一、掃描電鏡有哪些種類

掃描電鏡分類方(fang)法(fa)：

1、按照電子槍種類分：鎢絲槍、六(liu)硼化鑭、場(chang)發射電子槍（冷場(chang)發射、熱場(chang)發射）。

2、按照樣品室的真空度分：高(gao)(gao)真(zhen)空(kong)模(mo)式、低真(zhen)空(kong)模(mo)式、環境模(mo)式（冷熱高(gao)(gao)壓(ya)低壓(ya)等(deng)等(deng)）。

3、按照真空泵分：油擴(kuo)散泵(beng)、分子泵(beng)。

4、按照自動化程度分：自動、手動。

5、按照操作方式分：旋鈕操作(zuo)、鼠標操作(zuo)。

6、按照電器控制系統分：模擬控制(zhi)、數字控制(zhi)。

7、按照圖像顯示系統分：模擬顯(xian)像、數(shu)字顯(xian)像。

二、掃描電鏡由什么組成

掃描電(dian)鏡由電(dian)子光(guang)學系(xi)(xi)統(tong)，信號收集及顯示系(xi)(xi)統(tong)，真空系(xi)(xi)統(tong)及電(dian)源系(xi)(xi)統(tong)組成。

1、電子光學系統

電(dian)子光(guang)學系統(tong)由(you)電(dian)子槍，電(dian)磁透鏡，掃描線圈和樣品室(shi)等部件組(zu)成。其作用(yong)是(shi)用(yong)來(lai)獲(huo)得掃描電(dian)子束(shu)，作為(wei)產生(sheng)物理(li)信號的激發源。為(wei)了獲(huo)得較高的信號強度和圖像分辨率，掃描電(dian)子束(shu)應(ying)具有(you)較高的亮度和盡可能(neng)小的束(shu)斑直(zhi)徑。

（1）電子槍

其作用(yong)是(shi)利用(yong)陰極(ji)與陽極(ji)燈絲(si)間(jian)的(de)(de)高(gao)壓產生高(gao)能量的(de)(de)電(dian)(dian)(dian)子束。目前大(da)多數掃描(miao)電(dian)(dian)(dian)鏡采(cai)用(yong)熱(re)陰極(ji)電(dian)(dian)(dian)子槍(qiang)。其優點是(shi)燈絲(si)價格較便(bian)宜，對真(zhen)空(kong)度要(yao)求不高(gao)，缺點是(shi)鎢(wu)絲(si)熱(re)電(dian)(dian)(dian)子發(fa)射效(xiao)率低，發(fa)射源直(zhi)徑(jing)較大(da)，即使經過二級(ji)或(huo)三級(ji)聚光(guang)鏡，在(zai)(zai)樣品表面(mian)上的(de)(de)電(dian)(dian)(dian)子束斑直(zhi)徑(jing)也在(zai)(zai)5-7nm，因此儀器分(fen)辨率受到限制(zhi)。現在(zai)(zai)，高(gao)等級(ji)掃描(miao)電(dian)(dian)(dian)鏡采(cai)用(yong)六硼化鑭（LaB6）或(huo)場發(fa)射電(dian)(dian)(dian)子槍(qiang)，使二次電(dian)(dian)(dian)子像(xiang)的(de)(de)分(fen)辨率達到2nm。但(dan)這種電(dian)(dian)(dian)子槍(qiang)要(yao)求很(hen)高(gao)的(de)(de)真(zhen)空(kong)度。

（2）電磁透鏡

其作(zuo)用主要(yao)是把電子槍的(de)束(shu)斑逐漸縮小(xiao)，是原(yuan)來直徑約為50mm的(de)束(shu)斑縮小(xiao)成一個(ge)只有(you)數nm的(de)細小(xiao)束(shu)斑。其工(gong)作(zuo)原(yuan)理與透(tou)射電鏡(jing)中的(de)電磁透(tou)鏡(jing)相同。

掃描電鏡(jing)一般有三(san)個聚光(guang)(guang)鏡(jing)，前兩(liang)個透(tou)鏡(jing)是強透(tou)鏡(jing)，用來(lai)縮小電子束光(guang)(guang)斑尺(chi)寸。第(di)三(san)個聚光(guang)(guang)鏡(jing)是弱透(tou)鏡(jing)，具有較(jiao)長的(de)焦距(ju)，在該透(tou)鏡(jing)下方放置樣品(pin)可避免磁場對二次電子軌跡的(de)干擾。

（3）掃描線圈

其作用是提供入(ru)射電子(zi)束(shu)在樣(yang)品(pin)表面上以及陰極射線(xian)管內電子(zi)束(shu)在熒光屏上的同(tong)步掃(sao)(sao)描(miao)信號(hao)。改變入(ru)射電子(zi)束(shu)在樣(yang)品(pin)表面掃(sao)(sao)描(miao)振幅，以獲(huo)得(de)所需放(fang)大倍率的掃(sao)(sao)描(miao)像(xiang)。掃(sao)(sao)描(miao)線(xian)圈試掃(sao)(sao)描(miao)點晶的一(yi)(yi)個(ge)重要(yao)組件，它一(yi)(yi)般放(fang)在最后(hou)二(er)透鏡之間(jian)，也有的放(fang)在末級透鏡的空間(jian)內。

（4）樣品室

樣(yang)品(pin)室(shi)中主要部(bu)件是樣(yang)品(pin)臺(tai)。它出能(neng)進行三維空間的移(yi)動(dong)，還能(neng)傾斜(xie)和(he)轉(zhuan)動(dong)，樣(yang)品(pin)臺(tai)移(yi)動(dong)范(fan)圍一般可達40毫(hao)米，傾斜(xie)范(fan)圍至少在50度左右(you)，轉(zhuan)動(dong)360度。

樣品(pin)(pin)室中(zhong)還要安置各種型號(hao)檢(jian)測器。信號(hao)的收集效率和相應檢(jian)測器的安放(fang)位置有(you)(you)很大關(guan)系。樣品(pin)(pin)臺還可(ke)以帶有(you)(you)多(duo)種附件，例如樣品(pin)(pin)在樣品(pin)(pin)臺上(shang)加熱(re)，冷卻或拉伸，可(ke)進(jin)行動態觀(guan)察。近年(nian)來，為適應斷(duan)口實物等(deng)大零件的需要，還開發(fa)了(le)可(ke)放(fang)置尺(chi)寸在Φ125mm以上(shang)的大樣品(pin)(pin)臺。

2、信號檢測放大系統

其(qi)作用是檢(jian)測(ce)樣品在(zai)入射電子作用下產生的(de)(de)物(wu)理信(xin)號(hao)，然(ran)后經視頻放(fang)大作為顯像系(xi)統的(de)(de)調(diao)制信(xin)號(hao)。

3、真空系統和電源系統

真空系統的作(zuo)(zuo)用是(shi)為保證電(dian)子(zi)光(guang)學系統正常工作(zuo)(zuo)，防止(zhi)樣(yang)品污染提供高的真空度，一般情況下(xia)要求保持10.4-10.5mmHg的真空度。