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光刻膠的優缺點 光刻膠的危害及防護

本文章由注冊用戶 天空之城 上傳提供 2024-04-18 評論 0
摘要:光刻膠是一種感光材料,可以通過光化學反應,經曝光、顯影等光刻工序將掩膜版圖形轉移至襯底上,形成與掩膜版完全對應的幾何圖形。光刻膠作為芯片制造中的一種重要材料,具有精度高、適用范圍廣、加工速度快的優點,但也具有成本較高、對環境有一定污染、對人體有一定危害的缺點。下面來了解下光刻膠的危害及防護。

一、光刻膠的優缺點

光刻膠作為(wei)芯(xin)片制造中的一種重要材料,具有(you)以下優點:

1、精度高。光刻膠可以在芯片表面形成微米級別的圖案,具有非(fei)常(chang)高的精度和穩定(ding)性。

2、適用范圍廣。光刻膠可以適用于不同類型的芯片材料,包括硅片、玻璃(li)、陶瓷等。

3、加工速度快。光刻膠可以在短時間內完成芯片表面的加工和處理,提高(gao)了(le)生產效率。

但光(guang)刻膠也存在(zai)一些缺點,主要包(bao)括以下幾點:

1、成本(ben)較(jiao)高(gao)。光刻膠的制(zhi)備(bei)和(he)加工過程較(jiao)為復(fu)雜(za),成本(ben)較(jiao)高(gao)。

2、對環境有一定污染。光刻膠的制備和加工過程會產生一定的污(wu)染物(wu),對環境(jing)有一定影響。

3、對人體有一定危害。光刻膠中含有一定的有毒物質,對人體有一定危害。

二、光刻膠的危害及防護

危害:光刻膠是一種乙類危險品,無色透明液體,有微(wei)弱類似(si)芳(fang)香酯的氣(qi)味。高(gao)(gao)濃度(du)蒸汽刺激眼和呼吸道,經常吸入(ru)對腎臟(zang)有損傷。易燃(ran),遇明火、高(gao)(gao)熱(re)能燃(ran)燒。受高(gao)(gao)熱(re)分解放(fang)出有毒(du)的氣(qi)體。其蒸氣(qi)與空氣(qi)可形成爆(bao)炸性(xing)混合物,當達到一定(ding)濃度(du)時,遇火星會發(fa)生(sheng)爆(bao)炸。

急(ji)救措施:應使(shi)吸入蒸氣(qi)的(de)患(huan)者脫離污染區(qu)。安置休息并保暖,眼睛受刺激(ji)用(yong)水沖洗,對(dui)濺(jian)入眼內(nei)的(de)嚴重患(huan)送醫(yi)院診治。皮膚接觸(chu)用(yong)溶劑擦洗,再用(yong)肥皂徹底洗滌。誤服立(li)即漱口,送醫(yi)院救治。

消(xiao)防方法:消(xiao)防人員必須佩戴過濾式(shi)(shi)防毒面具(全(quan)面罩(zhao))或(huo)隔(ge)離式(shi)(shi)呼(hu)吸(xi)器(qi),穿全(quan)身防火(huo)防毒服(fu),在上風(feng)向滅(mie)火(huo)。盡可能(neng)將容器(qi)從火(huo)場移至空(kong)曠處(chu)。噴水(shui)保(bao)持(chi)火(huo)場容器(qi)冷卻(que),直至滅(mie)火(huo)結束。處(chu)在火(huo)場中的容器(qi)若已變色或(huo)從安全(quan)泄壓(ya)裝置中產(chan)生聲音,必須馬上撤離。滅(mie)火(huo)劑:霧狀水(shui)、泡(pao)沫、干(gan)粉、二氧化碳、砂土。

泄漏應急處(chu)理:迅速撤離泄(xie)漏污染區人員(yuan)至安全區,并進行隔離,嚴格(ge)限制(zhi)出(chu)入(ru)。切(qie)斷火源。建議應急處(chu)理人員(yuan)戴自給正壓(ya)式呼吸器,穿一般(ban)作業工作服。若是(shi)液體,盡可能切(qie)斷(duan)泄漏(lou)源。防(fang)止(zhi)流入(ru)下水(shui)道、排(pai)洪溝(gou)等限(xian)制性空間。小量泄(xie)漏:用干燥的砂(sha)土或類似物質吸收。大量泄(xie)漏:構筑圍(wei)堤或挖坑收容(rong)。用泡沫覆(fu)蓋,降(jiang)低蒸氣災害。用防(fang)爆泵轉移至槽(cao)車或專(zhuan)用收集器內,回收或運至廢物處理場(chang)所處置。若(ruo)是(shi)固體(ti),收集(ji)于干燥、潔凈(jing)、有(you)蓋的容器中(zhong)。若(ruo)大量泄漏,收集(ji)回收(shou)或運至(zhi)廢(fei)物處(chu)理場所處(chu)置。

操作注意事項:密閉操(cao)作。密閉操(cao)作,提供良好的自然通(tong)風條件。操(cao)作人員必須經過專門(men)培訓(xun),嚴格遵守操(cao)作(zuo)規(gui)程。建議操作(zuo)人(ren)員佩(pei)戴自吸過濾(lv)式防塵(chen)口罩,戴化學安(an)全防護眼鏡。遠離火種(zhong)、熱源,工作(zuo)場所(suo)嚴禁吸煙(yan)。使用防爆型的通風系統和設備(bei)。防止蒸(zheng)氣泄漏到工作(zuo)場所(suo)空(kong)氣中。避(bi)免與氧化(hua)劑接觸。搬運時要輕(qing)裝輕(qing)卸,防止包(bao)裝及容(rong)器(qi)損壞。配備(bei)相應品種和數量的(de)消防器(qi)材(cai)及泄漏(lou)應(ying)急(ji)處(chu)理設備。倒(dao)空的容器(qi)可(ke)能(neng)殘(can)留(liu)有害物。

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