一、硅片清洗設備維修方法有哪些
1、換能器損壞：
分析：可(ke)能硅片清洗設備(bei)因長(chang)時間處(chu)于開機使用狀態，溫度會逐(zhu)漸(jian)上升導致(zhi)膠體融化(hua)換能器脫落或換能器陶瓷(ci)部分斷裂。
檢(jian)測(ce)和解決：用搖表測(ce)量(liang)換能(neng)器的(de)絕緣強(qiang)度(du)(du)，絕緣強(qiang)度(du)(du)在200MΩ以下已無法使用，須換新的(de)換能(neng)器。
換(huan)能器的內部陶瓷(ci)也會(hui)由于長(chang)期使(shi)用出現斷(duan)裂，使(shi)其不(bu)能正常工作。
2、硅片清洗設備的保險損壞：
在(zai)開機后如(ru)發現無電(dian)源顯(xian)示，無動作(zuo)，首先要看電(dian)源座內保險是否損壞。
分析：有可(ke)能是(shi)用(yong)戶接(jie)地(di)線(xian)與火(huo)線(xian)或零線(xian)混用(yong)，并沒有接(jie)地(di)（本機地(di)線(xian)是(shi)與機器外殼(ke)相連接(jie)），還(huan)有可(ke)能是(shi)硅片清(qing)洗(xi)設備短(duan)路，元器件老化出現短(duan)路現象，導致保險損壞。
檢(jian)測(ce)和解決：拿(na)出保險(xian)觀看(kan)，有(you)無斷(duan)裂，用(yong)萬用(yong)表(biao)通斷(duan)檔測(ce)量(liang)是否斷(duan)開，更換新(xin)器件。
3、硅片清洗設備的功率管損壞：
分析：主(zhu)板上的功率管會(hui)因為超(chao)聲波清洗機長時間不間斷使(shi)用(yong)或(huo)清洗液體太少(shao)長時間使(shi)用(yong)，使(shi)功率管出現短路情況(kuang)。
檢測和解決：當(dang)功(gong)率管(guan)(guan)(guan)在(zai)主(zhu)板上連接式，用(yong)萬(wan)用(yong)表測量(liang)功(gong)率管(guan)(guan)(guan)兩(liang)側(ce)管(guan)(guan)(guan)腳(jiao)的阻(zu)值(zhi)，正常情況下應在(zai)22Ω左右。拿(na)下功(gong)率管(guan)(guan)(guan)后（與(yu)主(zhu)板斷開連接），測量(liang)其各個管(guan)(guan)(guan)腳(jiao)間應是不通的。
二、硅片清洗設備怎么保養
硅片清洗的重要性想必大家是很清楚的，而清洗后硅片表面的各種性能在一定程度上又由清洗設備本身決定，因此，對硅片清洗(xi)設備的日常監(jian)控和(he)維護就尤為(wei)重要。
1、進(jin)行日常的(de)生產(chan)時(shi)，首先(xian)需準備少量潔凈的(de)硅(gui)(gui)片(pian)（如10片(pian)），每天在(zai)進(jin)行正常的(de)硅(gui)(gui)片(pian)清洗前(qian)，對(dui)該(gai)10個(ge)桂片(pian)進(jin)行清洗，且在(zai)清洗前(qian)后對(dui)該(gai)硅(gui)(gui)片(pian)進(jin)行表面顆(ke)粒(li)的(de)檢測(ce)(ce)，然后對(dui)測(ce)(ce)試結果進(jin)行分析。
如(ru)果發現清(qing)(qing)洗(xi)(xi)后硅片表(biao)(biao)面的顆粒數(shu)跟金(jin)屬(shu)沾污(wu)較清(qing)(qing)洗(xi)(xi)前減少或(huo)無明顯變化，則表(biao)(biao)面清(qing)(qing)洗(xi)(xi)設備工(gong)作正常，可(ke)以進行(xing)正常的硅片清(qing)(qing)洗(xi)(xi)；如(ru)果發現清(qing)(qing)洗(xi)(xi)后硅片表(biao)(biao)面顆粒數(shu)跟金(jin)屬(shu)沾污(wu)較清(qing)(qing)洗(xi)(xi)前明顯增加，則表(biao)(biao)明清(qing)(qing)洗(xi)(xi)機工(gong)作異常，需進行(xing)相應的維護。
針對此工作也可以根(gen)據(ju)生產(chan)的具體情況(kuang)對其(qi)即(ji)進行SPC控(kong)制，即(ji)：顆(ke)粒去除數(shu)=清洗后顆(ke)粒數(shu)-清洗前顆(ke)粒數(shu)
2、硅(gui)片在清洗過程中，如(ru)發現硅(gui)片表面(mian)顆粒跟金屬沾污超標，則需進(jin)行如(ru)下處理(li)：
（1）將各槽中原液(ye)排干，用DI水將槽子沖洗一次，然后將槽中水排盡(jin)。
（2）加(jia)入(ru)少許（lgallon）DI水(shui)，然(ran)后加(jia)入(ru)lgal-lonH2O2，再加(jia)入(ru)少許DI水(shui)，然(ran)后加(jia)工入(ru)lgallonNH4OH，再加(jia)DI水(shui)至(zhi)槽(cao)滿(man)。如果(guo)是工藝(yi)槽(cao)，則讓混合液(ye)循環(huan)2h，否則靜置2h。
（3）將槽中液排盡(jin)，用DI水再(zai)次沖洗(xi)槽子一次，將槽液排盡(jin)。
（4）重新對清洗設備進行測(ce)試。
