一、硅片清洗機工作原理是什么
硅(gui)片清(qing)(qing)洗(xi)機是利用超聲波(bo)(bo)清(qing)(qing)洗(xi)技術,在清(qing)(qing)洗(xi)過程(cheng)中超聲波(bo)(bo)頻率(lv)在合理的范(fan)圍(wei)內往復掃動,帶動清(qing)(qing)洗(xi)液形成(cheng)細微回流,使工件(jian)污(wu)垢在被超聲剝離(li)的同時(shi)迅(xun)速(su)帶離(li)工件(jian)表面,提高清(qing)(qing)洗(xi)效率(lv)。
具體(ti)的原理有以(yi)下:
1、真空脫氣(qi),有(you)效(xiao)去除液體中氣(qi)體,且運用(yong)拋(pao)動功能,增強超(chao)聲(sheng)對工(gong)件(jian)表面油污(wu)(wu)和(he)污(wu)(wu)垢的清(qing)洗能力(li),縮(suo)短清(qing)洗時間。
2、洗籃轉動機構,重(zhong)疊不可分(fen)拆的零(ling)件或(huo)形狀(zhuang)復雜(za)的零(ling)件,也可做到均勻完(wan)整的清洗。
3、減(jian)壓真空(kong)系(xi)統,能吸出盲孔、縫(feng)隙(xi)及疊(die)加(jia)零(ling)件之間的空(kong)氣(qi),使超聲(sheng)波在減(jian)壓的狀(zhuang)態下產生驚人的清洗(xi)效果。
4、真空(kong)蒸汽(qi)清洗(xi)(xi)+真空(kong)干燥系統,利用(yong)蒸汽(qi)洗(xi)(xi)凈做(zuo)養(yang)護,完美(mei)實現清洗(xi)(xi)效果。
5、蒸(zheng)汽清洗、干燥(zao)及清洗液加熱的全過程在(zai)減壓真空中進(jin)行,更有效地確(que)保了安全性。
6、防爆配件及簡(jian)潔加熱系統,進(jin)一步提高安(an)全度。
二、硅片清洗機操作說明
1、欲清洗工件放(fang)入(ru)料(liao)(liao)框內(nei)專(zhuan)用固定(ding)夾內(nei),由人工將(jiang)料(liao)(liao)框放(fang)上(shang)入(ru)料(liao)(liao)口(kou),等工位機械手自(zi)動將(jiang)料(liao)(liao)框送(song)入(ru)清洗機本體,上(shang)下提升機構(gou)依照PLC指定(ding)的(de)程序將(jiang)料(liao)(liao)框搬送(song)到相應高度位置。
2、完(wan)成(cheng)對工件(jian)的(de)清洗、噴淋(lin)、漂洗、慢(man)提(ti)拉脫(tuo)水(shui)和(he)熱(re)風干燥后(hou)、送至(zhi)清洗機出口,運(yun)送到卸料臺出料,等工位機械手由氣缸橫(heng)向(xiang)驅動,直(zhi)線滑軌(gui)導向(xiang)。
3、上(shang)(shang)下提(ti)(ti)升(sheng)由(you)馬達驅(qu)動,直線(xian)導軸導向,慢提(ti)(ti)拉提(ti)(ti)升(sheng)機構由(you)變頻(pin)馬達驅(qu)動,直線(xian)滑塊(kuai)導向,上(shang)(shang)下料(liao)由(you)上(shang)(shang)下提(ti)(ti)升(sheng)機構獨立完(wan)成,采用觸(chu)摸屏(ping)操(cao)作(zuo)系統(tong),有手動和自動切換開關及(ji)有關操(cao)作(zuo)按鈕,能對(dui)整個運行過程(cheng)實行控制。