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硅片是半導體材料嗎 硅片怎么分辨等級

本文章由注冊用戶 淺嘗不止— 上傳提供 2023-07-21 評論 0
摘要:目前全球半導體市場中,90%以上的芯片和傳感器都是基于硅材料制造而成。半導體硅片處于集成電路產業鏈上游,發揮著重要的行業基礎支撐作用。硅材料因其具有單方向導電特性、熱敏特性、光電特性、摻雜特性等優良性能,可以生長為大尺寸高純度晶體,且儲量豐富、價格低廉,故而成為全球應用最廣泛、最重要的半導體基礎材料,那么硅片怎么分辨等級呢?一起到文中來看看吧!

一、硅片是半導體材料嗎

是。

硅(gui)(gui)片是半導體材(cai)料(liao)的(de)(de)基石(shi)(shi),它是先(xian)通過拉單晶(jing)制(zhi)作成(cheng)硅(gui)(gui)棒,然后切割制(zhi)作成(cheng)的(de)(de)。由于(yu)硅(gui)(gui)原(yuan)子的(de)(de)價電子數(shu)為4,序數(shu)適(shi)中(zhong),所以(yi)硅(gui)(gui)元素具有特(te)殊的(de)(de)物理化學性質,可用(yong)在化工(gong)、光(guang)(guang)伏(fu)、芯片等領域。特(te)別(bie)是在芯片領域,正式硅(gui)(gui)元素的(de)(de)半導體特(te)性,使其(qi)成(cheng)為了芯片的(de)(de)基石(shi)(shi)。在光(guang)(guang)伏(fu)領域,可用(yong)于(yu)太陽能發電。而(er)且地球的(de)(de)地殼中(zhong)硅(gui)(gui)元素占(zhan)比達到25.8%,開采較(jiao)為方便,可回(hui)收性強,所以(yi)價格低廉,進一(yi)步(bu)增強了硅(gui)(gui)的(de)(de)應用(yong)范圍。

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二、硅片怎么分辨等級

每(mei)家硅片企業(ye)的(de)標(biao)準都不一樣,僅(jin)供參(can)考,以下標(biao)準針(zhen)對的(de)硅片厚度為220μm。

1、優等品

(1)硅片(pian)表面(mian)光滑潔(jie)凈(jing)。

(2)TV:220±20μm。

(3)幾(ji)何(he)尺寸:

邊長125±0.5mm。對角150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm。

邊長103±0.5mm、對角(jiao)135±0.5mm。

邊長(chang)150±0.5mm、156±0.5mm、對角203±0.5mm、200±0.5mm。

同心度(du):任意兩個弧的弦長之差≤1mm。

垂(chui)直(zhi)度:任意(yi)兩邊的夾角:90°±0.3。

2、合格品

一級品:

(1)表(biao)面有少(shao)許污(wu)漬(zi)、輕(qing)微線(xian)痕。

(2)220±20μm≤TV≤220±30μm。

(3)幾何尺寸:

邊長125±0.5mm。對角150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm。

邊長(chang)103±0.5mm、對角135±0.5mm。

邊長150±0.5mm、156±0.5mm、對角203±0.5mm、200±0.5mm。

同心度:任意兩個弧的弦長之(zhi)差≤1.2mm。

垂直度(du):任意(yi)兩邊的(de)夾(jia)角:90°±0.5,cheapradiishoes。

二級品:

(1)表面有少許(xu)污漬、線痕、凹(ao)痕,輕微崩邊。

(2)220±30μm≤TV≤220±40μm。

(3)凹(ao)痕:硅片表(biao)面凹(ao)痕之(zhi)和≤30μm。

(4)崩邊(bian)范(fan)圍:崩邊(bian)口不是三(san)角形狀,崩邊(bian)口長(chang)度≤1mm,深度≤0.5mm

(5)幾(ji)何尺(chi)寸(cun):

邊長125±0.52mm、對角150±0.52mm、148±0.52mm、165±0.52mm。

邊(bian)長(chang)103±0.52mm、對角135±0.52mm。

邊長150±0.52mm、156±0.52mm、對角203±0.52mm、200±0.52mm。

同心度:任意兩(liang)個弧的弦(xian)長之差≤1.5mm。

垂直(zhi)度:任意兩邊的夾角(jiao):90°±0.8。

三級品:

(1)表面有油污(wu)但硅(gui)片顏色(se)不發黑,有線(xian)痕和(he)硅(gui)落(luo)現象。

(2)220±40μm≤TV≤220±60μm。

(3)硅(gui)落:整張硅(gui)片邊緣(yuan)硅(gui)晶脫落或部分硅(gui)晶脫落。

3、不合格品

(1)嚴重線痕、厚薄片:TV>220±60μm。

(2)崩邊片:有缺損但可以改Φ103的(de)硅片。

(3)氣孔(kong)(kong)片(pian):硅片(pian)中間有穿孔(kong)(kong)。

(4)外形片:切(qie)方(fang)滾圓未能磨出的硅(gui)片。

(5)倒角片(同心度(du)):任意兩(liang)個弧的(de)弦長(chang)之差>1.5mm。

(6)菱形片(垂直(zhi)度):任意兩邊的(de)夾角>90°±0.8。

(7)凹(ao)(ao)痕(hen)片(pian):硅片(pian)兩面凹(ao)(ao)痕(hen)之和>30μm。

(8)臟片:硅片表(biao)面有嚴(yan)重污漬且(qie)發黃發黑。

(9)尺寸偏(pian)差片(pian):幾(ji)何尺寸超過二級品的范圍(wei)。

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