一、硅片清洗設備維修方法有哪些
1、換能器損壞：
分析：可能硅片清(qing)洗設備因長時間處(chu)于開機使用狀態，溫度(du)會逐漸上升導致膠體(ti)融化換能器(qi)(qi)脫落或換能器(qi)(qi)陶瓷部分斷(duan)裂。
檢測和解決：用搖(yao)表測量換(huan)能器的絕(jue)緣強度，絕(jue)緣強度在200MΩ以下已無(wu)法使用，須換(huan)新的換(huan)能器。
換能器(qi)的內部(bu)陶瓷也會由于長期使(shi)(shi)用出現斷裂，使(shi)(shi)其不能正常工(gong)作。
2、硅片清洗設備的保險損壞：
在開機(ji)后如(ru)發現無電源顯示(shi)，無動作，首先(xian)要看(kan)電源座內保險是(shi)否損(sun)壞。
分析：有(you)可(ke)(ke)能(neng)是用戶接地線(xian)與火線(xian)或零線(xian)混用，并沒有(you)接地（本機地線(xian)是與機器(qi)外殼相連接），還(huan)有(you)可(ke)(ke)能(neng)是硅片(pian)清洗(xi)設備短路(lu)，元器(qi)件(jian)老化出現短路(lu)現象(xiang)，導致保險損壞。
檢測(ce)和解(jie)決：拿出保險觀看，有無斷(duan)裂，用(yong)萬用(yong)表通(tong)斷(duan)檔測(ce)量(liang)是(shi)否斷(duan)開(kai)，更(geng)換新器件。
3、硅片清洗設備的功率管損壞：
分析(xi)：主板上的功率管(guan)會(hui)因為超(chao)聲(sheng)波清洗機長時(shi)(shi)間不間斷使用(yong)或清洗液體太少(shao)長時(shi)(shi)間使用(yong)，使功率管(guan)出(chu)現短路(lu)情況。
檢測(ce)和解決(jue)：當功率管(guan)在主板上連接(jie)(jie)式，用(yong)萬(wan)用(yong)表測(ce)量功率管(guan)兩側管(guan)腳的阻值，正(zheng)常情況下應在22Ω左右。拿下功率管(guan)后（與(yu)主板斷開連接(jie)(jie)），測(ce)量其各個管(guan)腳間應是不通(tong)的。
二、硅片清洗設備怎么保養
硅片清洗的重要性想必大家是很清楚的，而清洗后硅片表面的各種性能在一定程度上又由清洗設備本身決定，因此，對硅片清洗(xi)設備的日常(chang)監(jian)控和維(wei)護就尤為重要(yao)。
1、進行(xing)(xing)日常(chang)的生產(chan)時，首(shou)先需準備少量潔凈的硅(gui)片(pian)（如10片(pian)），每天(tian)在進行(xing)(xing)正常(chang)的硅(gui)片(pian)清(qing)洗(xi)前(qian)，對該10個桂片(pian)進行(xing)(xing)清(qing)洗(xi)，且在清(qing)洗(xi)前(qian)后對該硅(gui)片(pian)進行(xing)(xing)表(biao)面顆(ke)粒的檢測，然后對測試結果進行(xing)(xing)分析。
如(ru)果發現(xian)清洗后硅片(pian)表(biao)面(mian)的顆(ke)粒數跟金屬(shu)沾污較(jiao)清洗前減少(shao)或無明(ming)顯(xian)變化，則(ze)表(biao)面(mian)清洗設備工作正常(chang)，可以進(jin)(jin)行(xing)正常(chang)的硅片(pian)清洗；如(ru)果發現(xian)清洗后硅片(pian)表(biao)面(mian)顆(ke)粒數跟金屬(shu)沾污較(jiao)清洗前明(ming)顯(xian)增加，則(ze)表(biao)明(ming)清洗機工作異(yi)常(chang)，需進(jin)(jin)行(xing)相應的維護。
針對此工(gong)作也可以根據生產的(de)具體情況(kuang)對其(qi)即進行SPC控制(zhi)，即：顆粒(li)去除數=清(qing)(qing)洗后顆粒(li)數-清(qing)(qing)洗前顆粒(li)數
2、硅片在清洗過(guo)程(cheng)中，如發(fa)現硅片表面顆粒跟金屬(shu)沾(zhan)污(wu)超標，則需進行如下(xia)處理：
（1）將各槽(cao)中(zhong)原液(ye)排(pai)干，用DI水(shui)將槽(cao)子(zi)沖洗(xi)一次，然后將槽(cao)中(zhong)水(shui)排(pai)盡。
（2）加(jia)入(ru)少(shao)許（lgallon）DI水，然后加(jia)入(ru)lgal-lonH2O2，再加(jia)入(ru)少(shao)許DI水，然后加(jia)工入(ru)lgallonNH4OH，再加(jia)DI水至槽(cao)滿。如(ru)果是工藝槽(cao)，則讓混合液循環2h，否則靜置2h。
（3）將槽中液排(pai)(pai)盡(jin)，用DI水再次沖洗(xi)槽子一次，將槽液排(pai)(pai)盡(jin)。
（4）重新對清洗設備進(jin)行測試。
