一、硅片清洗設備維修方法有哪些
1、換能器損壞：
分(fen)析：可能硅片清洗設備因(yin)長時間處于(yu)開(kai)機使用狀態，溫度會(hui)逐漸上(shang)升導(dao)致膠體融化換(huan)能器脫落或換(huan)能器陶瓷部分(fen)斷裂。
檢測和解(jie)決：用搖表測量換(huan)能器的絕(jue)(jue)緣(yuan)強度(du)，絕(jue)(jue)緣(yuan)強度(du)在200MΩ以下(xia)已無法使用，須換(huan)新的換(huan)能器。
換能器的內部陶(tao)瓷也會(hui)由于長期(qi)使用出現斷裂，使其不(bu)能正常(chang)工作。
2、硅片清洗設備的保險損壞：
在開機后如發現無電源顯示，無動(dong)作，首先要看(kan)電源座內保(bao)險是否損壞。
分析：有可能(neng)是(shi)(shi)用(yong)戶接地(di)(di)線(xian)(xian)與火線(xian)(xian)或零線(xian)(xian)混用(yong)，并沒有接地(di)(di)（本機地(di)(di)線(xian)(xian)是(shi)(shi)與機器外殼相連接），還有可能(neng)是(shi)(shi)硅(gui)片清洗(xi)設備短路(lu)，元器件(jian)老化出現短路(lu)現象，導致保險損(sun)壞。
檢測和解決(jue)：拿出保險觀看，有無斷(duan)裂，用(yong)萬用(yong)表通斷(duan)檔測量是否斷(duan)開，更換新器件。
3、硅片清洗設備的功率管損壞：
分析：主板(ban)上的功率管(guan)會因(yin)為超聲波(bo)清洗機長(chang)時間(jian)不(bu)間(jian)斷使用或清洗液體太(tai)少(shao)長(chang)時間(jian)使用，使功率管(guan)出現(xian)短路(lu)情況。
檢測(ce)(ce)和解決(jue)：當功(gong)率(lv)管在主(zhu)板上連接式，用萬用表測(ce)(ce)量(liang)功(gong)率(lv)管兩側管腳的(de)阻(zu)值，正常情(qing)況下應在22Ω左右。拿(na)下功(gong)率(lv)管后（與主(zhu)板斷開連接），測(ce)(ce)量(liang)其各個管腳間應是不通的(de)。
二、硅片清洗設備怎么保養
硅片清洗的重要性想必大家是很清楚的，而清洗后硅片表面的各種性能在一定程度上又由清洗設備本身決定，因此，對硅片清洗設備的日常監控(kong)和維護就尤為重(zhong)要(yao)。
1、進(jin)行(xing)日常的生產時，首(shou)先(xian)需準備少量潔(jie)凈的硅(gui)片（如(ru)10片），每天在進(jin)行(xing)正常的硅(gui)片清洗(xi)前(qian)，對(dui)該(gai)10個桂片進(jin)行(xing)清洗(xi)，且在清洗(xi)前(qian)后對(dui)該(gai)硅(gui)片進(jin)行(xing)表面顆粒的檢測，然后對(dui)測試(shi)結果(guo)進(jin)行(xing)分析。
如(ru)果發現(xian)清(qing)洗(xi)(xi)后硅片表(biao)(biao)面的顆粒(li)數跟金屬(shu)(shu)沾污較(jiao)清(qing)洗(xi)(xi)前(qian)減(jian)少(shao)或(huo)無明(ming)顯變化，則表(biao)(biao)面清(qing)洗(xi)(xi)設備工(gong)作正常(chang)(chang)，可以進行正常(chang)(chang)的硅片清(qing)洗(xi)(xi)；如(ru)果發現(xian)清(qing)洗(xi)(xi)后硅片表(biao)(biao)面顆粒(li)數跟金屬(shu)(shu)沾污較(jiao)清(qing)洗(xi)(xi)前(qian)明(ming)顯增加，則表(biao)(biao)明(ming)清(qing)洗(xi)(xi)機工(gong)作異常(chang)(chang)，需進行相應的維護。
針(zhen)對(dui)此工作(zuo)也(ye)可(ke)以根據生(sheng)產的具(ju)體情況(kuang)對(dui)其即(ji)進行SPC控制，即(ji)：顆粒去除數=清洗后顆粒數-清洗前顆粒數
2、硅(gui)片在清洗過程中(zhong)，如發現硅(gui)片表面顆(ke)粒(li)跟金屬沾污超(chao)標，則(ze)需進行如下處理：
（1）將各槽(cao)中原液排干，用DI水將槽(cao)子沖洗一次(ci)，然后將槽(cao)中水排盡。
（2）加入少(shao)許（lgallon）DI水，然后加入lgal-lonH2O2，再(zai)加入少(shao)許DI水，然后加工(gong)入lgallonNH4OH，再(zai)加DI水至槽(cao)(cao)滿。如果是工(gong)藝(yi)槽(cao)(cao)，則讓混合液(ye)循環2h，否則靜置2h。
（3）將槽中(zhong)液排盡，用DI水再次(ci)沖洗槽子一(yi)次(ci)，將槽液排盡。
（4）重新(xin)對清洗設備進(jin)行測(ce)試。
