一、掃描電鏡的分辨率是多少

掃描電鏡最主要的特征就是其分辨率高，景深長，那么具體的掃描電鏡的分(fen)辨(bian)率是多(duo)少呢(ni)？

掃描電鏡(jing)具有(you)很高的分(fen)辨(bian)率(lv)，普(pu)通掃描電鏡(jing)的分(fen)辨(bian)率(lv)為幾納米，場發射掃描電鏡(jing)的分(fen)辨(bian)率(lv)可達1nm，已十分(fen)接(jie)近透射電鏡(jing)的水平。

光(guang)學(xue)顯微(wei)鏡只能(neng)在低倍率下(xia)使用(yong)，而透射電(dian)鏡只能(neng)在高(gao)倍率下(xia)使用(yong)，掃描電(dian)鏡可以(yi)在幾(ji)倍到幾(ji)十萬(wan)倍的(de)范圍(wei)內連續可調(diao)，彌補了(le)(le)從(cong)(cong)光(guang)學(xue)顯微(wei)鏡到透射電(dian)鏡觀察的(de)一(yi)個很大的(de)跨(kua)度，實現(xian)了(le)(le)對樣品從(cong)(cong)宏觀到微(wei)觀的(de)觀察和分(fen)析。

二、掃描電鏡的分辨率受哪些因素影響

前文已經簡單了解了掃描電鏡的分辨率，那么你知道掃描電鏡的分辨(bian)率受哪些因素影響嗎？

主要影響因素：

1、掃描電子束斑直徑

一(yi)般認為在理想的情(qing)況下(xia)，掃描電鏡的分(fen)辨率不(bu)可(ke)能小于(yu)掃描電子(zi)束斑(ban)(ban)直徑，故束斑(ban)(ban)直徑越(yue)小，電鏡的分(fen)辨本領越(yue)高。束斑(ban)(ban)直徑主要取決于(yu)電子(zi)光(guang)學系統（電子(zi)槍等(deng)）。

2、入射電子束在樣品中的擴展效應

例如不同的(de)入(ru)射(she)(she)電(dian)子能量導致作用(yong)區(qu)域(yu)不同，高加(jia)(jia)速電(dian)壓時，入(ru)射(she)(she)電(dian)子能量高，作用(yong)深度大，不同深度的(de)信號疊加(jia)(jia)，無法清晰地表征材料最表面細(xi)節(jie)；低加(jia)(jia)速電(dian)壓時，入(ru)射(she)(she)電(dian)了(le)能量低，作用(yong)深度淺(qian)，提高了(le)空(kong)間分(fen)辨(bian)率。

3、成像所用信號種類

也是主(zhu)要與信號本身的能量(liang)和信號取樣(yang)的區域范圍(wei)，以二次電子為調制信號和以背散(san)射電子就不一樣(yang)，后者(zhe)(zhe)分辨率低于前者(zhe)(zhe)。