一、硅片清洗機工作原理是什么
硅片清(qing)(qing)洗(xi)(xi)機(ji)是利用超聲(sheng)波清(qing)(qing)洗(xi)(xi)技術，在清(qing)(qing)洗(xi)(xi)過程中超聲(sheng)波頻率在合理的(de)范圍(wei)內往復掃動，帶動清(qing)(qing)洗(xi)(xi)液(ye)形成細微回(hui)流，使(shi)工件(jian)污(wu)垢在被超聲(sheng)剝離的(de)同(tong)時迅速帶離工件(jian)表面，提高(gao)清(qing)(qing)洗(xi)(xi)效率。
具體的原理有(you)以下：
1、真空脫氣(qi)，有(you)效去除液體中(zhong)氣(qi)體，且運(yun)用拋動功能，增(zeng)強(qiang)超(chao)聲對工件表(biao)面(mian)油污和污垢的清洗能力，縮短清洗時間。
2、洗(xi)籃(lan)轉動機構，重疊不可分拆的(de)(de)零件或形狀復雜的(de)(de)零件，也可做到(dao)均勻完整的(de)(de)清洗(xi)。
3、減(jian)壓真空系統，能吸出盲孔、縫隙及疊加零(ling)件之(zhi)間的空氣，使(shi)超聲波在減(jian)壓的狀態下產生驚人(ren)的清洗效果。
4、真空蒸汽(qi)清洗+真空干燥(zao)系統，利用(yong)蒸汽(qi)洗凈做養護，完美實現(xian)清洗效果。
5、蒸汽清洗、干燥及清洗液加(jia)熱的全(quan)過程在減(jian)壓真空(kong)中進行(xing)，更有效(xiao)地確(que)保了安(an)全(quan)性。
6、防爆配(pei)件及(ji)簡潔加熱系(xi)統，進一步提高安全度(du)。
二、硅片清洗機操作說明
1、欲清洗工(gong)件放入(ru)料框(kuang)內專用固(gu)定夾內，由人(ren)工(gong)將(jiang)(jiang)料框(kuang)放上(shang)入(ru)料口，等工(gong)位機械手(shou)自動(dong)將(jiang)(jiang)料框(kuang)送入(ru)清洗機本體，上(shang)下提升機構(gou)依照PLC指定的程(cheng)序將(jiang)(jiang)料框(kuang)搬送到相應高度(du)位置。
2、完成對工件(jian)的清(qing)洗、噴淋(lin)、漂洗、慢提(ti)拉脫(tuo)水和熱風干(gan)燥后(hou)、送(song)(song)至清(qing)洗機出(chu)(chu)口，運送(song)(song)到卸(xie)料臺出(chu)(chu)料，等工位(wei)機械手由(you)氣缸橫向驅動，直線滑軌導向。
3、上(shang)下(xia)提(ti)(ti)升(sheng)由馬達驅(qu)動(dong)，直線導(dao)軸(zhou)導(dao)向，慢提(ti)(ti)拉提(ti)(ti)升(sheng)機(ji)構(gou)由變頻馬達驅(qu)動(dong)，直線滑塊(kuai)導(dao)向，上(shang)下(xia)料由上(shang)下(xia)提(ti)(ti)升(sheng)機(ji)構(gou)獨(du)立完成，采(cai)用觸摸(mo)屏操作(zuo)系(xi)統，有手(shou)動(dong)和自(zi)動(dong)切換(huan)開關及有關操作(zuo)按鈕(niu)，能(neng)對整個運(yun)行(xing)過程實行(xing)控(kong)制。
