一、掃描電子顯微鏡主要成像信號有哪幾種

掃描電子顯微鏡（SEM）是一種介于透射電子顯微鏡和光學顯微鏡之間的一種觀察手段。其利用聚焦的很窄的高能電子束來掃描樣品，通過光束與物質間的相互作用，來激發各種物理信息，對這些信息收集、放大、再成像以達到對物質微觀形貌表征的目的。那么你知道掃描電子顯微鏡主要(yao)成像信號有(you)哪幾種嗎？

1、對于形貌成像：主要信號是二次(ci)電(dian)子，背散射(she)電(dian)子也(ye)有(you)使用(yong)。吸收電(dian)流成像，是比較特殊的應用(yong)，往往用(yong)于(yu)專(zhuan)門(men)材料檢測。

2、對于成分分布成像：背散射(she)(she)電子(zi)，陰極熒光，元(yuan)素特征X射(she)(she)線(xian)等(deng)。

二、掃描電鏡的主要參數有哪些

掃描電鏡主要參數：分辨率(lv)、放(fang)大倍數、景(jing)深。

1、分辨率

分(fen)辨(bian)率是(shi)掃描(miao)電鏡(jing)最(zui)主(zhu)要的(de)(de)性能(neng)指標(biao)，對成像而言(yan)(yan)，它(ta)是(shi)指能(neng)分(fen)辨(bian)兩點之間(jian)的(de)(de)最(zui)小距離(li)；對微區成分(fen)分(fen)析(xi)而言(yan)(yan)，它(ta)是(shi)指能(neng)分(fen)析(xi)的(de)(de)最(zui)小區域(yu)。掃描(miao)電鏡(jing)的(de)(de)分(fen)辨(bian)率通(tong)過測定(ding)圖像中兩個顆粒(或區域(yu))間(jian)的(de)(de)最(zui)小距離(li)來確(que)定(ding)的(de)(de)，測定(ding)的(de)(de)方法是(shi)在已知放大(da)倍數的(de)(de)條件下(xia)，把在圖像上測到的(de)(de)最(zui)小間(jian)距除以放大(da)倍數所得數值就是(shi)分(fen)辨(bian)率。

2、放大倍數

當入射電子束做光柵掃描時，若(ruo)電子束在樣品表面掃描的(de)幅度(du)為As，在顯光屏上陰極射線同(tong)步(bu)掃描的(de)幅度(du)為Ac，則(ze)放大(da)倍數(shu)可表示為M=Ac/As。

由于熒光屏(ping)的尺寸是不變(bian)的，因此，放大倍數的變(bian)化只(zhi)要通過改變(bian)電子(zi)束在樣品表面(mian)的掃描(miao)幅度As來實現。

目前商品化的掃(sao)面(mian)電鏡的放大(da)倍(bei)數可以從20倍(bei)到20萬倍(bei)之間(jian)連續調(diao)節(jie)。

3、景深

景深是指透鏡對高低不平的(de)樣品各部位能(neng)同(tong)時聚焦成像的(de)能(neng)力范(fan)圍，這個(ge)范(fan)圍用(yong)一(yi)段(duan)距離(li)表(biao)示。

如(ru)果(guo)景(jing)深為Ds，只(zhi)要樣品表(biao)面高(gao)低范(fan)圍值小(xiao)于(yu)Ds，則在(zai)熒光屏上(shang)就能清晰地反映出樣品的表(biao)面形貌。正(zheng)是由于(yu)掃描電鏡(jing)景(jing)深大，特別(bie)適用(yong)于(yu)粗糙表(biao)面和斷口的分析觀察；圖(tu)像富(fu)有立體感、真(zhen)實感、易(yi)于(yu)識別(bie)和解釋。