一、掃描電鏡的分辨率是多少

掃描電鏡最主要的特征就是其分辨率高，景深長，那么具體的掃描電鏡的分辨率是多(duo)少呢？

掃(sao)描電鏡具有(you)很高的(de)分辨率(lv)，普通掃(sao)描電鏡的(de)分辨率(lv)為(wei)幾納米，場發射掃(sao)描電鏡的(de)分辨率(lv)可達1nm，已(yi)十分接近透射電鏡的(de)水(shui)平(ping)。

光(guang)學(xue)顯(xian)微(wei)鏡(jing)只能(neng)在低倍率下使(shi)用，而透射電(dian)鏡(jing)只能(neng)在高倍率下使(shi)用，掃(sao)描(miao)電(dian)鏡(jing)可以在幾(ji)倍到幾(ji)十萬倍的范圍內連續可調，彌補了(le)從(cong)光(guang)學(xue)顯(xian)微(wei)鏡(jing)到透射電(dian)鏡(jing)觀察的一個很大的跨(kua)度，實現了(le)對樣品從(cong)宏觀到微(wei)觀的觀察和(he)分(fen)析。

二、掃描電鏡的分辨率受哪些因素影響

前文已經簡單了解了掃描電鏡的分辨率，那么你知道掃描電鏡的(de)分辨率受(shou)哪些因素影(ying)響(xiang)嗎？

主要影響因素：

1、掃描電子束斑直徑

一般(ban)認為在理(li)想(xiang)的情況下，掃描電(dian)鏡(jing)的分辨率不可能小于掃描電(dian)子(zi)束斑直(zhi)徑，故束斑直(zhi)徑越小，電(dian)鏡(jing)的分辨本(ben)領越高(gao)。束斑直(zhi)徑主(zhu)要(yao)取決于電(dian)子(zi)光學系(xi)統（電(dian)子(zi)槍等）。

2、入射電子束在樣品中的擴展效應

例如不同(tong)的入射電(dian)子能(neng)量導(dao)致作用區域不同(tong)，高加速電(dian)壓時，入射電(dian)子能(neng)量高，作用深(shen)度(du)大，不同(tong)深(shen)度(du)的信號疊(die)加，無法(fa)清(qing)晰地表征材料(liao)最表面細節；低(di)加速電(dian)壓時，入射電(dian)了(le)能(neng)量低(di)，作用深(shen)度(du)淺，提高了(le)空間(jian)分辨率。

3、成像所用信號種類

也是主要與信號(hao)本(ben)身(shen)的能量和(he)信號(hao)取樣(yang)的區域范圍，以二次電(dian)子(zi)為調制信號(hao)和(he)以背散(san)射電(dian)子(zi)就不一樣(yang)，后(hou)者(zhe)分辨率低于前者(zhe)。