一、光刻膠的組成成分有哪些

光刻膠主要由感光劑（光引(yin)發劑）、聚(ju)合劑（感光樹(shu)脂）、溶(rong)劑與助劑構成。

1、光(guang)(guang)引(yin)發(fa)劑是光(guang)(guang)刻(ke)膠(jiao)的(de)最(zui)關(guan)鍵成分(fen)(fen)，對光(guang)(guang)刻(ke)膠(jiao)的(de)感(gan)光(guang)(guang)度、分(fen)(fen)辨率起(qi)著決定性作用。

2、感光(guang)樹脂用于將光(guang)刻(ke)(ke)膠中不同(tong)材(cai)料聚合在一起，是構成光(guang)刻(ke)(ke)膠的骨(gu)架，決定光(guang)刻(ke)(ke)膠包括硬度、柔(rou)韌性(xing)、附著力等基本(ben)屬性(xing)。

3、溶劑是(shi)光(guang)刻膠中最大成分，目(mu)的是(shi)使(shi)光(guang)刻膠處于液態，但(dan)溶劑本身對光(guang)刻膠的化(hua)學性(xing)質幾(ji)乎沒影響。

4、助(zhu)劑通常是專有化合物，由各家廠商獨自研發，主要用來改變光(guang)刻膠特定(ding)化學性質(zhi)。

二、光刻膠的原理

1、光敏性原理

光(guang)刻膠(jiao)(jiao)的(de)(de)基本原理是光(guang)敏材料暴露(lu)在紫外線(xian)下，光(guang)線(xian)將(jiang)光(guang)敏材料中的(de)(de)分(fen)子(zi)激(ji)活，使其(qi)發生化(hua)(hua)學反應，使光(guang)敏膠(jiao)(jiao)發生預(yu)設的(de)(de)變化(hua)(hua)。根(gen)據光(guang)線(xian)能量(liang)的(de)(de)不同，光(guang)刻膠(jiao)(jiao)可分(fen)為UV光(guang)刻膠(jiao)(jiao)和(he)深紫外光(guang)刻膠(jiao)(jiao)。UV光(guang)刻膠(jiao)(jiao)用于制(zhi)造精度要(yao)求低的(de)(de)電子(zi)元(yuan)件，而(er)深紫外光(guang)刻膠(jiao)(jiao)則用于制(zhi)造更微(wei)小的(de)(de)元(yuan)器件。

2、光學成像原理

光刻膠是通過光學成像原理來實現預期的紋理結構。當光照射在光刻膠表面時，會通過(guo)掩膜上的白色區域透過(guo)黑色區域，達到將圖案映射到光(guang)刻(ke)膠上的目的。通過(guo)開發過(guo)程，只(zhi)剩下光(guang)刻(ke)膠上所需(xu)的微(wei)型器件(jian)的部分區域，即可形成要(yao)制造的微(wei)型器件(jian)。

3、選擇適合的溶劑

光(guang)刻膠的(de)成分包括光(guang)敏材料、單體、溶劑和(he)劑量。反應關(guan)鍵因素之(zhi)一是選擇(ze)(ze)適合(he)系統的(de)溶劑，溶劑是優(you)化反應速(su)率和(he)接(jie)觸(chu)角的(de)關(guan)鍵因素。正(zheng)確(que)(que)的(de)溶劑選擇(ze)(ze)可(ke)確(que)(que)保強大的(de)粘(zhan)附力和(he)最小的(de)溶液浸(jin)透時間(jian)。