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硅片是半導體材料嗎 硅片怎么分辨等級

本文章由注冊用戶 淺嘗不止— 上傳提供 2023-07-21 評論 0
摘要:目前全球半導體市場中,90%以上的芯片和傳感器都是基于硅材料制造而成。半導體硅片處于集成電路產業鏈上游,發揮著重要的行業基礎支撐作用。硅材料因其具有單方向導電特性、熱敏特性、光電特性、摻雜特性等優良性能,可以生長為大尺寸高純度晶體,且儲量豐富、價格低廉,故而成為全球應用最廣泛、最重要的半導體基礎材料,那么硅片怎么分辨等級呢?一起到文中來看看吧!

一、硅片是半導體材料嗎

是。

硅片是半導(dao)體材(cai)料(liao)的(de)(de)基石(shi),它是先通過(guo)拉單(dan)晶制(zhi)作成(cheng)硅棒,然后切(qie)割制(zhi)作成(cheng)的(de)(de)。由(you)于硅原(yuan)子的(de)(de)價電子數為(wei)4,序數適(shi)中,所以硅元(yuan)素具有特殊的(de)(de)物理化學性(xing)質,可用在(zai)化工、光伏、芯片等領(ling)域。特別是在(zai)芯片領(ling)域,正式硅元(yuan)素的(de)(de)半導(dao)體特性(xing),使其成(cheng)為(wei)了(le)芯片的(de)(de)基石(shi)。在(zai)光伏領(ling)域,可用于太陽(yang)能發電。而且地(di)球的(de)(de)地(di)殼中硅元(yuan)素占比達到25.8%,開采較為(wei)方便(bian),可回收性(xing)強(qiang)(qiang),所以價格低廉,進一步增強(qiang)(qiang)了(le)硅的(de)(de)應(ying)用范(fan)圍(wei)。

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二、硅片怎么分辨等級

每家硅片企(qi)業的標(biao)準(zhun)都不一樣(yang),僅供(gong)參考(kao),以下標(biao)準(zhun)針(zhen)對(dui)的硅片厚度為220μm。

1、優等品

(1)硅片(pian)表面光滑潔凈(jing)。

(2)TV:220±20μm。

(3)幾何尺(chi)寸:

邊長125±0.5mm。對(dui)角150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm。

邊長(chang)103±0.5mm、對角135±0.5mm。

邊(bian)長150±0.5mm、156±0.5mm、對角203±0.5mm、200±0.5mm。

同心度:任意兩(liang)個弧的(de)弦長之差≤1mm。

垂(chui)直度:任意兩(liang)邊的夾(jia)角(jiao):90°±0.3。

2、合格品

一級品:

(1)表面有少許污漬、輕微(wei)線痕(hen)。

(2)220±20μm≤TV≤220±30μm。

(3)幾(ji)何尺寸:

邊長125±0.5mm。對角150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm。

邊長103±0.5mm、對角135±0.5mm。

邊(bian)長150±0.5mm、156±0.5mm、對角203±0.5mm、200±0.5mm。

同心度:任意兩個弧的弦長之(zhi)差≤1.2mm。

垂直度:任意兩(liang)邊(bian)的夾角(jiao):90°±0.5,cheapradiishoes。

二級品:

(1)表面有(you)少許污漬、線(xian)痕、凹痕,輕微崩邊。

(2)220±30μm≤TV≤220±40μm。

(3)凹痕(hen):硅片表面凹痕(hen)之和≤30μm。

(4)崩(beng)(beng)邊范圍(wei):崩(beng)(beng)邊口不(bu)是三角(jiao)形(xing)狀,崩(beng)(beng)邊口長度≤1mm,深度≤0.5mm

(5)幾何(he)尺寸:

邊長125±0.52mm、對角150±0.52mm、148±0.52mm、165±0.52mm。

邊長103±0.52mm、對角(jiao)135±0.52mm。

邊長(chang)150±0.52mm、156±0.52mm、對角(jiao)203±0.52mm、200±0.52mm。

同(tong)心(xin)度(du):任意兩個弧(hu)的弦長之(zhi)差(cha)≤1.5mm。

垂直度:任意兩邊的夾(jia)角:90°±0.8。

三級品:

(1)表面有油污但硅片顏色不發黑,有線痕和(he)硅落現象。

(2)220±40μm≤TV≤220±60μm。

(3)硅(gui)落(luo):整張硅(gui)片邊緣(yuan)硅(gui)晶脫(tuo)落(luo)或(huo)部分硅(gui)晶脫(tuo)落(luo)。

3、不合格品

(1)嚴(yan)重線痕、厚薄(bo)片:TV>220±60μm。

(2)崩邊片:有缺損但可以改Φ103的硅(gui)片。

(3)氣孔片:硅片中(zhong)間有穿孔。

(4)外形片:切方(fang)滾圓未能磨出的硅(gui)片。

(5)倒(dao)角片(同心度):任意兩個弧的弦(xian)長之差>1.5mm。

(6)菱形片(垂直(zhi)度(du)):任意兩邊(bian)的夾角>90°±0.8。

(7)凹痕片:硅片兩面凹痕之和>30μm。

(8)臟片(pian):硅片(pian)表面有(you)嚴重污漬(zi)且發(fa)黃發(fa)黑(hei)。

(9)尺(chi)寸(cun)偏差片:幾何尺(chi)寸(cun)超(chao)過二(er)級(ji)品的(de)范圍。

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