一、掃描電鏡有哪些種類

掃(sao)描電鏡分(fen)類方法：

1、按照電子槍種類分：鎢絲槍(qiang)、六(liu)硼化鑭、場(chang)發(fa)射電子(zi)槍(qiang)（冷場(chang)發(fa)射、熱(re)場(chang)發(fa)射）。

2、按照樣品室的真空度分：高(gao)真空(kong)模(mo)式、低真空(kong)模(mo)式、環境模(mo)式（冷熱高(gao)壓(ya)低壓(ya)等等）。

3、按照真空泵分：油擴(kuo)散泵(beng)、分子泵(beng)。

4、按照自動化程度分：自動、手動。

5、按照操作方式分：旋鈕操作(zuo)、鼠標操作(zuo)。

6、按照電器控制系統分：模擬控制、數(shu)字控制。

7、按照圖像顯示系統分：模擬顯(xian)像(xiang)、數(shu)字顯(xian)像(xiang)。

二、掃描電鏡由什么組成

掃描(miao)電鏡由電子光(guang)學系統，信號收集及顯示系統，真空系統及電源系統組成。

1、電子光學系統

電子(zi)(zi)光(guang)學(xue)系統由電子(zi)(zi)槍，電磁透鏡，掃(sao)(sao)描(miao)線圈和樣品室(shi)等部件組成。其作用是用來獲得(de)掃(sao)(sao)描(miao)電子(zi)(zi)束(shu)(shu)(shu)，作為(wei)產生物理信(xin)號的(de)(de)激發源(yuan)。為(wei)了獲得(de)較高(gao)的(de)(de)信(xin)號強(qiang)度和圖像分(fen)辨率(lv)，掃(sao)(sao)描(miao)電子(zi)(zi)束(shu)(shu)(shu)應具有較高(gao)的(de)(de)亮度和盡可能小的(de)(de)束(shu)(shu)(shu)斑直徑。

（1）電子槍

其作用(yong)是(shi)(shi)利(li)用(yong)陰極與陽(yang)極燈絲間的(de)高壓產生高能量的(de)電(dian)(dian)子(zi)束(shu)(shu)。目前大多(duo)數掃描電(dian)(dian)鏡采(cai)用(yong)熱陰極電(dian)(dian)子(zi)槍。其優點是(shi)(shi)燈絲價格較便(bian)宜，對真(zhen)空度要求(qiu)不高，缺點是(shi)(shi)鎢(wu)絲熱電(dian)(dian)子(zi)發射效率低，發射源直徑較大，即使經過二級(ji)或(huo)三級(ji)聚光鏡，在(zai)樣品(pin)表面上的(de)電(dian)(dian)子(zi)束(shu)(shu)斑直徑也在(zai)5-7nm，因此儀(yi)器分(fen)(fen)辨(bian)率受到限制。現在(zai)，高等級(ji)掃描電(dian)(dian)鏡采(cai)用(yong)六(liu)硼化(hua)鑭（LaB6）或(huo)場發射電(dian)(dian)子(zi)槍，使二次電(dian)(dian)子(zi)像的(de)分(fen)(fen)辨(bian)率達到2nm。但(dan)這種電(dian)(dian)子(zi)槍要求(qiu)很高的(de)真(zhen)空度。

（2）電磁透鏡

其(qi)作用主要是把電(dian)子(zi)槍的束(shu)斑(ban)逐漸縮小，是原(yuan)來直(zhi)徑約為(wei)50mm的束(shu)斑(ban)縮小成一(yi)個只有數nm的細小束(shu)斑(ban)。其(qi)工作原(yuan)理(li)與透射(she)電(dian)鏡(jing)中的電(dian)磁透鏡(jing)相同。

掃描電鏡(jing)(jing)(jing)一般有三個聚光(guang)(guang)鏡(jing)(jing)(jing)，前兩個透鏡(jing)(jing)(jing)是強透鏡(jing)(jing)(jing)，用來(lai)縮小電子束光(guang)(guang)斑尺(chi)寸。第三個聚光(guang)(guang)鏡(jing)(jing)(jing)是弱透鏡(jing)(jing)(jing)，具有較長(chang)的焦距(ju)，在該透鏡(jing)(jing)(jing)下(xia)方放置樣品(pin)可避免(mian)磁場(chang)對二次(ci)電子軌(gui)跡的干擾(rao)。

（3）掃描線圈

其作用是提供入(ru)射電子(zi)束(shu)在(zai)樣品表面上以(yi)及陰極射線(xian)管內(nei)電子(zi)束(shu)在(zai)熒(ying)光(guang)屏上的(de)同步掃(sao)(sao)描(miao)信號。改變入(ru)射電子(zi)束(shu)在(zai)樣品表面掃(sao)(sao)描(miao)振(zhen)幅(fu)，以(yi)獲(huo)得所(suo)需放(fang)大倍率(lv)的(de)掃(sao)(sao)描(miao)像(xiang)。掃(sao)(sao)描(miao)線(xian)圈試掃(sao)(sao)描(miao)點晶的(de)一(yi)個重要組件，它一(yi)般放(fang)在(zai)最后(hou)二透鏡之(zhi)間(jian)，也有(you)的(de)放(fang)在(zai)末(mo)級透鏡的(de)空間(jian)內(nei)。

（4）樣品室

樣(yang)(yang)品室中主(zhu)要(yao)部件(jian)是(shi)樣(yang)(yang)品臺(tai)。它出能(neng)進行(xing)三維(wei)空間的(de)移動(dong)，還能(neng)傾斜和轉動(dong)，樣(yang)(yang)品臺(tai)移動(dong)范圍一般可達(da)40毫米，傾斜范圍至少在50度(du)左右，轉動(dong)360度(du)。

樣品(pin)室中還要安(an)置各種型號檢(jian)(jian)測(ce)器。信(xin)號的收集效率和相(xiang)應檢(jian)(jian)測(ce)器的安(an)放位置有很(hen)大關系。樣品(pin)臺(tai)還可以帶有多種附(fu)件，例如樣品(pin)在樣品(pin)臺(tai)上加熱，冷卻或拉伸，可進(jin)行動態觀察。近年(nian)來，為適應斷口實物等(deng)大零件的需要，還開發(fa)了可放置尺寸(cun)在Φ125mm以上的大樣品(pin)臺(tai)。

2、信號檢測放大系統

其作用是檢(jian)測樣品在入射電子作用下產生的物理信(xin)號，然后經視(shi)頻放大(da)作為顯像系統的調(diao)制信(xin)號。

3、真空系統和電源系統

真空(kong)系統的(de)作用是為保證電(dian)子光學系統正常工作，防止樣品污染提(ti)供(gong)高的(de)真空(kong)度，一般情況(kuang)下要求保持(chi)10.4-10.5mmHg的(de)真空(kong)度。