一、掃描電子顯微鏡主要成像信號有哪幾種

掃描電子顯微鏡（SEM）是一種介于透射電子顯微鏡和光學顯微鏡之間的一種觀察手段。其利用聚焦的很窄的高能電子束來掃描樣品，通過光束與物質間的相互作用，來激發各種物理信息，對這些信息收集、放大、再成像以達到對物質微觀形貌表征的目的。那么你知道掃描電子顯微鏡主要成像(xiang)信號(hao)有(you)哪幾(ji)種嗎？

1、對于形貌成像：主要信號是二次(ci)電(dian)子，背散射電(dian)子也(ye)有使用(yong)(yong)。吸收(shou)電(dian)流成像，是比較特殊的(de)應(ying)用(yong)(yong)，往往用(yong)(yong)于專門(men)材料(liao)檢測。

2、對于成分分布成像：背散射電(dian)子，陰極熒光，元素特征X射線等。

二、掃描電鏡的主要參數有哪些

掃描電(dian)鏡主要參數：分(fen)辨(bian)率、放大(da)倍數、景深。

1、分辨率

分(fen)(fen)(fen)辨率(lv)是(shi)(shi)掃描(miao)電(dian)鏡最(zui)主要(yao)的(de)性(xing)能(neng)指(zhi)(zhi)標(biao)，對成(cheng)像(xiang)而言(yan)，它是(shi)(shi)指(zhi)(zhi)能(neng)分(fen)(fen)(fen)辨兩點(dian)之間(jian)的(de)最(zui)小距(ju)離；對微(wei)區(qu)(qu)成(cheng)分(fen)(fen)(fen)分(fen)(fen)(fen)析(xi)而言(yan)，它是(shi)(shi)指(zhi)(zhi)能(neng)分(fen)(fen)(fen)析(xi)的(de)最(zui)小區(qu)(qu)域。掃描(miao)電(dian)鏡的(de)分(fen)(fen)(fen)辨率(lv)通(tong)過(guo)測定(ding)圖像(xiang)中兩個(ge)顆粒(或區(qu)(qu)域)間(jian)的(de)最(zui)小距(ju)離來確定(ding)的(de)，測定(ding)的(de)方法是(shi)(shi)在(zai)已知放(fang)大倍數的(de)條件下，把在(zai)圖像(xiang)上測到(dao)的(de)最(zui)小間(jian)距(ju)除(chu)以放(fang)大倍數所得(de)數值(zhi)就是(shi)(shi)分(fen)(fen)(fen)辨率(lv)。

2、放大倍數

當入射電子(zi)束(shu)做(zuo)光柵掃(sao)描時，若電子(zi)束(shu)在(zai)樣(yang)品表面掃(sao)描的(de)幅(fu)度為As，在(zai)顯光屏上陰(yin)極射線(xian)同步掃(sao)描的(de)幅(fu)度為Ac，則放大倍數可(ke)表示為M=Ac/As。

由于熒光屏的(de)(de)尺寸是(shi)不變的(de)(de)，因此，放(fang)大倍數(shu)的(de)(de)變化只要通過改變電子(zi)束在樣(yang)品表面的(de)(de)掃描幅度As來實現(xian)。

目前商(shang)品化的(de)掃面電鏡的(de)放大(da)倍數可(ke)以從20倍到20萬倍之間連續(xu)調節。

3、景深

景深是指(zhi)透鏡對(dui)高(gao)低不平的樣品各部位能(neng)(neng)同時(shi)聚(ju)焦成像的能(neng)(neng)力范圍(wei)，這個范圍(wei)用(yong)一段距離(li)表示。

如(ru)果景深(shen)為Ds，只要(yao)樣品(pin)表面高低范圍值小于(yu)Ds，則在熒(ying)光屏(ping)上就(jiu)能清晰地反(fan)映(ying)出樣品(pin)的(de)表面形貌。正是由于(yu)掃(sao)描(miao)電鏡景深(shen)大，特別適用于(yu)粗糙表面和斷口的(de)分析觀察；圖像富有立體感、真實感、易于(yu)識別和解(jie)釋(shi)。