一、光刻膠的優缺點
光刻膠作(zuo)為(wei)芯片制(zhi)造中的一種(zhong)重要材料,具有以下優點:
1、精度高。光刻膠可以在芯片表面形成微米級別的圖案,具有非常高的精(jing)度(du)和穩定(ding)性。
2、適用范圍廣。光刻膠可以適用于不同類型的芯片材料,包括硅片、玻璃、陶瓷等。
3、加工速度快。光刻膠可以在短時間內完成芯片表面的加工和處理,提高了生產效率。
但(dan)光刻(ke)膠(jiao)也存在一些缺點,主要包括以下幾點:
1、成本較高。光(guang)刻(ke)膠(jiao)的制備(bei)和加工過(guo)程較為復雜,成本較高。
2、對環境有一定污染。光刻膠的制備和加工過程會產生一定的污(wu)染物(wu),對環境有一定影(ying)響(xiang)。
3、對人體有一定危害。光刻膠中含有一定的有毒物質,對人體有一定危害。
二、光刻膠的危害及防護
危害:光刻膠是一(yi)(yi)種乙類(lei)危險品,無色透明(ming)液體,有微(wei)弱類(lei)似芳香酯的氣味。高(gao)濃(nong)度蒸汽刺激(ji)眼(yan)和(he)呼(hu)吸道,經常吸入對腎臟有損(sun)傷。易燃(ran)(ran),遇明(ming)火(huo)、高(gao)熱能燃(ran)(ran)燒(shao)。受(shou)高(gao)熱分解放出有毒的氣體。其蒸氣與空(kong)氣可形成爆(bao)(bao)炸性混合物(wu),當達到(dao)一(yi)(yi)定濃(nong)度時(shi),遇火(huo)星會發生(sheng)爆(bao)(bao)炸。
急救(jiu)措施:應使吸入蒸氣的(de)患者脫離污(wu)染(ran)區(qu)。安置休息并保(bao)暖,眼睛(jing)受刺激用水沖(chong)洗,對濺入眼內(nei)的(de)嚴重(zhong)患送醫(yi)(yi)院診治(zhi)。皮膚接觸用溶劑(ji)擦(ca)洗,再用肥皂(zao)徹底洗滌。誤服立即漱口,送醫(yi)(yi)院救(jiu)治(zhi)。
消(xiao)(xiao)防(fang)方(fang)法:消(xiao)(xiao)防(fang)人(ren)員必(bi)須佩戴過濾式防(fang)毒(du)面具(全(quan)面罩)或隔離(li)式呼吸器(qi),穿全(quan)身防(fang)火防(fang)毒(du)服,在上風(feng)向滅(mie)火。盡可能將(jiang)容(rong)器(qi)從火場移至(zhi)(zhi)空曠處(chu)。噴水保持火場容(rong)器(qi)冷卻,直至(zhi)(zhi)滅(mie)火結束。處(chu)在火場中的容(rong)器(qi)若已變色或從安全(quan)泄壓(ya)裝置中產生聲音,必(bi)須馬上撤離(li)。滅(mie)火劑:霧狀水、泡沫(mo)、干粉、二氧化碳、砂土(tu)。
泄漏應(ying)急(ji)處理:迅速(su)撤離泄漏污染區(qu)人員(yuan)至安全區(qu),并(bing)進行隔離,嚴(yan)格限制出入。切斷火源。建議應急處(chu)理人員戴自給正壓式呼吸器(qi),穿一般作業工作服。若是液體,盡(jin)可能切斷泄(xie)漏源(yuan)。防止流入(ru)下水道、排洪溝等限(xian)制性空間(jian)。小量泄漏:用干燥(zao)的砂土或類似物質吸收。大(da)量泄漏:構(gou)筑(zhu)圍堤或(huo)(huo)挖坑收容。用(yong)泡沫覆蓋(gai),降(jiang)低(di)蒸氣災害。用(yong)防爆泵(beng)轉移至槽車或(huo)(huo)專(zhuan)用(yong)收集器內(nei),回(hui)收或(huo)(huo)運(yun)至廢物(wu)處理(li)場(chang)所處置。若是(shi)固體,收(shou)集(ji)于干燥、潔凈、有(you)蓋的(de)容(rong)器中。若大量泄漏(lou),收(shou)集(ji)回收或運至廢(fei)物處理場所(suo)處置。
操作注意事項:密閉操(cao)作(zuo)。密閉操(cao)作(zuo),提供良(liang)好的自然通風條(tiao)件。操(cao)作(zuo)人員必須經(jing)過專門(men)培訓,嚴(yan)格(ge)遵守操(cao)作規(gui)程(cheng)。建議操作人員佩戴自吸過(guo)濾(lv)式防塵口罩,戴化學安全防護眼鏡。遠(yuan)離火種、熱源,工作(zuo)(zuo)場(chang)(chang)所(suo)嚴禁吸煙。使(shi)用防(fang)(fang)爆(bao)型(xing)的通(tong)風系統和設備(bei)。防(fang)(fang)止(zhi)蒸氣(qi)泄漏到工作(zuo)(zuo)場(chang)(chang)所(suo)空氣(qi)中。避免與(yu)氧(yang)化劑接觸。搬運時要輕裝輕卸,防止包裝及容器(qi)損壞。配(pei)備相(xiang)應品種(zhong)和(he)數量的消防器(qi)材及泄漏應急處理(li)設(she)備。倒(dao)空的容器可能殘留有害物。