一、KrF光刻膠是什么

光刻膠根據不同(tong)的曝(pu)光(guang)(guang)(guang)(guang)光(guang)(guang)(guang)(guang)源(yuan)分為不同(tong)的類型，曝(pu)光(guang)(guang)(guang)(guang)光(guang)(guang)(guang)(guang)源(yuan)從寬譜紫(zi)外線(xian)(xian)發展到I線(xian)(xian)（365nm）、KrF線(xian)(xian)（248nm）、ArF線(xian)(xian)（193nm）以(yi)及EUV（13.5nm）光(guang)(guang)(guang)(guang)源(yuan)，而(er)不同(tong)的光(guang)(guang)(guang)(guang)源(yuan)要求使(shi)用不同(tong)的光(guang)(guang)(guang)(guang)刻(ke)(ke)膠。KrF光(guang)(guang)(guang)(guang)刻(ke)(ke)膠就是運(yun)用KrF（248nm）曝(pu)光(guang)(guang)(guang)(guang)光(guang)(guang)(guang)(guang)源(yuan)時所需(xu)要的光(guang)(guang)(guang)(guang)刻(ke)(ke)膠。KrF光(guang)(guang)(guang)(guang)刻(ke)(ke)膠主要應用于(yu)0.13m以(yi)上線(xian)(xian)寬，包含離子注(zhu)入層，抗刻(ke)(ke)蝕層等多種(zhong)工藝中。

二、arf光刻膠是什么

ArF光(guang)(guang)刻(ke)(ke)膠(jiao)(jiao)，是半(ban)導(dao)體(ti)光(guang)(guang)刻(ke)(ke)膠(jiao)(jiao)的一(yi)(yi)種，屬于高端光(guang)(guang)刻(ke)(ke)膠(jiao)(jiao)產(chan)品，用來制(zhi)造12英寸大硅(gui)(gui)片（硅(gui)(gui)晶圓）。在光(guang)(guang)刻(ke)(ke)膠(jiao)(jiao)產(chan)品中，半(ban)導(dao)體(ti)光(guang)(guang)刻(ke)(ke)膠(jiao)(jiao)技術壁壘(lei)最(zui)高；在半(ban)導(dao)體(ti)光(guang)(guang)刻(ke)(ke)膠(jiao)(jiao)產(chan)品中，ArF光(guang)(guang)刻(ke)(ke)膠(jiao)(jiao)是技術含量(liang)最(zui)高的產(chan)品之一(yi)(yi)。ArF光(guang)(guang)刻(ke)(ke)膠(jiao)(jiao)是第四代光(guang)(guang)刻(ke)(ke)膠(jiao)(jiao)，行業進(jin)入技術壁壘(lei)高，全球量(liang)產(chan)企業數量(liang)少(shao)。

三、krf光刻膠和arf光刻膠區別

krF光刻膠與ArF光刻膠都主要用于半導體領域，二者最大區別是光刻膠的(de)光源波長不(bu)(bu)同，其中krf波長為248nm，arf波長為193nm，arf光刻(ke)(ke)膠(jiao)的(de)分辨(bian)率(lv)更好，技(ji)術含量更高。arf和krf都屬于(yu)深(shen)紫外光范疇(chou)，也(ye)都是duv光刻(ke)(ke)機應用光源，但是光源技(ji)術上相(xiang)差一代。另外，由于(yu)光源波長不(bu)(bu)同，krf光刻(ke)(ke)膠(jiao)和arf光刻(ke)(ke)膠(jiao)也(ye)不(bu)(bu)能通(tong)用。