一、ITO靶材是什么材料

ITO靶材，全稱為氧化銦錫靶材，是電子信息工業領域的關鍵材料之一。氧化銦錫（英文全稱為Indium Tin Oxide，簡稱“ITO”），由氧化銦和氧化錫粉末按照一定比例混合后，經過一系列的生產工藝加工成型，再高溫燒結形成的黑灰色陶瓷半導體材料。薄薄的(de)氧化銦錫(xi)在(zai)可見(jian)光范圍(wei)內呈現透明狀(zhuang)。不過在(zai)紅外(wai)光線(xian)下(xia)，氧化銦錫(xi)層起著不透明的(de)作用(yong)，反射紅外(wai)線(xian)。

氧化(hua)銦(yin)錫作為一(yi)種(zhong)n型半(ban)導體(ti)材料，具有高(gao)的(de)導電(dian)(dian)率、優(you)異的(de)可(ke)見光透過率、較強的(de)機械硬度(du)和良(liang)好(hao)的(de)化(hua)學穩定性，主要用于制作液晶顯(xian)示(shi)器、平板顯(xian)示(shi)器、等離子顯(xian)示(shi)器、觸摸(mo)屏、電(dian)(dian)子紙(zhi)、有機發光二極管、太陽(yang)能(neng)電(dian)(dian)池、抗靜(jing)電(dian)(dian)鍍膜(mo)、EMI屏蔽的(de)透明傳導鍍、各種(zhong)光學鍍膜(mo)等。

ITO靶(ba)材是濺(jian)(jian)射靶(ba)材中的一(yi)種(zhong)，主要通過磁(ci)控濺(jian)(jian)射將(jiang)ITO靶(ba)材氣(qi)化，濺(jian)(jian)鍍到(dao)玻璃基板或柔(rou)性有機(ji)薄(bo)(bo)膜(mo)(mo)上，制造成(cheng)ITO薄(bo)(bo)膜(mo)(mo)，后(hou)者為(wei)(wei)透明導電(dian)氧化物薄(bo)(bo)膜(mo)(mo)，厚度一(yi)般為(wei)(wei)30-200納米。

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二、ITO靶材應用領域

1、平板顯示器（純度5N）

在平板顯示領域，ITO靶材主要用(yong)于制作(zuo)ITO導電玻璃及(ji)觸控屏電極平板，是LCD、PDP、OLED、觸摸(mo)屏等各類(lei)平板顯(xian)示(shi)器件制備的(de)核心材(cai)料。顯(xian)示(shi)面板一般涉(she)及(ji)上(shang)下兩層ITO導電膜，用(yong)量較大，ITO靶材(cai)是平板顯(xian)示(shi)領域用(yong)量最(zui)大的(de)靶材(cai)之一。

ITO導電(dian)(dian)膜玻璃(li)(li)(li)按電(dian)(dian)阻(zu)(zu)(zu)分為：高電(dian)(dian)阻(zu)(zu)(zu)玻璃(li)(li)(li)（電(dian)(dian)阻(zu)(zu)(zu)范(fan)(fan)圍(wei)在150~500歐姆(mu)(mu)）、普(pu)通玻璃(li)(li)(li)（電(dian)(dian)阻(zu)(zu)(zu)范(fan)(fan)圍(wei)在60~150歐姆(mu)(mu)）、低(di)電(dian)(dian)阻(zu)(zu)(zu)玻璃(li)(li)(li)（電(dian)(dian)阻(zu)(zu)(zu)范(fan)(fan)圍(wei)小于(yu)(yu)60歐姆(mu)(mu)）。其中高電(dian)(dian)阻(zu)(zu)(zu)玻璃(li)(li)(li)一(yi)般(ban)用(yong)于(yu)(yu)靜(jing)電(dian)(dian)防(fang)護(hu)、觸控屏幕(mu)制(zhi)作用(yong)；普(pu)通玻璃(li)(li)(li)一(yi)般(ban)用(yong)于(yu)(yu)TN類液晶顯(xian)示器(qi)和(he)(he)電(dian)(dian)子(zi)抗干擾；低(di)電(dian)(dian)阻(zu)(zu)(zu)玻璃(li)(li)(li)一(yi)般(ban)用(yong)于(yu)(yu)STN、TFT液晶顯(xian)示器(qi)和(he)(he)透明線路板。

LCD面板(ban)(ban)(ban)組件總厚(hou)度不(bu)(bu)到1公分，內部包含(han)20多(duo)項材(cai)(cai)料(liao)及元件。不(bu)(bu)同類(lei)型(xing)LCD所(suo)需材(cai)(cai)料(liao)不(bu)(bu)盡相同，但基(ji)(ji)本結構類(lei)似，即(ji)在ITO導電膜(mo)玻璃(li)(li)內夾(jia)著彩色濾光(guang)片、偏光(guang)板(ban)(ban)(ban)、配向膜(mo)等(deng)材(cai)(cai)料(liao)，灌入液(ye)晶(jing)材(cai)(cai)料(liao)，后封(feng)裝(zhuang)成一個液(ye)晶(jing)盒。因此，ITO導電膜(mo)玻璃(li)(li)作為LCD面板(ban)(ban)(ban)的(de)關鍵基(ji)(ji)礎材(cai)(cai)料(liao)，約占LCD面板(ban)(ban)(ban)材(cai)(cai)料(liao)成本的(de)30%，而ITO靶材(cai)(cai)約占導電玻璃(li)(li)成本的(de)20%。

2、薄膜太陽能電池（純度4N）

ITO是一種透(tou)(tou)明導電(dian)層(ceng)，在太(tai)陽能電(dian)池(chi)中作為(wei)透(tou)(tou)光(guang)層(ceng)，同(tong)時(shi)作為(wei)電(dian)極(ji)，一般(ban)(ban)為(wei)正極(ji)，另一個電(dian)極(ji)一般(ban)(ban)以金屬銀或鋁作為(wei)背電(dian)極(ji)使用。ITO靶(ba)材主(zhu)(zhu)要(yao)用于生成太(tai)陽能薄膜電(dian)池(chi)的背電(dian)極(ji)，主(zhu)(zhu)要(yao)需(xu)求為(wei)方形板狀靶(ba)材。

3、保溫透光領域

ITO透明導電膜玻(bo)璃(li)(li)作(zuo)為(wei)面(mian)發熱體，通電后可以除(chu)冰霜，用于(yu)飛(fei)(fei)機擋(dang)風玻(bo)璃(li)(li)、飛(fei)(fei)機眩窗(chuang)、激光(guang)測距儀、潛望(wang)鏡觀察窗(chuang)等，多年來已得到了(le)廣泛的(de)(de)應用。ITO透明導電膜玻(bo)璃(li)(li)正反(fan)(fan)面(mian)具(ju)(ju)(ju)有相反(fan)(fan)的(de)(de)紅(hong)外線(xian)通過及反(fan)(fan)射性能(neng)，玻(bo)璃(li)(li)正面(mian)具(ju)(ju)(ju)有優(you)良(liang)的(de)(de)紅(hong)外線(xian)通過性，衰減(jian)量極(ji)小，而反(fan)(fan)面(mian)又(you)具(ju)(ju)(ju)有紅(hong)外線(xian)阻擋(dang)反(fan)(fan)射作(zuo)用，因而該種玻(bo)璃(li)(li)具(ju)(ju)(ju)有優(you)良(liang)的(de)(de)保(bao)溫透光(guang)性能(neng)，已大(da)量用于(yu)制造(zao)冷藏(zang)柜，隨著成本的(de)(de)降低將有望(wang)用于(yu)房屋(wu)節能(neng)。