一、光刻膠的優缺點
光刻膠作為(wei)芯片(pian)制造中的一種(zhong)重要材料,具有以下優點:
1、精度高。光刻膠可以在芯片表面形成微米級別的圖案,具有非常高的精(jing)度和穩定(ding)性(xing)。
2、適用范圍廣。光刻膠可以適用于不同類型的芯片材料,包括硅片、玻(bo)璃、陶瓷等。
3、加工速度快。光刻膠可以在短時間內完成芯片表面的加工和處理,提高了(le)生產效率。
但(dan)光刻膠也存在一些缺點,主要包(bao)括(kuo)以下幾(ji)點:
1、成(cheng)本較高。光刻膠的制備和加工過程較為復雜,成(cheng)本較高。
2、對環境有一定污染。光刻膠的制備和加工過程會產生一定的污(wu)染物,對(dui)環境有一定影響。
3、對人體有一定危害。光刻膠中含有一定的有毒物質,對人體有一定危害(hai)。
二、光刻膠的危害及防護
危害:光刻膠是一種乙類(lei)(lei)危(wei)險(xian)品,無(wu)色透(tou)明(ming)液體,有微(wei)弱(ruo)類(lei)(lei)似芳香酯的(de)氣味(wei)。高(gao)濃度蒸(zheng)(zheng)汽刺激眼(yan)和(he)呼吸道(dao),經常吸入對(dui)腎臟有損傷。易燃(ran),遇明(ming)火(huo)、高(gao)熱(re)能燃(ran)燒。受高(gao)熱(re)分解放出(chu)有毒(du)的(de)氣體。其蒸(zheng)(zheng)氣與空氣可形成爆(bao)炸性混合(he)物,當達到一定濃度時,遇火(huo)星(xing)會發生爆(bao)炸。
急救措施:應使吸入(ru)蒸氣的患者脫離污(wu)染區。安(an)置休息并保暖,眼睛受刺激用(yong)水沖洗,對濺入(ru)眼內(nei)的嚴重患送醫(yi)院(yuan)診治。皮膚接觸用(yong)溶(rong)劑擦洗,再(zai)用(yong)肥皂徹底洗滌。誤服立即(ji)漱口,送醫(yi)院(yuan)救治。
消防(fang)方法:消防(fang)人員必須佩戴過濾式(shi)防(fang)毒面(mian)具(全面(mian)罩)或隔離(li)式(shi)呼吸器,穿(chuan)全身(shen)防(fang)火防(fang)毒服(fu),在上風向滅(mie)火。盡可(ke)能(neng)將容器從火場(chang)移至(zhi)空(kong)曠處。噴水保持火場(chang)容器冷卻,直(zhi)至(zhi)滅(mie)火結束。處在火場(chang)中的(de)容器若已變色或從安全泄壓裝置(zhi)中產生聲音,必須馬上撤(che)離(li)。滅(mie)火劑:霧狀水、泡沫、干粉、二氧化碳、砂土。
泄漏應(ying)急處(chu)理:迅速撤(che)離泄漏污(wu)染區(qu)人員(yuan)至(zhi)安全區(qu),并進(jin)行隔離,嚴格(ge)限制出(chu)入。切斷火源。建議應急處理(li)人員戴自(zi)給正壓(ya)式呼(hu)吸器,穿(chuan)一般作業工(gong)作服。若是液體,盡(jin)可(ke)能切斷泄漏源。防止流入下(xia)水道、排洪溝(gou)等限制(zhi)性空間(jian)。小量泄漏:用干燥的砂土或類似物質吸(xi)收。大量泄漏:構筑圍堤或挖坑收容(rong)。用(yong)泡沫覆(fu)蓋,降低蒸(zheng)氣災害。用(yong)防爆泵轉移至槽車或專用(yong)收集器(qi)內,回收或運至廢物(wu)處理(li)場所處置。若是固體,收(shou)集于干燥、潔(jie)凈、有(you)蓋的容器中(zhong)。若大量泄漏(lou),收(shou)集回收或(huo)運(yun)至廢物處理場所處置。
操作注意事項:密閉(bi)操作(zuo)。密閉(bi)操作(zuo),提供良好的自(zi)然通風條件。操作(zuo)人員必須經過專門(men)培訓,嚴格(ge)遵守操作規程。建(jian)議操(cao)作人(ren)員佩戴(dai)自吸過濾式(shi)防塵(chen)口罩,戴(dai)化學安全(quan)防護(hu)眼鏡。遠離火種、熱源(yuan),工作場(chang)(chang)所嚴禁吸煙。使用防爆型的通風系(xi)統(tong)和設備。防止蒸氣泄漏到(dao)工作場(chang)(chang)所空(kong)氣中。避免與氧化劑接觸(chu)。搬運時(shi)要輕(qing)裝輕(qing)卸,防止包裝及(ji)容器(qi)損壞。配(pei)備相應品種和數量的消防器(qi)材及泄漏應急(ji)處理(li)設備。倒(dao)空的容器可(ke)能殘留(liu)有害物(wu)。