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硅片是半導體材料嗎 硅片怎么分辨等級

本文章由注冊用戶 淺嘗不止— 上傳提供 2023-07-21 評論 0
摘要:目前全球半導體市場中,90%以上的芯片和傳感器都是基于硅材料制造而成。半導體硅片處于集成電路產業鏈上游,發揮著重要的行業基礎支撐作用。硅材料因其具有單方向導電特性、熱敏特性、光電特性、摻雜特性等優良性能,可以生長為大尺寸高純度晶體,且儲量豐富、價格低廉,故而成為全球應用最廣泛、最重要的半導體基礎材料,那么硅片怎么分辨等級呢?一起到文中來看看吧!

一、硅片是半導體材料嗎

是。

硅片(pian)是半(ban)(ban)導體(ti)材料的基石,它(ta)是先通過拉單晶(jing)制作(zuo)(zuo)成(cheng)硅棒,然后切(qie)割制作(zuo)(zuo)成(cheng)的。由于硅原(yuan)子的價(jia)電(dian)(dian)子數為(wei)(wei)4,序數適中(zhong),所以硅元素具有特(te)殊的物理化(hua)學性質,可用(yong)在(zai)化(hua)工(gong)、光(guang)伏(fu)、芯(xin)片(pian)等領(ling)域(yu)。特(te)別是在(zai)芯(xin)片(pian)領(ling)域(yu),正式硅元素的半(ban)(ban)導體(ti)特(te)性,使其成(cheng)為(wei)(wei)了(le)芯(xin)片(pian)的基石。在(zai)光(guang)伏(fu)領(ling)域(yu),可用(yong)于太陽(yang)能發電(dian)(dian)。而且(qie)地球的地殼中(zhong)硅元素占比達(da)到25.8%,開采較為(wei)(wei)方(fang)便(bian),可回收(shou)性強,所以價(jia)格低廉,進一步增強了(le)硅的應用(yong)范圍(wei)。

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二、硅片怎么分辨等級

每家硅片企業的(de)標準都不(bu)一樣,僅供參考(kao),以下標準針對的(de)硅片厚(hou)度(du)為220μm。

1、優等品

(1)硅(gui)片表面(mian)光(guang)滑潔凈。

(2)TV:220±20μm。

(3)幾何(he)尺寸(cun):

邊(bian)長125±0.5mm。對(dui)角(jiao)150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm。

邊長(chang)103±0.5mm、對角135±0.5mm。

邊長150±0.5mm、156±0.5mm、對角203±0.5mm、200±0.5mm。

同心度:任(ren)意兩個弧的弦長(chang)之差≤1mm。

垂直度:任意兩(liang)邊的(de)夾(jia)角:90°±0.3。

2、合格品

一級品:

(1)表面有少許(xu)污漬、輕微線痕。

(2)220±20μm≤TV≤220±30μm。

(3)幾何尺(chi)寸:

邊長(chang)125±0.5mm。對角150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm。

邊長103±0.5mm、對角135±0.5mm。

邊長150±0.5mm、156±0.5mm、對角203±0.5mm、200±0.5mm。

同(tong)心度:任意兩個弧的弦(xian)長之差≤1.2mm。

垂(chui)直度:任意兩邊(bian)的夾角:90°±0.5,cheapradiishoes。

二級品:

(1)表面有少許污(wu)漬、線痕、凹痕,輕(qing)微崩邊。

(2)220±30μm≤TV≤220±40μm。

(3)凹(ao)痕(hen):硅片表面凹(ao)痕(hen)之和≤30μm。

(4)崩(beng)邊范圍:崩(beng)邊口不是三角形狀,崩(beng)邊口長(chang)度≤1mm,深度≤0.5mm

(5)幾何尺寸:

邊長125±0.52mm、對角150±0.52mm、148±0.52mm、165±0.52mm。

邊長103±0.52mm、對角135±0.52mm。

邊長150±0.52mm、156±0.52mm、對角(jiao)203±0.52mm、200±0.52mm。

同心(xin)度:任意(yi)兩個弧的弦(xian)長之(zhi)差(cha)≤1.5mm。

垂直度:任意兩邊的夾角(jiao):90°±0.8。

三級品:

(1)表(biao)面(mian)有(you)油污但(dan)硅片顏色不發黑,有(you)線痕和硅落現象。

(2)220±40μm≤TV≤220±60μm。

(3)硅落(luo):整(zheng)張硅片邊(bian)緣硅晶脫落(luo)或(huo)部分硅晶脫落(luo)。

3、不合格品

(1)嚴重線(xian)痕、厚薄片:TV>220±60μm。

(2)崩邊(bian)片:有缺損但(dan)可以改Φ103的硅(gui)片。

(3)氣(qi)孔片:硅片中間有穿孔。

(4)外(wai)形片:切(qie)方滾(gun)圓(yuan)未能磨出的(de)硅片。

(5)倒角(jiao)片(同心度):任意(yi)兩個弧的弦長(chang)之差>1.5mm。

(6)菱形片(垂直度):任意兩(liang)邊(bian)的夾(jia)角(jiao)>90°±0.8。

(7)凹(ao)痕片(pian):硅片(pian)兩面凹(ao)痕之(zhi)和>30μm。

(8)臟片:硅片表面有嚴重污漬且(qie)發(fa)黃發(fa)黑。

(9)尺寸(cun)偏差片:幾何(he)尺寸(cun)超過二級品的范圍。

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