一、掃描電子顯微鏡主要成像信號有哪幾種

掃描電子顯微鏡（SEM）是一種介于透射電子顯微鏡和光學顯微鏡之間的一種觀察手段。其利用聚焦的很窄的高能電子束來掃描樣品，通過光束與物質間的相互作用，來激發各種物理信息，對這些信息收集、放大、再成像以達到對物質微觀形貌表征的目的。那么你知道掃描電子顯微鏡主要成像信號有哪幾種嗎？

1、對于形貌成像：主要(yao)信號是二(er)次電子(zi)，背散射(she)電子(zi)也(ye)有使用(yong)(yong)。吸收電流成像，是比較(jiao)特殊的(de)應用(yong)(yong)，往(wang)往(wang)用(yong)(yong)于專門材料檢(jian)測(ce)。

2、對于成分分布成像：背散射電子，陰極熒光，元素特征X射線等(deng)。

二、掃描電鏡的主要參數有哪些

掃描電(dian)鏡主要(yao)參數：分(fen)辨率(lv)、放大倍數、景(jing)深。

1、分辨率

分辨率(lv)是(shi)掃描電鏡(jing)最主要(yao)的性(xing)能指(zhi)(zhi)標，對成像而言，它是(shi)指(zhi)(zhi)能分辨兩點之間的最小(xiao)距離(li)；對微區(qu)成分分析(xi)(xi)而言，它是(shi)指(zhi)(zhi)能分析(xi)(xi)的最小(xiao)區(qu)域(yu)。掃描電鏡(jing)的分辨率(lv)通過測(ce)定(ding)圖像中兩個(ge)顆(ke)粒(或區(qu)域(yu))間的最小(xiao)距離(li)來確定(ding)的，測(ce)定(ding)的方法是(shi)在已(yi)知放(fang)大倍數的條件下，把(ba)在圖像上測(ce)到的最小(xiao)間距除以放(fang)大倍數所得數值(zhi)就(jiu)是(shi)分辨率(lv)。

2、放大倍數

當入(ru)射電(dian)子(zi)束(shu)做光柵掃描(miao)時，若電(dian)子(zi)束(shu)在(zai)樣(yang)品表面掃描(miao)的(de)(de)幅度為As，在(zai)顯(xian)光屏上陰(yin)極(ji)射線同(tong)步掃描(miao)的(de)(de)幅度為Ac，則放大倍數可表示為M=Ac/As。

由于(yu)熒(ying)光屏的(de)(de)尺(chi)寸是不變(bian)(bian)的(de)(de)，因此(ci)，放大(da)倍數(shu)的(de)(de)變(bian)(bian)化只要(yao)通過(guo)改變(bian)(bian)電子束在(zai)樣品(pin)表(biao)面(mian)的(de)(de)掃描幅度As來實現。

目(mu)前商品化的掃面電鏡的放大倍(bei)數可以(yi)從20倍(bei)到20萬倍(bei)之間(jian)連(lian)續調(diao)節(jie)。

3、景深

景深是指透鏡對(dui)高(gao)低不平的樣品各部位(wei)能同時(shi)聚焦成像的能力范圍，這個范圍用一段距離表示。

如果(guo)景深為Ds，只要(yao)樣品(pin)表面高低范(fan)圍值小于(yu)Ds，則在熒光屏上就(jiu)能清晰地反映出樣品(pin)的表面形貌。正是由于(yu)掃描電鏡景深大(da)，特別(bie)適用于(yu)粗糙表面和斷口的分析觀察；圖像富(fu)有立體感(gan)、真實感(gan)、易于(yu)識別(bie)和解釋。