一、光刻膠的組成成分有哪些

光刻膠主要由感光(guang)劑(ji)(ji)（光(guang)引發(fa)劑(ji)(ji)）、聚合劑(ji)(ji)（感光(guang)樹(shu)脂）、溶劑(ji)(ji)與助劑(ji)(ji)構成。

1、光引發劑是光刻(ke)膠的最關鍵成分，對光刻(ke)膠的感光度、分辨率(lv)起(qi)著決定性作用。

2、感(gan)光樹脂用于將光刻膠中不同材料聚合在一起，是構成光刻膠的骨架，決(jue)定(ding)光刻膠包括硬度、柔韌性(xing)、附著力等基本(ben)屬性(xing)。

3、溶劑(ji)是光刻(ke)膠中最大成分，目的(de)是使光刻(ke)膠處于液態，但溶劑(ji)本身對(dui)光刻(ke)膠的(de)化學(xue)性質(zhi)幾乎沒影響(xiang)。

4、助劑通常是專有化合物，由各家廠商獨自研發，主(zhu)要用來改變(bian)光(guang)刻膠特定(ding)化學性質。

二、光刻膠的原理

1、光敏性原理

光(guang)(guang)(guang)刻(ke)(ke)(ke)膠(jiao)(jiao)(jiao)的(de)(de)基本原理是光(guang)(guang)(guang)敏(min)材料暴露在紫(zi)(zi)外線(xian)下，光(guang)(guang)(guang)線(xian)將光(guang)(guang)(guang)敏(min)材料中的(de)(de)分(fen)子激活，使其發生化(hua)學反應，使光(guang)(guang)(guang)敏(min)膠(jiao)(jiao)(jiao)發生預(yu)設的(de)(de)變化(hua)。根據光(guang)(guang)(guang)線(xian)能(neng)量的(de)(de)不同，光(guang)(guang)(guang)刻(ke)(ke)(ke)膠(jiao)(jiao)(jiao)可分(fen)為UV光(guang)(guang)(guang)刻(ke)(ke)(ke)膠(jiao)(jiao)(jiao)和(he)深紫(zi)(zi)外光(guang)(guang)(guang)刻(ke)(ke)(ke)膠(jiao)(jiao)(jiao)。UV光(guang)(guang)(guang)刻(ke)(ke)(ke)膠(jiao)(jiao)(jiao)用于制(zhi)造精度(du)要求低的(de)(de)電子元件，而深紫(zi)(zi)外光(guang)(guang)(guang)刻(ke)(ke)(ke)膠(jiao)(jiao)(jiao)則用于制(zhi)造更微小的(de)(de)元器件。

2、光學成像原理

光刻膠是通過光學成像原理來實現預期的紋理結構。當光照射在光刻膠表面時，會(hui)通過(guo)掩膜上(shang)的(de)(de)白色(se)區(qu)域(yu)透過(guo)黑色(se)區(qu)域(yu)，達到將圖案(an)映射到光(guang)刻膠上(shang)的(de)(de)目的(de)(de)。通過(guo)開發過(guo)程，只剩下光(guang)刻膠上(shang)所(suo)需(xu)的(de)(de)微型(xing)器件的(de)(de)部分(fen)區(qu)域(yu)，即可形成要制(zhi)造(zao)的(de)(de)微型(xing)器件。

3、選擇適合的溶劑

光(guang)刻膠(jiao)的(de)(de)成分包括光(guang)敏材(cai)料(liao)、單體(ti)、溶(rong)(rong)劑(ji)(ji)和(he)劑(ji)(ji)量。反應(ying)關鍵因(yin)素(su)之(zhi)一是(shi)選(xuan)擇(ze)適合系統的(de)(de)溶(rong)(rong)劑(ji)(ji)，溶(rong)(rong)劑(ji)(ji)是(shi)優化反應(ying)速率和(he)接(jie)觸角的(de)(de)關鍵因(yin)素(su)。正確的(de)(de)溶(rong)(rong)劑(ji)(ji)選(xuan)擇(ze)可確保強(qiang)大的(de)(de)粘附(fu)力和(he)最小的(de)(de)溶(rong)(rong)液浸透(tou)時間。