一、光刻膠的優缺點
光刻膠作為芯片(pian)制造中(zhong)的一種重要(yao)材料,具有以(yi)下優(you)點:
1、精度高。光刻膠可以在芯片表面形成微米級別的圖案,具有非常高(gao)的精度(du)和穩定性。
2、適用范圍廣。光刻膠可以適用于不同類型的芯片材料,包括硅片、玻璃、陶瓷等。
3、加工速度快。光刻膠可以在短時間內完成芯片表面的加工和處理,提高了(le)生產效(xiao)率(lv)。
但光刻膠(jiao)也存在(zai)一些缺點(dian),主要包括以(yi)下幾點(dian):
1、成(cheng)本較高。光(guang)刻膠的制備和加工過程較為(wei)復雜,成(cheng)本較高。
2、對環境有一定污染。光刻膠的制備和加工過程會產生一定的污染物,對環境有一定影(ying)響。
3、對人體有一定危害。光刻膠中含有一定的有毒物質,對人體有一定(ding)危(wei)害。
二、光刻膠的危害及防護
危害:光刻膠是(shi)一種乙類危險品,無色透明液體(ti)(ti),有微弱(ruo)類似芳(fang)香酯的(de)氣(qi)(qi)味。高(gao)濃度蒸(zheng)汽(qi)刺激眼和呼(hu)吸道(dao),經(jing)常吸入(ru)對腎臟有損傷(shang)。易燃(ran),遇(yu)明火、高(gao)熱(re)能燃(ran)燒。受高(gao)熱(re)分解放出有毒的(de)氣(qi)(qi)體(ti)(ti)。其(qi)蒸(zheng)氣(qi)(qi)與空氣(qi)(qi)可形(xing)成爆(bao)炸性混合物,當達到一定濃度時,遇(yu)火星會發(fa)生爆(bao)炸。
急(ji)救(jiu)措施:應使(shi)吸入(ru)蒸氣的患(huan)者(zhe)脫離污染區。安置(zhi)休息并(bing)保暖(nuan),眼睛受刺激用(yong)水沖洗,對(dui)濺入(ru)眼內(nei)的嚴(yan)重患(huan)送(song)醫(yi)院診治(zhi)。皮膚接(jie)觸(chu)用(yong)溶劑(ji)擦洗,再用(yong)肥皂徹底洗滌。誤服立即漱口,送(song)醫(yi)院救(jiu)治(zhi)。
消(xiao)防(fang)方法:消(xiao)防(fang)人員必(bi)須(xu)佩(pei)戴過濾式防(fang)毒(du)面具(全面罩)或隔離式呼吸器,穿全身防(fang)火(huo)防(fang)毒(du)服(fu),在上風(feng)向滅(mie)火(huo)。盡可能將容器從火(huo)場(chang)移至空曠處(chu)。噴(pen)水(shui)保持火(huo)場(chang)容器冷卻,直至滅(mie)火(huo)結束。處(chu)在火(huo)場(chang)中的容器若已變色或從安全泄壓裝置中產生聲(sheng)音,必(bi)須(xu)馬上撤離。滅(mie)火(huo)劑:霧狀水(shui)、泡(pao)沫、干粉(fen)、二氧化碳、砂土。
泄漏(lou)應急處理:迅速撤(che)離泄漏污(wu)染區(qu)(qu)人(ren)員至安全區(qu)(qu),并(bing)進(jin)行隔(ge)離,嚴格限(xian)制出入。切斷(duan)火(huo)源。建(jian)議應急處理人員戴自(zi)給正壓式呼吸器,穿一(yi)般作(zuo)業工作(zuo)服。若是液體,盡可能切斷泄(xie)漏源。防止流入下水道、排洪(hong)溝等限(xian)制性空間(jian)。小量泄漏:用干燥的砂土或類似物質吸收。大量泄漏:構筑圍堤或(huo)挖坑收容。用(yong)泡沫(mo)覆蓋,降低蒸氣災害(hai)。用(yong)防爆泵轉移(yi)至槽車或(huo)專用(yong)收集器內,回收或(huo)運至廢(fei)物(wu)處理(li)場所處置。若是固體(ti),收集(ji)于干(gan)燥、潔凈、有蓋的容(rong)器(qi)中(zhong)。若大量泄漏,收集(ji)回收(shou)或(huo)運(yun)至(zhi)廢物(wu)處理場所處置(zhi)。
操作注意事項:密閉操作(zuo)。密閉操作(zuo),提供(gong)良好(hao)的自然(ran)通風條(tiao)件。操作(zuo)人員必(bi)須經過專門(men)培訓,嚴格遵守操作(zuo)規程。建(jian)議操作(zuo)人(ren)員佩(pei)戴(dai)自吸過濾式(shi)防塵口罩(zhao),戴(dai)化學安全防護眼鏡。遠(yuan)離火種、熱源(yuan),工作場所嚴禁吸煙。使用防爆型的通風(feng)系統和設備。防止蒸氣泄(xie)漏(lou)到工作場所空氣中。避免與氧化劑接觸。搬運時要輕(qing)(qing)裝輕(qing)(qing)卸,防止包裝及容器損壞。配備相應品種和(he)數(shu)量的消防器材及泄漏應急處理設(she)備(bei)。倒空的容器可能殘留有(you)害(hai)物(wu)。