一、ITO靶材是什么材料

ITO靶材，全稱為氧化銦錫靶材，是電子信息工業領域的關鍵材料之一。氧化銦錫（英文全稱為Indium Tin Oxide，簡稱“ITO”），由氧化銦和氧化錫粉末按照一定比例混合后，經過一系列的生產工藝加工成型，再高溫燒結形成的黑灰色陶瓷半導體材料。薄薄的(de)氧(yang)化銦錫在可見光范圍(wei)內呈(cheng)現(xian)透明狀(zhuang)。不過在紅(hong)外光線下，氧(yang)化銦錫層起著不透明的(de)作用，反射紅(hong)外線。

氧化銦(yin)錫作為一種(zhong)n型半導體材料，具有(you)高的導電(dian)率、優(you)異的可見(jian)光(guang)(guang)(guang)透(tou)過率、較強的機械硬度和良好的化學穩定性，主要用(yong)于制作液晶顯(xian)示器(qi)(qi)、平板顯(xian)示器(qi)(qi)、等離子顯(xian)示器(qi)(qi)、觸摸屏、電(dian)子紙、有(you)機發光(guang)(guang)(guang)二(er)極管、太陽能電(dian)池、抗(kang)靜電(dian)鍍膜、EMI屏蔽的透(tou)明(ming)傳導鍍、各種(zhong)光(guang)(guang)(guang)學鍍膜等。

ITO靶材是濺(jian)射靶材中的(de)一種，主(zhu)要(yao)通過磁控(kong)濺(jian)射將ITO靶材氣化(hua)(hua)，濺(jian)鍍(du)到(dao)玻璃基(ji)板或柔性(xing)有機薄(bo)(bo)(bo)膜(mo)上，制造成ITO薄(bo)(bo)(bo)膜(mo)，后者為(wei)透明導(dao)電氧化(hua)(hua)物薄(bo)(bo)(bo)膜(mo)，厚度一般為(wei)30-200納米。

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二、ITO靶材應用領域

1、平板顯示器（純度5N）

在平板顯示領域，ITO靶材主(zhu)要用(yong)于制作(zuo)ITO導電(dian)玻璃(li)及觸(chu)控屏(ping)電(dian)極(ji)平板，是(shi)LCD、PDP、OLED、觸(chu)摸屏(ping)等(deng)各類平板顯示(shi)器件制備的(de)核(he)心材(cai)料。顯示(shi)面板一般涉及上下(xia)兩層ITO導電(dian)膜(mo)，用(yong)量(liang)較大，ITO靶材(cai)是(shi)平板顯示(shi)領域用(yong)量(liang)最大的(de)靶材(cai)之一。

ITO導電(dian)(dian)膜玻(bo)(bo)璃(li)(li)按電(dian)(dian)阻(zu)分為：高電(dian)(dian)阻(zu)玻(bo)(bo)璃(li)(li)（電(dian)(dian)阻(zu)范圍(wei)(wei)在150~500歐(ou)姆）、普(pu)通(tong)玻(bo)(bo)璃(li)(li)（電(dian)(dian)阻(zu)范圍(wei)(wei)在60~150歐(ou)姆）、低電(dian)(dian)阻(zu)玻(bo)(bo)璃(li)(li)（電(dian)(dian)阻(zu)范圍(wei)(wei)小于(yu)60歐(ou)姆）。其中高電(dian)(dian)阻(zu)玻(bo)(bo)璃(li)(li)一般用(yong)于(yu)靜(jing)電(dian)(dian)防護、觸控(kong)屏幕制作用(yong)；普(pu)通(tong)玻(bo)(bo)璃(li)(li)一般用(yong)于(yu)TN類液(ye)晶(jing)(jing)顯示器(qi)和電(dian)(dian)子抗干(gan)擾；低電(dian)(dian)阻(zu)玻(bo)(bo)璃(li)(li)一般用(yong)于(yu)STN、TFT液(ye)晶(jing)(jing)顯示器(qi)和透(tou)明線路板。

LCD面(mian)(mian)板組件總厚(hou)度(du)不到1公分，內部包含20多(duo)項材(cai)料(liao)及(ji)元件。不同類(lei)型LCD所需材(cai)料(liao)不盡相同，但基本(ben)結構類(lei)似，即(ji)在ITO導電膜(mo)玻(bo)璃內夾著彩色(se)濾光片、偏(pian)光板、配向膜(mo)等材(cai)料(liao)，灌入液晶(jing)材(cai)料(liao)，后封裝成(cheng)一個(ge)液晶(jing)盒。因此，ITO導電膜(mo)玻(bo)璃作為LCD面(mian)(mian)板的(de)關(guan)鍵基礎材(cai)料(liao)，約占(zhan)LCD面(mian)(mian)板材(cai)料(liao)成(cheng)本(ben)的(de)30%，而ITO靶材(cai)約占(zhan)導電玻(bo)璃成(cheng)本(ben)的(de)20%。

2、薄膜太陽能電池（純度4N）

ITO是一(yi)(yi)種透明(ming)導(dao)電(dian)層，在太陽能電(dian)池(chi)中(zhong)作為(wei)透光層，同時(shi)作為(wei)電(dian)極(ji)，一(yi)(yi)般為(wei)正極(ji)，另一(yi)(yi)個(ge)電(dian)極(ji)一(yi)(yi)般以金屬銀或鋁(lv)作為(wei)背(bei)(bei)電(dian)極(ji)使用。ITO靶材主(zhu)(zhu)要(yao)用于(yu)生成(cheng)太陽能薄(bo)膜電(dian)池(chi)的背(bei)(bei)電(dian)極(ji)，主(zhu)(zhu)要(yao)需求(qiu)為(wei)方形板狀靶材。

3、保溫透光領域

ITO透明導電膜玻璃(li)作為面發熱體，通(tong)電后可以除冰霜(shuang)，用于(yu)飛機(ji)擋風玻璃(li)、飛機(ji)眩窗、激光測距儀、潛望鏡觀(guan)察窗等(deng)，多年來(lai)已得到了廣泛(fan)的(de)應用。ITO透明導電膜玻璃(li)正反面具有(you)相反的(de)紅(hong)外線(xian)通(tong)過及反射(she)(she)性(xing)能(neng)，玻璃(li)正面具有(you)優良(liang)的(de)紅(hong)外線(xian)通(tong)過性(xing)，衰減量(liang)極小，而(er)反面又具有(you)紅(hong)外線(xian)阻擋反射(she)(she)作用，因而(er)該(gai)種玻璃(li)具有(you)優良(liang)的(de)保(bao)溫透光性(xing)能(neng)，已大量(liang)用于(yu)制造(zao)冷藏(zang)柜，隨著成本的(de)降(jiang)低將有(you)望用于(yu)房(fang)屋(wu)節能(neng)。