(du),能夠承載半(ban)導體(ti)器件(jian)的各種圖(tu)形(xing),以及各種圖(tu)形(xing)的加工和制作(zuo)(zuo)流程(cheng)。
2、化學加工
化(hua)學(xue)加工是芯片制造的重(zhong)要步驟之一。通過對硅(gui)晶圓(yuan)表(biao)面(mian)進(jin)行化(hua)學(xue)反應(ying),可以(yi)在表(biao)面(mian)形成氧化(hua)層(ceng)、硝化(hua)層(ceng)等,達(da)到(dao)保護、改性和創造新(xin)的表(biao)面(mian)結構等多種目的。
3、光刻
光(guang)(guang)(guang)刻(ke)是芯片(pian)制造中重(zhong)要的工藝,用光(guang)(guang)(guang)刻(ke)技術(shu)將掩膜上(shang)的圖案通過(guo)硅晶圓上(shang)的紫(zi)外光(guang)(guang)(guang)投射到(dao)(dao)光(guang)(guang)(guang)致蝕性的光(guang)(guang)(guang)刻(ke)膠或者氧(yang)化硅上(shang),使得芯片(pian)上(shang)的此(ci)區域留下片(pian)上(shang)圖形(xing)或者形(xing)變,從而(er)達到(dao)(dao)芯片(pian)制造的目的。
三、為什么芯片是方的,晶圓是圓的
1、在生產芯片的(de)過程中,圓(yuan)形晶(jing)(jing)圓(yuan)由(you)于(yu)力(li)學因素(su)生產更方便,良率更高,且硅(gui)棒(bang)天然是圓(yuan)柱型,晶(jing)(jing)圓(yuan)自(zi)然也就是圓(yuan)形了。
2、硅(gui)片(pian)(pian)在經(jing)過涂膠、光刻(ke)(ke)、刻(ke)(ke)蝕、離子注(zhu)入(ru)等步驟后,一(yi)顆(ke)顆(ke)芯(xin)片(pian)(pian)才會被制造(zao)出(chu)來,不過此(ci)時芯(xin)片(pian)(pian)還是“長”在晶(jing)圓(yuan)上的(de),需要(yao)經(jing)過切割才能變成一(yi)顆(ke)顆(ke)單獨(du)的(de)芯(xin)片(pian)(pian)。方(fang)形(xing)的(de)芯(xin)片(pian)(pian)僅需幾(ji)刀就可以全部切下。圓(yuan)形(xing)的(de)芯(xin)片(pian)(pian),恐怕就要(yao)耗費(fei)(fei)比方(fang)形(xing)幾(ji)倍的(de)時間來切割了。最重要(yao)的(de)一(yi)點,圓(yuan)形(xing)芯(xin)片(pian)(pian)并不能解(jie)決硅(gui)片(pian)(pian)面積(ji)浪費(fei)(fei)的(de)問題。