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掃描電子顯微鏡主要成像信號有哪幾種 掃描電鏡的主要參數有哪些

本文章由注冊用戶 知識百寶箱 上傳提供 2024-05-05 評論 0
摘要:掃描電子顯微鏡是一種用于高分辨率微區形貌分析的大型精密儀器。具有景深大、分辨率高,成像直觀、立體感強、放大倍數范圍寬以及待測樣品可在三維空間內進行旋轉和傾斜等特點。接下來本文將重點介紹掃描電子顯微鏡主要成像信號有哪幾種以及掃描電鏡的主要參數有哪些,一起到文中來看看吧!

一、掃描電子顯微鏡主要成像信號有哪幾種

掃描電子顯微鏡(SEM)是一種介于透射電子顯微鏡和光學顯微鏡之間的一種觀察手段。其利用聚焦的很窄的高能電子束來掃描樣品,通過光束與物質間的相互作用,來激發各種物理信息,對這些信息收集、放大、再成像以達到對物質微觀形貌表征的目的。那么你知道掃描電子顯微鏡主要成像信號有哪(na)幾(ji)種嗎?

1、對于形貌成像:主(zhu)要信號是(shi)二次電(dian)子,背(bei)散射電(dian)子也有使用(yong)。吸收電(dian)流成像,是(shi)比(bi)較特殊(shu)的應(ying)用(yong),往往用(yong)于專門材料檢測。

2、對于成分分布成像:背散射(she)電(dian)子(zi),陰極熒光,元素特(te)征(zheng)X射(she)線等。

二、掃描電鏡的主要參數有哪些

掃(sao)描(miao)電鏡(jing)主要參(can)數:分辨率、放大倍數、景深。

1、分辨率

分(fen)(fen)辨(bian)(bian)率是掃描(miao)電鏡最(zui)主要的(de)性能(neng)指(zhi)標,對成像而言,它是指(zhi)能(neng)分(fen)(fen)辨(bian)(bian)兩點之間的(de)最(zui)小距離;對微區(qu)(qu)成分(fen)(fen)分(fen)(fen)析而言,它是指(zhi)能(neng)分(fen)(fen)析的(de)最(zui)小區(qu)(qu)域(yu)。掃描(miao)電鏡的(de)分(fen)(fen)辨(bian)(bian)率通過測定圖(tu)像中兩個(ge)顆粒(li)(或區(qu)(qu)域(yu))間的(de)最(zui)小距離來確(que)定的(de),測定的(de)方法是在已(yi)知放大(da)倍數的(de)條(tiao)件下,把在圖(tu)像上測到的(de)最(zui)小間距除以放大(da)倍數所得數值就是分(fen)(fen)辨(bian)(bian)率。

2、放大倍數

當入射電子束(shu)做光柵掃描時,若電子束(shu)在樣品表面掃描的(de)幅度(du)為As,在顯光屏上陰極射線同步掃描的(de)幅度(du)為Ac,則放大(da)倍數可表示為M=Ac/As。

由于熒光屏的尺(chi)寸(cun)是不變(bian)的,因(yin)此,放(fang)大倍數的變(bian)化只要通過改變(bian)電子(zi)束在樣品(pin)表(biao)面的掃描幅度As來實現。

目前商品化的(de)掃面電鏡的(de)放(fang)大倍數可以從20倍到20萬倍之間連續(xu)調節。

3、景深

景深是指(zhi)透鏡(jing)對高低不(bu)平的(de)樣品(pin)各部位能(neng)同(tong)時(shi)聚焦成像的(de)能(neng)力范圍,這個范圍用一段距離(li)表示。

如果景深為(wei)Ds,只要樣品表(biao)面(mian)高低范圍(wei)值(zhi)小于(yu)Ds,則在熒光屏上就能清晰地反映(ying)出樣品的(de)表(biao)面(mian)形貌(mao)。正是由于(yu)掃描電鏡景深大,特別(bie)適用于(yu)粗(cu)糙表(biao)面(mian)和斷口的(de)分析觀察(cha);圖像富有立體(ti)感、真實感、易于(yu)識別(bie)和解釋。

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