一、光刻膠怎么保存

1、溫度：光刻膠應存放在低溫環境下，一般建議存放在-20℃以下的冰箱中，避免光刻膠受(shou)熱變質。同(tong)時，光刻(ke)膠在存(cun)放(fang)和使用過程中應避免受(shou)到溫度變化的(de)影響，以(yi)免影響其(qi)性能和質量。

2、光照：光刻膠應避免直接暴露在強光下，以免光刻膠受到光照而失去靈敏度。因此，在存放(fang)和(he)使用光刻膠時，應盡(jin)量避免光照，可以使用黑色遮光袋或黑色遮光箱進(jin)行保護。

3、濕度：光刻膠應存放在干燥的環境中，避免受潮。因為潮濕的環境會影響光刻膠的性能和質量，甚至會導(dao)致光刻膠失效(xiao)。因此，在存(cun)放和使用光刻膠時(shi)，應(ying)盡(jin)量避免(mian)受(shou)潮，可以使用密封(feng)(feng)袋(dai)或密封(feng)(feng)容(rong)器進行保護。

4、震動：光刻膠應避免受到劇烈的震動和振動，以免影響其性能和質量。因此，在存放和使(shi)用(yong)光刻膠時，應(ying)盡量(liang)避(bi)免受到震動(dong)和振動(dong)，可以使(shi)用(yong)泡沫(mo)箱或其他緩(huan)沖材料進行保護。

二、光刻膠使用和儲存注意事項

1、保存

光(guang)刻膠(jiao)中的光(guang)敏組(zu)分(fen)是(shi)非常脆弱的，除了有溫度的要求外(wai)，對于儲存時間(jian)和外(wai)包裝材料有很(hen)嚴(yan)格的要求。一(yi)般使用棕色(se)(se)的玻璃(li)瓶(ping)包裝，再套上(shang)黑(hei)色(se)(se)塑料袋。

光刻膠的保存期限一般為6個月至1年左右，具體時間取決于光刻膠的種類和保存條件。因此，在存(cun)放和使(shi)用光(guang)刻膠(jiao)(jiao)時(shi)，應(ying)注(zhu)意光(guang)刻膠(jiao)(jiao)的(de)保存(cun)期限，避免使(shi)用過期光(guang)刻膠(jiao)(jiao)。

2、光刻膠的涂布溫度

光刻膠涂布溫度一般要和室溫相同，原因是與室溫相同可以大減少光刻膠的溫度波動，從而減少工藝波動。而凈化間室溫一般是23度，所以光刻(ke)膠(jiao)涂布溫度一般為(wei)23度。一般在旋(xuan)涂的情(qing)況(kuang)下(xia)，高(gao)于(yu)會(hui)中間厚，低于(yu)會(hui)中間薄。同時涂布前(qian)，wafer也需要冷板，保證每次(ci)涂布wafer的溫度一致。

3、涂布時濕度的控制

現在光(guang)(guang)刻膠涂覆(fu)(fu)工段(duan)一(yi)般(ban)都與(yu)自(zi)動(dong)純(chun)水清洗線連在一(yi)起(qi)，很多時候都只(zhi)考慮此段(duan)的(de)(de)潔凈度，而疏忽了該段(duan)的(de)(de)濕度控制，使得光(guang)(guang)刻膠涂覆(fu)(fu)的(de)(de)良品率比較低(di)，在顯影時光(guang)(guang)刻膠脫落嚴重(zhong)，起(qi)不到保護(hu)阻蝕的(de)(de)效果。

4、涂膠后產品的放置時間的控制

在生產(chan)設備(bei)出現故障(zhang)等特殊情況下，涂完光刻膠的(de)產(chan)品(pin)需要(yao)保(bao)留，保(bao)留的(de)時間一(yi)般(ban)不超過8小時，曝光前(qian)如已被感（即膠膜已失效），不能作為正品(pin)，需返(fan)工處理。

5、前烘溫度和時間的控制

前(qian)烘的(de)目的(de)是促使膠(jiao)膜(mo)(mo)內溶劑充(chong)分揮(hui)發，使膠(jiao)膜(mo)(mo)干(gan)燥(zao)以增強膠(jiao)膜(mo)(mo)與(yu)基板表面的(de)粘附性(xing)(xing)和(he)膠(jiao)膜(mo)(mo)的(de)耐磨(mo)性(xing)(xing)。曝(pu)光(guang)時，掩(yan)模(mo)版與(yu)光(guang)刻(ke)膠(jiao)即使接觸也不會(hui)損傷光(guang)刻(ke)膠(jiao)膜(mo)(mo)和(he)沾污掩(yan)模(mo)膜(mo)(mo)，同時只有光(guang)刻(ke)膠(jiao)干(gan)凈、在曝(pu)光(guang)時，光(guang)刻(ke)膠(jiao)才能充(chong)分地和(he)光(guang)發生反應。同時注(zhu)意前(qian)烘的(de)溫度(du)不能過(guo)高，過(guo)高會(hui)造成光(guang)刻(ke)膠(jiao)膜(mo)(mo)的(de)碳化，從而影響光(guang)刻(ke)效果(guo)。一(yi)般情(qing)況下，前(qian)烘的(de)溫度(du)取值(zhi)比(bi)后烘堅膜(mo)(mo)溫度(du)稍(shao)低一(yi)些，時間稍(shao)短一(yi)些。

6、顯影條件的控制

顯影時必須控制好顯影液的溫度、濃度及顯影的時間。在一定濃度下的顯影液中，溫度和時間直接影響的速度，若顯影時間不足或溫度低，則感光部位的光刻膠不(bu)能夠完全溶解，留有一層(ceng)光刻(ke)(ke)膠(jiao)，在刻(ke)(ke)蝕(shi)時，這(zhe)層(ceng)膠(jiao)會對膜面進行保(bao)護作用(yong)，使(shi)應該刻(ke)(ke)蝕(shi)的(de)(de)膜留下來。若(ruo)顯(xian)影(ying)時間過長或溫度過高(gao)，顯(xian)影(ying)時未被(bei)(bei)曝光部位的(de)(de)光刻(ke)(ke)膠(jiao)也(ye)會被(bei)(bei)從(cong)邊緣里(li)鉆溶。使(shi)圖案(an)的(de)(de)邊緣變(bian)差，再嚴(yan)重(zhong)會使(shi)光刻(ke)(ke)膠(jiao)大量脫落，形(xing)成(cheng)脫膠(jiao)。