一、KrF光刻膠是什么

光刻膠根據不(bu)(bu)同(tong)的(de)(de)(de)曝(pu)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)源分為(wei)不(bu)(bu)同(tong)的(de)(de)(de)類型，曝(pu)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)源從寬譜(pu)紫外(wai)線(xian)(xian)發(fa)展(zhan)到I線(xian)(xian)（365nm）、KrF線(xian)(xian)（248nm）、ArF線(xian)(xian)（193nm）以及EUV（13.5nm）光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)源，而不(bu)(bu)同(tong)的(de)(de)(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)源要(yao)(yao)求使(shi)用不(bu)(bu)同(tong)的(de)(de)(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)刻膠。KrF光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)刻膠就是運用KrF（248nm）曝(pu)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)源時所(suo)需要(yao)(yao)的(de)(de)(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)刻膠。KrF光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)刻膠主要(yao)(yao)應用于0.13m以上線(xian)(xian)寬，包(bao)含離子注入層(ceng)，抗刻蝕層(ceng)等多種(zhong)工藝中。

二、arf光刻膠是什么

ArF光(guang)刻(ke)膠(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)，是(shi)半(ban)導體(ti)(ti)光(guang)刻(ke)膠(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)的(de)一種(zhong)，屬(shu)于(yu)高(gao)(gao)端光(guang)刻(ke)膠(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)產(chan)品，用來制造12英寸(cun)大硅(gui)片(pian)（硅(gui)晶圓）。在光(guang)刻(ke)膠(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)產(chan)品中(zhong)，半(ban)導體(ti)(ti)光(guang)刻(ke)膠(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)技術壁壘最高(gao)(gao)；在半(ban)導體(ti)(ti)光(guang)刻(ke)膠(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)產(chan)品中(zhong)，ArF光(guang)刻(ke)膠(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)是(shi)技術含量最高(gao)(gao)的(de)產(chan)品之一。ArF光(guang)刻(ke)膠(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)是(shi)第四代光(guang)刻(ke)膠(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)，行業進入技術壁壘高(gao)(gao)，全球量產(chan)企業數量少(shao)。

三、krf光刻膠和arf光刻膠區別

krF光刻膠與ArF光刻膠都主要用于半導體領域，二者最大區別是光刻膠的光(guang)(guang)(guang)(guang)源(yuan)波(bo)(bo)長不同，其中krf波(bo)(bo)長為248nm，arf波(bo)(bo)長為193nm，arf光(guang)(guang)(guang)(guang)刻(ke)膠(jiao)的分辨率更(geng)好，技術含量(liang)更(geng)高。arf和(he)krf都屬于深(shen)紫外光(guang)(guang)(guang)(guang)范疇，也都是duv光(guang)(guang)(guang)(guang)刻(ke)機應用光(guang)(guang)(guang)(guang)源(yuan)，但是光(guang)(guang)(guang)(guang)源(yuan)技術上相差一代。另外，由(you)于光(guang)(guang)(guang)(guang)源(yuan)波(bo)(bo)長不同，krf光(guang)(guang)(guang)(guang)刻(ke)膠(jiao)和(he)arf光(guang)(guang)(guang)(guang)刻(ke)膠(jiao)也不能通(tong)用。