一、ITO靶材是什么材料

ITO靶材，全稱為氧化銦錫靶材，是電子信息工業領域的關鍵材料之一。氧化銦錫（英文全稱為Indium Tin Oxide，簡稱“ITO”），由氧化銦和氧化錫粉末按照一定比例混合后，經過一系列的生產工藝加工成型，再高溫燒結形成的黑灰色陶瓷半導體材料。薄薄的(de)氧(yang)化(hua)銦(yin)錫在(zai)可見光范圍內呈現透明(ming)狀。不過在(zai)紅外(wai)(wai)光線下，氧(yang)化(hua)銦(yin)錫層起著(zhu)不透明(ming)的(de)作用，反射紅外(wai)(wai)線。

氧化銦(yin)錫作為一種n型半導體材料，具有高的(de)導電(dian)率(lv)、優異的(de)可(ke)見光(guang)透(tou)過(guo)率(lv)、較強的(de)機械(xie)硬度和良好的(de)化學穩定性(xing)，主(zhu)要用于制作液晶顯(xian)示器(qi)、平板顯(xian)示器(qi)、等離子顯(xian)示器(qi)、觸(chu)摸屏、電(dian)子紙、有機發(fa)光(guang)二極管、太陽能電(dian)池、抗靜電(dian)鍍膜(mo)、EMI屏蔽(bi)的(de)透(tou)明傳導鍍、各種光(guang)學鍍膜(mo)等。

ITO靶材(cai)是濺射靶材(cai)中的一種，主要通(tong)過(guo)磁控濺射將ITO靶材(cai)氣化，濺鍍(du)到玻璃(li)基板或柔性有(you)機薄膜(mo)上，制造成ITO薄膜(mo)，后者(zhe)為(wei)透明導(dao)電氧化物薄膜(mo)，厚度一般為(wei)30-200納米。

該圖片由注冊用戶"天空之城"提供，版權聲明反饋

二、ITO靶材應用領域

1、平板顯示器（純度5N）

在平板顯示領域，ITO靶材主(zhu)要(yao)用于制作(zuo)ITO導電(dian)玻璃及(ji)觸控(kong)屏電(dian)極(ji)平板，是(shi)LCD、PDP、OLED、觸摸(mo)屏等各類平板顯示器件制備的核心材料。顯示面(mian)板一般涉及(ji)上下兩(liang)層ITO導電(dian)膜，用量(liang)較(jiao)大，ITO靶(ba)材是(shi)平板顯示領域(yu)用量(liang)最大的靶(ba)材之一。

ITO導電(dian)(dian)(dian)膜玻(bo)(bo)璃(li)(li)按電(dian)(dian)(dian)阻(zu)分為：高電(dian)(dian)(dian)阻(zu)玻(bo)(bo)璃(li)(li)（電(dian)(dian)(dian)阻(zu)范圍在150~500歐姆）、普通玻(bo)(bo)璃(li)(li)（電(dian)(dian)(dian)阻(zu)范圍在60~150歐姆）、低(di)電(dian)(dian)(dian)阻(zu)玻(bo)(bo)璃(li)(li)（電(dian)(dian)(dian)阻(zu)范圍小(xiao)于(yu)60歐姆）。其中(zhong)高電(dian)(dian)(dian)阻(zu)玻(bo)(bo)璃(li)(li)一(yi)般(ban)用于(yu)靜電(dian)(dian)(dian)防(fang)護(hu)、觸控屏幕制作用；普通玻(bo)(bo)璃(li)(li)一(yi)般(ban)用于(yu)TN類液晶顯(xian)示器(qi)和(he)電(dian)(dian)(dian)子抗干擾；低(di)電(dian)(dian)(dian)阻(zu)玻(bo)(bo)璃(li)(li)一(yi)般(ban)用于(yu)STN、TFT液晶顯(xian)示器(qi)和(he)透明線路板。

LCD面(mian)板組件總厚(hou)度(du)不到1公分，內部包含20多項材(cai)(cai)料(liao)及元件。不同類(lei)型LCD所(suo)需材(cai)(cai)料(liao)不盡相同，但基本結構類(lei)似，即在ITO導電(dian)(dian)膜(mo)(mo)玻璃內夾著(zhu)彩色濾光(guang)片、偏光(guang)板、配向膜(mo)(mo)等(deng)材(cai)(cai)料(liao)，灌入(ru)液(ye)晶(jing)(jing)材(cai)(cai)料(liao)，后封裝成(cheng)一個(ge)液(ye)晶(jing)(jing)盒(he)。因此，ITO導電(dian)(dian)膜(mo)(mo)玻璃作為LCD面(mian)板的(de)關(guan)鍵基礎材(cai)(cai)料(liao)，約(yue)占LCD面(mian)板材(cai)(cai)料(liao)成(cheng)本的(de)30%，而ITO靶材(cai)(cai)約(yue)占導電(dian)(dian)玻璃成(cheng)本的(de)20%。

2、薄膜太陽能電池（純度4N）

ITO是(shi)一(yi)種透明導(dao)電層(ceng)，在(zai)太陽(yang)能電池中作(zuo)為透光層(ceng)，同時(shi)作(zuo)為電極(ji)，一(yi)般為正極(ji)，另一(yi)個(ge)電極(ji)一(yi)般以(yi)金屬銀或鋁作(zuo)為背電極(ji)使(shi)用(yong)。ITO靶(ba)材主要(yao)用(yong)于生成(cheng)太陽(yang)能薄(bo)膜電池的背電極(ji)，主要(yao)需求為方形板狀靶(ba)材。

3、保溫透光領域

ITO透(tou)明(ming)導電(dian)(dian)膜玻(bo)璃作為(wei)面(mian)發熱體(ti)，通(tong)電(dian)(dian)后可以(yi)除冰(bing)霜，用(yong)(yong)于(yu)飛機擋(dang)風玻(bo)璃、飛機眩窗、激光測距儀、潛望鏡觀察(cha)窗等，多年來已得到(dao)了廣泛的應用(yong)(yong)。ITO透(tou)明(ming)導電(dian)(dian)膜玻(bo)璃正(zheng)反面(mian)具有(you)相反的紅(hong)外線通(tong)過(guo)及反射性能，玻(bo)璃正(zheng)面(mian)具有(you)優(you)良的紅(hong)外線通(tong)過(guo)性，衰減量極小(xiao)，而(er)反面(mian)又(you)具有(you)紅(hong)外線阻擋(dang)反射作用(yong)(yong)，因(yin)而(er)該(gai)種玻(bo)璃具有(you)優(you)良的保溫透(tou)光性能，已大(da)量用(yong)(yong)于(yu)制造冷藏(zang)柜(ju)，隨著成(cheng)本的降低將有(you)望用(yong)(yong)于(yu)房屋(wu)節能。