一、有了光刻機就能造芯片?
其實光刻(ke)(ke)只(zhi)是半(ban)導體前道7大工藝(yi)環(huan)(huan)(huan)節(jie)(jie)(光刻(ke)(ke)、刻(ke)(ke)蝕、沉積、離子注入、清洗(xi)、氧化(hua)、檢測)中的一個(ge)環(huan)(huan)(huan)節(jie)(jie),雖然是最重要的環(huan)(huan)(huan)節(jie)(jie)之(zhi)一,但是離開(kai)了其他6個(ge)環(huan)(huan)(huan)節(jie)(jie)中的任(ren)何一個(ge)都不行(xing)。
集成(cheng)電路的制造工(gong)藝分為“三大”+“四小”工(gong)藝:
三大(75%):光刻(ke)、刻(ke)蝕、沉積;
四小(25%):清洗、氧(yang)化、檢測、離子注入。
一般情況下光刻占整條(tiao)產(chan)線設備投資(zi)的30%,與刻蝕機(25%)、PVD/CVD/ALD(25%)并列成為最(zui)重(zhong)(zhong)要的三大(da)前道(dao)設備之一,所以并不是有了光刻機就(jiu)能造芯(xin)片,光刻只(zhi)是芯(xin)片制造工藝流(liu)程(cheng)的中的一個(ge),還(huan)需要其他(ta)6大(da)前道(dao)工藝設備的支(zhi)撐,其重(zhong)(zhong)要程(cheng)度與光刻機同等重(zhong)(zhong)要。
二、光刻機刻一枚芯片需要多久
根據有關專家的介紹,芯片自身雖小,其制造工藝卻是極其復雜的過程,每一步都融合了諸多高科技技術,從專業角度介紹,芯片的制造要經過光刻、離子注入、時刻以及曝光等多重程序,其中光刻機主要(yao)在光刻(ke)這(zhe)一階(jie)段發(fa)揮作用。
由(you)于芯片自身體積很小(xiao),但是(shi)卻(que)要(yao)(yao)承載(zai)著巨大的功能,因此芯片的光刻階(jie)段(duan)也需要(yao)(yao)十分(fen)細致的操作,對于工作人員(yuan)的要(yao)(yao)求是(shi)十分(fen)精細的。
首先(xian)芯(xin)片(pian)的光刻需要(yao)用到高端的精密儀器進(jin)行操(cao)作(zuo),其(qi)次還(huan)需要(yao)工(gong)作(zuo)人員十分熟(shu)練。一旦發生一絲的失誤,極有(you)可能導致芯(xin)片(pian)的報廢,因(yin)此芯(xin)片(pian)在進(jin)入光刻階段之前(qian),其(qi)實還(huan)需要(yao)大量的準備工(gong)作(zuo)。
這就需(xu)要(yao)設計師事先將圖紙準備好,并且經受多種檢驗,這一過(guo)程(cheng)就需(xu)要(yao)耗費(fei)很長的時間,市場需(xu)要(yao)反復操(cao)作。
通過檢驗(yan)之后,才(cai)能夠進入芯(xin)片(pian)的(de)正式生(sheng)產過程,而真正光刻(ke)需要(yao)的(de)時間(jian)其實并沒(mei)有準(zhun)備時間(jian)那么長,另外隨著技術(shu)的(de)發展(zhan),相(xiang)信芯(xin)片(pian)制(zhi)造的(de)整個(ge)過程耗(hao)費的(de)時間(jian)還將會越來越短(duan)。