一、掃描電子顯微鏡主要成像信號有哪幾種
掃描電子顯微鏡(SEM)是一種介于透射電子顯微鏡和光學顯微鏡之間的一種觀察手段。其利用聚焦的很窄的高能電子束來掃描樣品,通過光束與物質間的相互作用,來激發各種物理信息,對這些信息收集、放大、再成像以達到對物質微觀形貌表征的目的。那么你知道掃描電子顯微鏡主要成像信號有哪(na)幾(ji)種嗎?
1、對于形貌成像:主(zhu)要信號是(shi)二次電(dian)子,背(bei)散射電(dian)子也有使用(yong)。吸收電(dian)流成像,是(shi)比(bi)較特殊(shu)的應(ying)用(yong),往往用(yong)于專門材料檢測。
2、對于成分分布成像:背散射(she)電(dian)子(zi),陰極熒光,元素特(te)征(zheng)X射(she)線等。
二、掃描電鏡的主要參數有哪些
掃(sao)描(miao)電鏡(jing)主要參(can)數:分辨率、放大倍數、景深。
1、分辨率
分(fen)(fen)辨(bian)(bian)率是掃描(miao)電鏡最(zui)主要的(de)性能(neng)指(zhi)標,對成像而言,它是指(zhi)能(neng)分(fen)(fen)辨(bian)(bian)兩點之間的(de)最(zui)小距離;對微區(qu)(qu)成分(fen)(fen)分(fen)(fen)析而言,它是指(zhi)能(neng)分(fen)(fen)析的(de)最(zui)小區(qu)(qu)域(yu)。掃描(miao)電鏡的(de)分(fen)(fen)辨(bian)(bian)率通過測定圖(tu)像中兩個(ge)顆粒(li)(或區(qu)(qu)域(yu))間的(de)最(zui)小距離來確(que)定的(de),測定的(de)方法是在已(yi)知放大(da)倍數的(de)條(tiao)件下,把在圖(tu)像上測到的(de)最(zui)小間距除以放大(da)倍數所得數值就是分(fen)(fen)辨(bian)(bian)率。
2、放大倍數
當入射電子束(shu)做光柵掃描時,若電子束(shu)在樣品表面掃描的(de)幅度(du)為As,在顯光屏上陰極射線同步掃描的(de)幅度(du)為Ac,則放大(da)倍數可表示為M=Ac/As。
由于熒光屏的尺(chi)寸(cun)是不變(bian)的,因(yin)此,放(fang)大倍數的變(bian)化只要通過改變(bian)電子(zi)束在樣品(pin)表(biao)面的掃描幅度As來實現。
目前商品化的(de)掃面電鏡的(de)放(fang)大倍數可以從20倍到20萬倍之間連續(xu)調節。
3、景深
景深是指(zhi)透鏡(jing)對高低不(bu)平的(de)樣品(pin)各部位能(neng)同(tong)時(shi)聚焦成像的(de)能(neng)力范圍,這個范圍用一段距離(li)表示。
如果景深為(wei)Ds,只要樣品表(biao)面(mian)高低范圍(wei)值(zhi)小于(yu)Ds,則在熒光屏上就能清晰地反映(ying)出樣品的(de)表(biao)面(mian)形貌(mao)。正是由于(yu)掃描電鏡景深大,特別(bie)適用于(yu)粗(cu)糙表(biao)面(mian)和斷口的(de)分析觀察(cha);圖像富有立體(ti)感、真實感、易于(yu)識別(bie)和解釋。