一、光刻膠怎么保存

1、溫度：光刻膠應存放在低溫環境下，一般建議存放在-20℃以下的冰箱中，避免光刻膠受熱變質。同時，光(guang)刻膠在存放和使用過程中應避(bi)免受到(dao)溫度變化的影響，以免影響其性(xing)能(neng)和質量。

2、光照：光刻膠應避免直接暴露在強光下，以免光刻膠受到光照而失去靈敏度。因此，在存放和使用光刻膠時(shi)，應盡量避免(mian)光照，可以使用黑色(se)遮光袋(dai)或黑色(se)遮光箱進行保護。

3、濕度：光刻膠應存放在干燥的環境中，避免受潮。因為潮濕的環境會影響光刻膠的性能和質量，甚至會導(dao)致光(guang)刻膠(jiao)失(shi)效。因此，在存放(fang)和使用光(guang)刻膠(jiao)時，應盡量避(bi)免受(shou)潮(chao)，可以使用密(mi)封(feng)袋或密(mi)封(feng)容器(qi)進行(xing)保護。

4、震動：光刻膠應避免受到劇烈的震動和振動，以免影響其性能和質量。因此，在存放和使(shi)用光(guang)刻膠時，應(ying)盡量(liang)避免受到震(zhen)動和振動，可以使(shi)用泡沫箱或其他緩沖材料進行保(bao)護。

二、光刻膠使用和儲存注意事項

1、保存

光刻(ke)膠中的(de)光敏組(zu)分是(shi)非常脆弱的(de)，除了有溫(wen)度的(de)要(yao)求外，對于儲存時間和外包裝材(cai)料有很(hen)嚴(yan)格的(de)要(yao)求。一般使用棕色的(de)玻璃瓶包裝，再套上黑色塑料袋。

光刻膠的保存期限一般為6個月至1年左右，具體時間取決于光刻膠的種類和保存條件。因此(ci)，在存(cun)放和使(shi)用光(guang)刻膠(jiao)時，應注意光(guang)刻膠(jiao)的保存(cun)期限，避免使(shi)用過期光(guang)刻膠(jiao)。

2、光刻膠的涂布溫度

光刻膠涂布溫度一般要和室溫相同，原因是與室溫相同可以大減少光刻膠的溫度波動，從而減少工藝波動。而凈化間室溫一般是23度，所以光刻(ke)膠(jiao)涂布(bu)溫度一(yi)(yi)(yi)般為23度(du)(du)。一(yi)(yi)(yi)般在旋涂的情況下，高于會中(zhong)間厚，低于會中(zhong)間薄。同時涂布(bu)前(qian)，wafer也需要(yao)冷板，保證每次涂布(bu)wafer的溫度(du)(du)一(yi)(yi)(yi)致。

3、涂布時濕度的控制

現(xian)在(zai)光刻膠涂覆工段(duan)一(yi)般(ban)都(dou)與自動(dong)純水清洗線連在(zai)一(yi)起，很多時(shi)候都(dou)只考慮(lv)此段(duan)的潔凈度，而疏(shu)忽了該段(duan)的濕度控制，使得光刻膠涂覆的良(liang)品率比較低，在(zai)顯影(ying)時(shi)光刻膠脫落嚴重，起不到保護阻蝕(shi)的效果。

4、涂膠后產品的放置時間的控制

在(zai)生產(chan)設備出現故障等特殊情況下(xia)，涂完光(guang)刻膠(jiao)的(de)(de)產(chan)品(pin)需要保留，保留的(de)(de)時(shi)間一般(ban)不超過8小時(shi)，曝光(guang)前如已被感（即膠(jiao)膜已失效），不能作為正品(pin)，需返工處理。

5、前烘溫度和時間的控制

前烘(hong)的(de)目(mu)的(de)是促使(shi)膠(jiao)膜(mo)內溶劑充分揮發(fa)，使(shi)膠(jiao)膜(mo)干(gan)(gan)燥(zao)以增(zeng)強(qiang)膠(jiao)膜(mo)與(yu)基(ji)板表面(mian)的(de)粘附性和膠(jiao)膜(mo)的(de)耐磨性。曝光(guang)時(shi)，掩模版與(yu)光(guang)刻膠(jiao)即使(shi)接觸也不(bu)會(hui)損傷光(guang)刻膠(jiao)膜(mo)和沾污掩模膜(mo)，同時(shi)只有光(guang)刻膠(jiao)干(gan)(gan)凈(jing)、在曝光(guang)時(shi)，光(guang)刻膠(jiao)才能(neng)(neng)充分地和光(guang)發(fa)生反(fan)應。同時(shi)注意前烘(hong)的(de)溫度(du)不(bu)能(neng)(neng)過(guo)高，過(guo)高會(hui)造(zao)成(cheng)光(guang)刻膠(jiao)膜(mo)的(de)碳化，從(cong)而影響光(guang)刻效果。一(yi)般情況(kuang)下，前烘(hong)的(de)溫度(du)取值比(bi)后烘(hong)堅膜(mo)溫度(du)稍(shao)低一(yi)些，時(shi)間稍(shao)短一(yi)些。

6、顯影條件的控制

顯影時必須控制好顯影液的溫度、濃度及顯影的時間。在一定濃度下的顯影液中，溫度和時間直接影響的速度，若顯影時間不足或溫度低，則感光部位的光刻膠不(bu)能夠(gou)完(wan)全溶解，留有一層光(guang)刻(ke)(ke)膠(jiao)(jiao)，在刻(ke)(ke)蝕(shi)時(shi)，這層膠(jiao)(jiao)會對膜(mo)(mo)面(mian)進行保護作用，使(shi)應該(gai)刻(ke)(ke)蝕(shi)的膜(mo)(mo)留下來(lai)。若顯影(ying)時(shi)間過長或溫度過高，顯影(ying)時(shi)未(wei)被(bei)曝光(guang)部位的光(guang)刻(ke)(ke)膠(jiao)(jiao)也(ye)會被(bei)從邊緣里鉆(zhan)溶。使(shi)圖(tu)案的邊緣變(bian)差，再嚴重會使(shi)光(guang)刻(ke)(ke)膠(jiao)(jiao)大量(liang)脫落，形成(cheng)脫膠(jiao)(jiao)。