一、硅片清洗設備維修方法有哪些
1、換能器損壞：
分析：可能硅(gui)片清洗設備因長時(shi)間處于開機使(shi)用狀態，溫度會逐漸上升導致(zhi)膠體融化換(huan)(huan)能器脫落或換(huan)(huan)能器陶瓷部分斷裂。
檢測和解(jie)決：用搖表測量換能器的絕緣強度(du)，絕緣強度(du)在200MΩ以下已(yi)無(wu)法使用，須換新的換能器。
換能器的內(nei)部(bu)陶瓷也會由(you)于長(chang)期(qi)使(shi)用出現斷裂，使(shi)其不能正常(chang)工(gong)作。
2、硅片清洗設備的保險損壞：
在開機后(hou)如發(fa)現無(wu)電源顯(xian)示，無(wu)動(dong)作，首先要看(kan)電源座內保險(xian)是否損壞(huai)。
分析：有(you)可(ke)能是用(yong)戶接(jie)(jie)(jie)地線(xian)與(yu)火(huo)線(xian)或(huo)零(ling)線(xian)混用(yong)，并沒有(you)接(jie)(jie)(jie)地（本機地線(xian)是與(yu)機器外殼相連接(jie)(jie)(jie)），還有(you)可(ke)能是硅片清(qing)洗設備短路，元器件(jian)老化出現短路現象(xiang)，導致(zhi)保(bao)險損(sun)壞。
檢測和解(jie)決：拿出保險(xian)觀(guan)看，有無斷裂，用萬用表(biao)通斷檔(dang)測量是否斷開，更換新器件(jian)。
3、硅片清洗設備的功率管損壞：
分(fen)析：主板上的(de)功率管會因為(wei)超聲波(bo)清洗機(ji)長時間不間斷使用(yong)或清洗液體太少長時間使用(yong)，使功率管出現短(duan)路情況(kuang)。
檢測和解決：當(dang)功率管(guan)(guan)在主板上連接式，用萬用表測量功率管(guan)(guan)兩側管(guan)(guan)腳的阻值，正(zheng)常情(qing)況(kuang)下應在22Ω左右(you)。拿下功率管(guan)(guan)后（與主板斷開連接），測量其各(ge)個管(guan)(guan)腳間應是不通的。
二、硅片清洗設備怎么保養
硅片清洗的重要性想必大家是很清楚的，而清洗后硅片表面的各種性能在一定程度上又由清洗設備本身決定，因此，對硅片清洗設備的日常(chang)監控(kong)和維護就尤(you)為重要(yao)。
1、進(jin)行(xing)(xing)日常的(de)(de)生產(chan)時，首先需準備少量潔凈的(de)(de)硅(gui)片(pian)（如10片(pian)），每天在(zai)進(jin)行(xing)(xing)正常的(de)(de)硅(gui)片(pian)清(qing)洗前，對該10個桂片(pian)進(jin)行(xing)(xing)清(qing)洗，且在(zai)清(qing)洗前后對該硅(gui)片(pian)進(jin)行(xing)(xing)表面顆(ke)粒的(de)(de)檢(jian)測(ce)，然后對測(ce)試(shi)結果(guo)進(jin)行(xing)(xing)分析。
如果(guo)發現(xian)清(qing)洗(xi)后硅片(pian)表(biao)面的(de)顆粒(li)數跟金屬沾污較(jiao)清(qing)洗(xi)前減少(shao)或無明顯變(bian)化，則表(biao)面清(qing)洗(xi)設備工作(zuo)正常(chang)，可以(yi)進(jin)行正常(chang)的(de)硅片(pian)清(qing)洗(xi)；如果(guo)發現(xian)清(qing)洗(xi)后硅片(pian)表(biao)面顆粒(li)數跟金屬沾污較(jiao)清(qing)洗(xi)前明顯增加，則表(biao)明清(qing)洗(xi)機工作(zuo)異常(chang)，需進(jin)行相應(ying)的(de)維(wei)護。
針(zhen)對此工作也可以根據生產的(de)具體情況對其即進行SPC控制(zhi)，即：顆(ke)(ke)粒去除數=清洗(xi)后顆(ke)(ke)粒數-清洗(xi)前顆(ke)(ke)粒數
2、硅(gui)片在清洗(xi)過程中，如發現硅(gui)片表面顆(ke)粒跟金屬(shu)沾污(wu)超標，則需進行(xing)如下處理：
（1）將各槽(cao)中(zhong)原液排(pai)干，用DI水將槽(cao)子沖洗一次(ci)，然(ran)后將槽(cao)中(zhong)水排(pai)盡。
（2）加(jia)(jia)(jia)入(ru)少(shao)許（lgallon）DI水，然(ran)后加(jia)(jia)(jia)入(ru)lgal-lonH2O2，再加(jia)(jia)(jia)入(ru)少(shao)許DI水，然(ran)后加(jia)(jia)(jia)工(gong)入(ru)lgallonNH4OH，再加(jia)(jia)(jia)DI水至槽(cao)滿。如果是(shi)工(gong)藝槽(cao)，則(ze)(ze)讓混合液循環(huan)2h，否則(ze)(ze)靜置2h。
（3）將槽中液(ye)排(pai)盡(jin)，用DI水再次沖洗槽子一次，將槽液(ye)排(pai)盡(jin)。
（4）重新(xin)對清洗設備(bei)進(jin)行(xing)測試。
