一、掃描電鏡的分辨率是多少

掃描電鏡最主要的特征就是其分辨率高，景深長，那么具體的掃描電鏡的分(fen)辨率是多少(shao)呢？

掃描電(dian)(dian)鏡(jing)具有很高的(de)(de)(de)分(fen)辨率(lv)，普通(tong)掃描電(dian)(dian)鏡(jing)的(de)(de)(de)分(fen)辨率(lv)為幾納米，場發射掃描電(dian)(dian)鏡(jing)的(de)(de)(de)分(fen)辨率(lv)可達1nm，已十分(fen)接近透射電(dian)(dian)鏡(jing)的(de)(de)(de)水平。

光學顯(xian)微(wei)鏡(jing)只能在(zai)(zai)低倍率下使用，而透(tou)射(she)電(dian)鏡(jing)只能在(zai)(zai)高倍率下使用，掃(sao)描電(dian)鏡(jing)可(ke)以(yi)在(zai)(zai)幾倍到(dao)幾十萬(wan)倍的范圍內連續(xu)可(ke)調，彌補(bu)了從光學顯(xian)微(wei)鏡(jing)到(dao)透(tou)射(she)電(dian)鏡(jing)觀(guan)(guan)察(cha)(cha)的一個很大的跨(kua)度，實現了對(dui)樣品從宏觀(guan)(guan)到(dao)微(wei)觀(guan)(guan)的觀(guan)(guan)察(cha)(cha)和(he)分析(xi)。

二、掃描電鏡的分辨率受哪些因素影響

前文已經簡單了解了掃描電鏡的分辨率，那么你知道掃描電鏡的(de)分辨率受哪(na)些因素影(ying)響嗎？

主要影響因素：

1、掃描電子束斑直徑

一般認為(wei)在(zai)理想的情況下(xia)，掃(sao)描(miao)電(dian)鏡的分辨率不可能小于掃(sao)描(miao)電(dian)子束斑(ban)直(zhi)徑，故束斑(ban)直(zhi)徑越小，電(dian)鏡的分辨本領越高。束斑(ban)直(zhi)徑主要取決于電(dian)子光學系統（電(dian)子槍等）。

2、入射電子束在樣品中的擴展效應

例如不同(tong)的入射電(dian)子能(neng)量(liang)導(dao)致作(zuo)用區域不同(tong)，高(gao)加(jia)速(su)(su)電(dian)壓時，入射電(dian)子能(neng)量(liang)高(gao)，作(zuo)用深度大，不同(tong)深度的信號疊加(jia)，無法(fa)清晰地表征(zheng)材(cai)料最表面細節；低加(jia)速(su)(su)電(dian)壓時，入射電(dian)了(le)能(neng)量(liang)低，作(zuo)用深度淺(qian)，提高(gao)了(le)空間分辨率(lv)。

3、成像所用信號種類

也(ye)是(shi)主(zhu)要與信號(hao)本身的能(neng)量和信號(hao)取樣的區域范(fan)圍，以二(er)次(ci)電子(zi)為調制信號(hao)和以背散射電子(zi)就不一樣，后者分辨率低(di)于前者。