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硅片是半導體材料嗎 硅片怎么分辨等級

本文章由注冊用戶 淺嘗不止— 上傳提供 2023-07-21 評論 0
摘要:目前全球半導體市場中,90%以上的芯片和傳感器都是基于硅材料制造而成。半導體硅片處于集成電路產業鏈上游,發揮著重要的行業基礎支撐作用。硅材料因其具有單方向導電特性、熱敏特性、光電特性、摻雜特性等優良性能,可以生長為大尺寸高純度晶體,且儲量豐富、價格低廉,故而成為全球應用最廣泛、最重要的半導體基礎材料,那么硅片怎么分辨等級呢?一起到文中來看看吧!

一、硅片是半導體材料嗎

是。

硅(gui)(gui)片是(shi)半導體(ti)材料的基石,它是(shi)先通過拉單晶制(zhi)作成(cheng)硅(gui)(gui)棒,然后切割制(zhi)作成(cheng)的。由于硅(gui)(gui)原(yuan)子的價電(dian)(dian)子數(shu)為4,序數(shu)適中,所以(yi)硅(gui)(gui)元素具有(you)特殊的物理化學性(xing)(xing)質,可(ke)用在(zai)化工、光(guang)伏、芯(xin)片等領(ling)域(yu)。特別是(shi)在(zai)芯(xin)片領(ling)域(yu),正式硅(gui)(gui)元素的半導體(ti)特性(xing)(xing),使其成(cheng)為了芯(xin)片的基石。在(zai)光(guang)伏領(ling)域(yu),可(ke)用于太陽能發電(dian)(dian)。而且地球的地殼中硅(gui)(gui)元素占(zhan)比達到25.8%,開(kai)采較為方便,可(ke)回收(shou)性(xing)(xing)強,所以(yi)價格(ge)低(di)廉(lian),進一步(bu)增強了硅(gui)(gui)的應用范圍。

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二、硅片怎么分辨等級

每(mei)家(jia)硅(gui)片企業的標準都不一樣(yang),僅供參(can)考,以下(xia)標準針對的硅(gui)片厚度為220μm。

1、優等品

(1)硅片(pian)表面光(guang)滑(hua)潔(jie)凈。

(2)TV:220±20μm。

(3)幾何尺寸:

邊(bian)長125±0.5mm。對角150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm。

邊長103±0.5mm、對(dui)角135±0.5mm。

邊(bian)長150±0.5mm、156±0.5mm、對(dui)角203±0.5mm、200±0.5mm。

同心度:任意兩個弧的弦(xian)長之差≤1mm。

垂(chui)直度(du):任意兩邊的夾(jia)角:90°±0.3。

2、合格品

一級品:

(1)表面有少許(xu)污漬、輕微線痕。

(2)220±20μm≤TV≤220±30μm。

(3)幾何尺寸:

邊長(chang)125±0.5mm。對(dui)角150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm。

邊長103±0.5mm、對角135±0.5mm。

邊長150±0.5mm、156±0.5mm、對角203±0.5mm、200±0.5mm。

同心度:任意兩個弧的弦長之差≤1.2mm。

垂直度:任意兩(liang)邊的夾角:90°±0.5,cheapradiishoes。

二級品:

(1)表面有少(shao)許污漬、線痕(hen)、凹痕(hen),輕微崩邊。

(2)220±30μm≤TV≤220±40μm。

(3)凹痕:硅(gui)片表面(mian)凹痕之和≤30μm。

(4)崩(beng)邊范圍:崩(beng)邊口不是三(san)角(jiao)形(xing)狀,崩(beng)邊口長(chang)度≤1mm,深(shen)度≤0.5mm

(5)幾何尺寸:

邊長125±0.52mm、對角150±0.52mm、148±0.52mm、165±0.52mm。

邊長103±0.52mm、對角135±0.52mm。

邊長150±0.52mm、156±0.52mm、對角(jiao)203±0.52mm、200±0.52mm。

同(tong)心度:任(ren)意兩(liang)個弧的弦長(chang)之差≤1.5mm。

垂(chui)直(zhi)度:任意兩邊(bian)的夾角:90°±0.8。

三級品:

(1)表面有油(you)污但硅片顏(yan)色不發黑,有線(xian)痕(hen)和硅落現象。

(2)220±40μm≤TV≤220±60μm。

(3)硅(gui)落:整張硅(gui)片邊(bian)緣硅(gui)晶(jing)脫(tuo)落或部分(fen)硅(gui)晶(jing)脫(tuo)落。

3、不合格品

(1)嚴重(zhong)線(xian)痕、厚薄片:TV>220±60μm。

(2)崩邊片:有缺損但可(ke)以改(gai)Φ103的硅片。

(3)氣孔片(pian):硅(gui)片(pian)中間有穿孔。

(4)外形片:切方滾圓未能磨出(chu)的硅片。

(5)倒角(jiao)片(同心度(du)):任(ren)意兩個弧的弦長(chang)之差(cha)>1.5mm。

(6)菱形片(垂直(zhi)度(du)):任意兩邊的夾角>90°±0.8。

(7)凹(ao)痕片(pian):硅片(pian)兩面(mian)凹(ao)痕之(zhi)和>30μm。

(8)臟片:硅片表面(mian)有嚴重污漬且(qie)發黃發黑。

(9)尺寸(cun)偏(pian)差(cha)片:幾何(he)尺寸(cun)超過二(er)級品的范圍。

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