一、硅片清洗機工作原理是什么
硅片(pian)清洗(xi)機是利用超(chao)聲波清洗(xi)技術，在清洗(xi)過程中超(chao)聲波頻率在合(he)理的(de)范(fan)圍內(nei)往復掃動，帶動清洗(xi)液形成(cheng)細微回流(liu)，使工(gong)件(jian)污(wu)垢(gou)在被超(chao)聲剝離的(de)同時迅速(su)帶離工(gong)件(jian)表(biao)面(mian)，提高(gao)清洗(xi)效率。
具(ju)體的原(yuan)理有以下：
1、真(zhen)空(kong)脫(tuo)氣，有(you)效去除液體中(zhong)氣體，且運用拋(pao)動功能(neng)，增強超聲對工件表面油污和污垢的清(qing)洗能(neng)力，縮(suo)短清(qing)洗時間。
2、洗(xi)籃轉(zhuan)動(dong)機構，重疊不可(ke)分拆的(de)(de)零(ling)件或形(xing)狀復雜的(de)(de)零(ling)件，也(ye)可(ke)做到均勻完(wan)整的(de)(de)清(qing)洗(xi)。
3、減壓真(zhen)空(kong)系統，能吸(xi)出盲孔、縫(feng)隙及疊加零件之間的(de)空(kong)氣，使(shi)超聲波(bo)在減壓的(de)狀態(tai)下產生驚人的(de)清洗效(xiao)果(guo)。
4、真空蒸(zheng)汽清洗+真空干燥系統，利用蒸(zheng)汽洗凈做(zuo)養護，完美實現清洗效果。
5、蒸汽清(qing)洗(xi)、干燥及清(qing)洗(xi)液加熱(re)的全過程在減(jian)壓真空(kong)中進(jin)行(xing)，更有效地確保了安全性(xing)。
6、防(fang)爆配件及簡潔加熱系統，進一步提高安(an)全度。
二、硅片清洗機操作說明
1、欲清洗工件放入(ru)料框(kuang)內專用固定夾內，由(you)人工將(jiang)料框(kuang)放上(shang)入(ru)料口，等(deng)工位機械手自動(dong)將(jiang)料框(kuang)送入(ru)清洗機本體，上(shang)下(xia)提升機構依(yi)照PLC指定的(de)程序將(jiang)料框(kuang)搬(ban)送到相(xiang)應高(gao)度(du)位置(zhi)。
2、完成對工(gong)(gong)件(jian)的清洗、噴(pen)淋、漂洗、慢提拉脫水和熱風(feng)干燥后、送(song)至清洗機出(chu)口，運送(song)到卸(xie)料(liao)臺(tai)出(chu)料(liao)，等工(gong)(gong)位機械手由氣缸橫向驅動，直(zhi)線滑軌導向。
3、上下提(ti)升(sheng)由馬(ma)達驅動(dong)，直線導(dao)軸導(dao)向，慢提(ti)拉(la)提(ti)升(sheng)機(ji)構(gou)由變頻(pin)馬(ma)達驅動(dong)，直線滑塊導(dao)向，上下料由上下提(ti)升(sheng)機(ji)構(gou)獨立完成，采用觸摸屏操作(zuo)系統，有手動(dong)和自動(dong)切換開關及有關操作(zuo)按鈕，能(neng)對整個運行(xing)過程(cheng)實行(xing)控制。
