一、掃描電鏡的分辨率是多少

掃描電鏡最主要的特征就是其分辨率高，景深長，那么具體的掃描電鏡的分辨率是多(duo)少呢(ni)？

掃描(miao)(miao)電鏡具有(you)很高(gao)的(de)(de)分(fen)辨(bian)(bian)率(lv)，普通掃描(miao)(miao)電鏡的(de)(de)分(fen)辨(bian)(bian)率(lv)為幾納米，場發射掃描(miao)(miao)電鏡的(de)(de)分(fen)辨(bian)(bian)率(lv)可達1nm，已(yi)十分(fen)接近透射電鏡的(de)(de)水平。

光學顯微(wei)鏡(jing)只(zhi)能在低(di)倍(bei)(bei)率下使(shi)用，而透(tou)射(she)電(dian)(dian)鏡(jing)只(zhi)能在高(gao)倍(bei)(bei)率下使(shi)用，掃描電(dian)(dian)鏡(jing)可以在幾倍(bei)(bei)到(dao)幾十萬倍(bei)(bei)的(de)范圍內(nei)連續可調，彌補(bu)了從光學顯微(wei)鏡(jing)到(dao)透(tou)射(she)電(dian)(dian)鏡(jing)觀(guan)(guan)察(cha)的(de)一個(ge)很大的(de)跨(kua)度，實現(xian)了對(dui)樣品從宏觀(guan)(guan)到(dao)微(wei)觀(guan)(guan)的(de)觀(guan)(guan)察(cha)和分析。

二、掃描電鏡的分辨率受哪些因素影響

前文已經簡單了解了掃描電鏡的分辨率，那么你知道掃描電鏡的分辨率受哪(na)些因素影響嗎？

主要影響因素：

1、掃描電子束斑直徑

一般認為(wei)在(zai)理想的(de)情況下，掃描(miao)電(dian)鏡的(de)分辨率不(bu)可能小于(yu)掃描(miao)電(dian)子(zi)束(shu)斑直徑，故束(shu)斑直徑越小，電(dian)鏡的(de)分辨本領(ling)越高(gao)。束(shu)斑直徑主(zhu)要取(qu)決于(yu)電(dian)子(zi)光(guang)學系統（電(dian)子(zi)槍等）。

2、入射電子束在樣品中的擴展效應

例如不同(tong)的入射電子能量(liang)導(dao)致作用(yong)區域不同(tong)，高加(jia)速(su)電壓時，入射電子能量(liang)高，作用(yong)深度大，不同(tong)深度的信號(hao)疊加(jia)，無法清晰地表征材(cai)料最(zui)表面細節(jie)；低(di)加(jia)速(su)電壓時，入射電了(le)能量(liang)低(di)，作用(yong)深度淺，提高了(le)空間(jian)分辨率。

3、成像所用信號種類

也是主要與(yu)信號(hao)本身的能量(liang)和(he)信號(hao)取樣(yang)的區域范(fan)圍，以(yi)(yi)二次電(dian)子為調制信號(hao)和(he)以(yi)(yi)背(bei)散射電(dian)子就不一樣(yang)，后(hou)者分(fen)辨率低于前者。