一、掃描電子顯微鏡主要成像信號有哪幾種

掃描電子顯微鏡（SEM）是一種介于透射電子顯微鏡和光學顯微鏡之間的一種觀察手段。其利用聚焦的很窄的高能電子束來掃描樣品，通過光束與物質間的相互作用，來激發各種物理信息，對這些信息收集、放大、再成像以達到對物質微觀形貌表征的目的。那么你知道掃描電子顯微鏡主要(yao)成像信號有哪幾(ji)種(zhong)嗎？

1、對于形貌成像：主要(yao)信號是(shi)二次(ci)電子，背(bei)散射電子也(ye)有(you)使用(yong)。吸收電流成(cheng)像，是(shi)比較特殊的(de)應(ying)用(yong)，往往用(yong)于專門材料檢測。

2、對于成分分布成像：背散射(she)電(dian)子，陰極(ji)熒光，元素(su)特征(zheng)X射(she)線等。

二、掃描電鏡的主要參數有哪些

掃描(miao)電鏡主要參(can)數：分辨率、放大倍數、景(jing)深。

1、分辨率

分(fen)辨率是(shi)(shi)掃描電(dian)鏡(jing)最(zui)(zui)主要的(de)(de)性能指標，對(dui)成像(xiang)而言(yan)，它(ta)是(shi)(shi)指能分(fen)辨兩(liang)點之間(jian)的(de)(de)最(zui)(zui)小(xiao)距(ju)離(li)(li)；對(dui)微(wei)區(qu)成分(fen)分(fen)析而言(yan)，它(ta)是(shi)(shi)指能分(fen)析的(de)(de)最(zui)(zui)小(xiao)區(qu)域(yu)。掃描電(dian)鏡(jing)的(de)(de)分(fen)辨率通過(guo)測(ce)(ce)定圖像(xiang)中(zhong)兩(liang)個顆粒(li)(或區(qu)域(yu))間(jian)的(de)(de)最(zui)(zui)小(xiao)距(ju)離(li)(li)來確定的(de)(de)，測(ce)(ce)定的(de)(de)方法是(shi)(shi)在已(yi)知放大倍(bei)數的(de)(de)條件下，把在圖像(xiang)上(shang)測(ce)(ce)到的(de)(de)最(zui)(zui)小(xiao)間(jian)距(ju)除以(yi)放大倍(bei)數所得數值就是(shi)(shi)分(fen)辨率。

2、放大倍數

當入射電子束(shu)做光柵(zha)掃描時(shi)，若電子束(shu)在樣品表面掃描的(de)幅度為(wei)As，在顯光屏上(shang)陰極射線同步掃描的(de)幅度為(wei)Ac，則放大倍(bei)數可(ke)表示為(wei)M=Ac/As。

由(you)于熒光(guang)屏的(de)(de)(de)尺寸(cun)是(shi)不變(bian)的(de)(de)(de)，因此，放大倍數的(de)(de)(de)變(bian)化(hua)只要通過(guo)改變(bian)電子(zi)束在樣(yang)品表面的(de)(de)(de)掃(sao)描幅(fu)度As來實現。

目(mu)前商品化的掃面電鏡的放大倍數可(ke)以從20倍到(dao)20萬倍之(zhi)間(jian)連續調節(jie)。

3、景深

景(jing)深是指(zhi)透鏡對高低不(bu)平(ping)的樣品各部位能同(tong)時(shi)聚焦成像的能力范(fan)圍(wei)，這(zhe)個范(fan)圍(wei)用一段距離表示。

如果景深為Ds，只(zhi)要樣品(pin)表面高低范圍值小(xiao)于(yu)Ds，則在熒(ying)光屏上就能清晰地反(fan)映(ying)出(chu)樣品(pin)的(de)表面形貌。正是由于(yu)掃描電(dian)鏡(jing)景深大，特別(bie)適(shi)用于(yu)粗糙表面和斷口的(de)分析觀察(cha)；圖像富有(you)立體感、真實感、易于(yu)識別(bie)和解釋(shi)。