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硅片是半導體材料嗎 硅片怎么分辨等級

本文章由注冊用戶 淺嘗不止— 上傳提供 2023-07-21 評論 0
摘要:目前全球半導體市場中,90%以上的芯片和傳感器都是基于硅材料制造而成。半導體硅片處于集成電路產業鏈上游,發揮著重要的行業基礎支撐作用。硅材料因其具有單方向導電特性、熱敏特性、光電特性、摻雜特性等優良性能,可以生長為大尺寸高純度晶體,且儲量豐富、價格低廉,故而成為全球應用最廣泛、最重要的半導體基礎材料,那么硅片怎么分辨等級呢?一起到文中來看看吧!

一、硅片是半導體材料嗎

是。

硅(gui)片(pian)是半導(dao)體(ti)材料(liao)的(de)(de)(de)基石,它是先通過拉單(dan)晶制作成硅(gui)棒,然后切割制作成的(de)(de)(de)。由于硅(gui)原子的(de)(de)(de)價(jia)(jia)電(dian)子數為(wei)4,序數適中(zhong),所(suo)以(yi)硅(gui)元素(su)具有特殊的(de)(de)(de)物理化學性質,可(ke)用(yong)在(zai)化工(gong)、光伏(fu)、芯(xin)(xin)片(pian)等領(ling)(ling)域(yu)(yu)。特別(bie)是在(zai)芯(xin)(xin)片(pian)領(ling)(ling)域(yu)(yu),正(zheng)式硅(gui)元素(su)的(de)(de)(de)半導(dao)體(ti)特性,使(shi)其成為(wei)了芯(xin)(xin)片(pian)的(de)(de)(de)基石。在(zai)光伏(fu)領(ling)(ling)域(yu)(yu),可(ke)用(yong)于太陽能發(fa)電(dian)。而且地(di)球(qiu)的(de)(de)(de)地(di)殼中(zhong)硅(gui)元素(su)占(zhan)比達到25.8%,開采(cai)較為(wei)方便,可(ke)回收性強(qiang),所(suo)以(yi)價(jia)(jia)格低廉(lian),進一步(bu)增(zeng)強(qiang)了硅(gui)的(de)(de)(de)應用(yong)范圍。

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二、硅片怎么分辨等級

每家(jia)硅片(pian)企業(ye)的標(biao)準都不(bu)一樣,僅供參考,以下標(biao)準針對(dui)的硅片(pian)厚度(du)為220μm。

1、優等品

(1)硅片表面光滑潔凈(jing)。

(2)TV:220±20μm。

(3)幾何尺(chi)寸:

邊長125±0.5mm。對角150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm。

邊長103±0.5mm、對角135±0.5mm。

邊長150±0.5mm、156±0.5mm、對角203±0.5mm、200±0.5mm。

同心度(du):任意(yi)兩(liang)個弧的弦(xian)長之差≤1mm。

垂(chui)直度:任意兩(liang)邊(bian)的夾角:90°±0.3。

2、合格品

一級品:

(1)表面有少許污漬、輕微線痕(hen)。

(2)220±20μm≤TV≤220±30μm。

(3)幾何(he)尺寸:

邊長125±0.5mm。對角150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm。

邊(bian)長(chang)103±0.5mm、對角135±0.5mm。

邊長150±0.5mm、156±0.5mm、對角203±0.5mm、200±0.5mm。

同心度:任意(yi)兩個(ge)弧(hu)的弦長之差≤1.2mm。

垂直度:任意(yi)兩邊的夾(jia)角:90°±0.5,cheapradiishoes。

二級品:

(1)表面有少許(xu)污(wu)漬、線痕、凹痕,輕微(wei)崩(beng)邊(bian)。

(2)220±30μm≤TV≤220±40μm。

(3)凹痕(hen):硅片表(biao)面凹痕(hen)之和(he)≤30μm。

(4)崩(beng)邊(bian)范圍(wei):崩(beng)邊(bian)口不是三角形狀,崩(beng)邊(bian)口長度(du)≤1mm,深度(du)≤0.5mm

(5)幾何尺寸:

邊長(chang)125±0.52mm、對(dui)角(jiao)150±0.52mm、148±0.52mm、165±0.52mm。

邊(bian)長103±0.52mm、對角135±0.52mm。

邊長150±0.52mm、156±0.52mm、對角203±0.52mm、200±0.52mm。

同(tong)心度(du):任(ren)意兩(liang)個弧(hu)的弦(xian)長(chang)之差≤1.5mm。

垂直度:任(ren)意兩邊的夾角:90°±0.8。

三級品:

(1)表面有(you)油污但硅(gui)片顏色不(bu)發黑(hei),有(you)線痕和硅(gui)落(luo)現象。

(2)220±40μm≤TV≤220±60μm。

(3)硅(gui)(gui)落(luo):整張硅(gui)(gui)片邊緣硅(gui)(gui)晶脫落(luo)或(huo)部分硅(gui)(gui)晶脫落(luo)。

3、不合格品

(1)嚴重線(xian)痕、厚薄片:TV>220±60μm。

(2)崩邊片(pian):有缺損但(dan)可以改Φ103的硅片(pian)。

(3)氣(qi)孔片:硅片中(zhong)間有(you)穿孔。

(4)外形片:切方滾圓未能磨出的(de)硅(gui)片。

(5)倒角片(pian)(同心度):任意兩個弧的弦長(chang)之差(cha)>1.5mm。

(6)菱(ling)形片(垂直度):任意兩邊的夾角(jiao)>90°±0.8。

(7)凹(ao)痕(hen)(hen)片:硅片兩(liang)面(mian)凹(ao)痕(hen)(hen)之和>30μm。

(8)臟片(pian):硅(gui)片(pian)表(biao)面有嚴重污漬且(qie)發(fa)黃發(fa)黑。

(9)尺寸偏(pian)差片:幾何(he)尺寸超過(guo)二級品的(de)范(fan)圍(wei)。

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