一、掃描電鏡的分辨率是多少

掃描電鏡最主要的特征就是其分辨率高，景深長，那么具體的掃描電鏡的分辨率是多少(shao)呢？

掃描電(dian)(dian)鏡具有(you)很高的分(fen)辨率(lv)，普(pu)通掃描電(dian)(dian)鏡的分(fen)辨率(lv)為幾納米，場發(fa)射(she)掃描電(dian)(dian)鏡的分(fen)辨率(lv)可(ke)達1nm，已十(shi)分(fen)接近(jin)透射(she)電(dian)(dian)鏡的水平。

光學(xue)顯微鏡(jing)(jing)只能(neng)在(zai)低倍(bei)率下(xia)使用，而透(tou)射電鏡(jing)(jing)只能(neng)在(zai)高(gao)倍(bei)率下(xia)使用，掃描電鏡(jing)(jing)可(ke)以在(zai)幾倍(bei)到幾十萬(wan)倍(bei)的(de)(de)范圍內(nei)連續可(ke)調，彌補了從光學(xue)顯微鏡(jing)(jing)到透(tou)射電鏡(jing)(jing)觀(guan)察(cha)(cha)的(de)(de)一個(ge)很大的(de)(de)跨(kua)度，實現了對樣品從宏觀(guan)到微觀(guan)的(de)(de)觀(guan)察(cha)(cha)和分析。

二、掃描電鏡的分辨率受哪些因素影響

前文已經簡單了解了掃描電鏡的分辨率，那么你知道掃描電鏡的分(fen)辨率受(shou)哪(na)些因素(su)影響嗎？

主要影響因素：

1、掃描電子束斑直徑

一般認為(wei)在理想的(de)情況下，掃描(miao)電(dian)(dian)鏡(jing)的(de)分辨(bian)率不可能小(xiao)于(yu)(yu)掃描(miao)電(dian)(dian)子(zi)束(shu)斑(ban)直(zhi)徑，故(gu)束(shu)斑(ban)直(zhi)徑越小(xiao)，電(dian)(dian)鏡(jing)的(de)分辨(bian)本領越高。束(shu)斑(ban)直(zhi)徑主要取決于(yu)(yu)電(dian)(dian)子(zi)光學系統（電(dian)(dian)子(zi)槍(qiang)等）。

2、入射電子束在樣品中的擴展效應

例如不(bu)同的入(ru)射電(dian)(dian)子能(neng)(neng)量導致作用(yong)區域不(bu)同，高(gao)加(jia)速電(dian)(dian)壓(ya)時，入(ru)射電(dian)(dian)子能(neng)(neng)量高(gao)，作用(yong)深(shen)度大(da)，不(bu)同深(shen)度的信號疊加(jia)，無法清晰地表征(zheng)材(cai)料最表面細節；低加(jia)速電(dian)(dian)壓(ya)時，入(ru)射電(dian)(dian)了能(neng)(neng)量低，作用(yong)深(shen)度淺，提高(gao)了空間分辨率(lv)。

3、成像所用信號種類

也是主要與信(xin)號本身的能量和信(xin)號取樣的區域范圍，以二(er)次電子為調(diao)制(zhi)信(xin)號和以背散(san)射電子就不一樣，后者分辨率低于前者。