一、掃描電鏡的分辨率是多少

掃描電鏡最主要的特征就是其分辨率高，景深長，那么具體的掃描電鏡的分辨率是(shi)多少(shao)呢？

掃(sao)描電鏡(jing)具有很(hen)高的分(fen)辨(bian)率，普通掃(sao)描電鏡(jing)的分(fen)辨(bian)率為幾納米，場(chang)發射(she)掃(sao)描電鏡(jing)的分(fen)辨(bian)率可(ke)達(da)1nm，已十分(fen)接近透射(she)電鏡(jing)的水平。

光學(xue)顯微(wei)鏡只能在低(di)倍(bei)率(lv)下使用(yong)，而(er)透(tou)射電鏡只能在高倍(bei)率(lv)下使用(yong)，掃描電鏡可以在幾倍(bei)到幾十萬(wan)倍(bei)的(de)范圍內連續可調(diao)，彌補(bu)了從(cong)光學(xue)顯微(wei)鏡到透(tou)射電鏡觀(guan)察(cha)的(de)一個很大的(de)跨度，實(shi)現了對樣品(pin)從(cong)宏觀(guan)到微(wei)觀(guan)的(de)觀(guan)察(cha)和分析。

二、掃描電鏡的分辨率受哪些因素影響

前文已經簡單了解了掃描電鏡的分辨率，那么你知道掃描電鏡的分辨率受哪些因素影(ying)響嗎？

主要影響因素：

1、掃描電子束斑直徑

一般(ban)認為在理想(xiang)的(de)情況下，掃描電(dian)鏡的(de)分(fen)辨率不可能小(xiao)于掃描電(dian)子束斑直徑，故束斑直徑越小(xiao)，電(dian)鏡的(de)分(fen)辨本領越高。束斑直徑主要取決于電(dian)子光學系統（電(dian)子槍等）。

2、入射電子束在樣品中的擴展效應

例如不(bu)(bu)同(tong)(tong)的入(ru)射(she)電(dian)子能(neng)量(liang)導致作用區域不(bu)(bu)同(tong)(tong)，高加(jia)速電(dian)壓時，入(ru)射(she)電(dian)子能(neng)量(liang)高，作用深(shen)度(du)大，不(bu)(bu)同(tong)(tong)深(shen)度(du)的信(xin)號疊加(jia)，無法清晰地表征材料最(zui)表面細節；低(di)加(jia)速電(dian)壓時，入(ru)射(she)電(dian)了(le)能(neng)量(liang)低(di)，作用深(shen)度(du)淺，提高了(le)空間分辨率(lv)。

3、成像所用信號種類

也是(shi)主要與信號本身(shen)的(de)能量和信號取樣的(de)區域范圍，以二次電子(zi)為調制信號和以背(bei)散(san)射電子(zi)就不一樣，后者分辨率低于前者。