一、掃描電鏡的分辨率是多少

掃描電鏡最主要的特征就是其分辨率高，景深長，那么具體的掃描電鏡的(de)分辨率(lv)是(shi)多(duo)少呢？

掃描(miao)(miao)電(dian)鏡(jing)(jing)具有很高的分(fen)辨率(lv)，普通掃描(miao)(miao)電(dian)鏡(jing)(jing)的分(fen)辨率(lv)為幾納(na)米，場發射掃描(miao)(miao)電(dian)鏡(jing)(jing)的分(fen)辨率(lv)可達1nm，已十(shi)分(fen)接(jie)近(jin)透(tou)射電(dian)鏡(jing)(jing)的水平。

光學顯微鏡(jing)只能(neng)在(zai)低倍率下使用(yong)，而(er)透射(she)電鏡(jing)只能(neng)在(zai)高倍率下使用(yong)，掃(sao)描電鏡(jing)可以在(zai)幾倍到(dao)幾十萬倍的(de)范圍內連續(xu)可調，彌補了(le)從光學顯微鏡(jing)到(dao)透射(she)電鏡(jing)觀察的(de)一個很大的(de)跨度(du)，實現了(le)對(dui)樣品(pin)從宏觀到(dao)微觀的(de)觀察和(he)分析(xi)。

二、掃描電鏡的分辨率受哪些因素影響

前文已經簡單了解了掃描電鏡的分辨率，那么你知道掃描電鏡的分辨率受哪些因(yin)素影響嗎？

主要影響因素：

1、掃描電子束斑直徑

一般認為在理想(xiang)的(de)情況下，掃(sao)描電(dian)鏡(jing)的(de)分辨率不(bu)可能小于掃(sao)描電(dian)子束斑直徑，故束斑直徑越(yue)小，電(dian)鏡(jing)的(de)分辨本領越(yue)高。束斑直徑主要取決于電(dian)子光學系統（電(dian)子槍等）。

2、入射電子束在樣品中的擴展效應

例如不(bu)同(tong)的入(ru)(ru)射(she)(she)電(dian)子(zi)能量(liang)導致作(zuo)用(yong)(yong)區域不(bu)同(tong)，高加速電(dian)壓時，入(ru)(ru)射(she)(she)電(dian)子(zi)能量(liang)高，作(zuo)用(yong)(yong)深度(du)(du)大，不(bu)同(tong)深度(du)(du)的信號(hao)疊加，無法(fa)清晰地表征材(cai)料(liao)最表面細節；低(di)(di)加速電(dian)壓時，入(ru)(ru)射(she)(she)電(dian)了(le)能量(liang)低(di)(di)，作(zuo)用(yong)(yong)深度(du)(du)淺，提(ti)高了(le)空間分辨率。

3、成像所用信號種類

也(ye)是(shi)主(zhu)要與(yu)信(xin)號本身的能量(liang)和信(xin)號取樣的區域范圍，以二次電子為調制(zhi)信(xin)號和以背(bei)散射電子就不一樣，后者(zhe)分辨(bian)率低于前者(zhe)。