一、硅片清洗機工作原理是什么
硅片清洗(xi)機是利用超聲波(bo)清洗(xi)技術，在(zai)(zai)清洗(xi)過程中超聲波(bo)頻(pin)率(lv)在(zai)(zai)合理的范圍內往復掃動，帶動清洗(xi)液(ye)形(xing)成細微回流，使工(gong)(gong)件(jian)污垢在(zai)(zai)被超聲剝離的同時迅速帶離工(gong)(gong)件(jian)表面，提(ti)高清洗(xi)效率(lv)。
具體的原理有以下：
1、真空脫氣(qi)，有效去除液(ye)體中氣(qi)體，且運用(yong)拋動功能，增(zeng)強超聲(sheng)對工(gong)件表面油(you)污(wu)和污(wu)垢的清洗能力(li)，縮短(duan)清洗時(shi)間。
2、洗籃轉動機(ji)構，重(zhong)疊(die)不可分拆的零(ling)件或形狀(zhuang)復雜的零(ling)件，也可做到均勻完整的清洗。
3、減壓真空系(xi)統，能吸出盲(mang)孔、縫隙及疊加零件之間(jian)的空氣，使(shi)超聲波(bo)在減壓的狀(zhuang)態下產生驚人的清洗(xi)效果。
4、真空蒸汽(qi)清洗+真空干燥系(xi)統，利用蒸汽(qi)洗凈做養(yang)護，完美實現清洗效(xiao)果。
5、蒸汽清(qing)洗、干燥及清(qing)洗液加熱的全過程在(zai)減壓真空中進行(xing)，更(geng)有效地確保了安全性。
6、防爆(bao)配(pei)件(jian)及(ji)簡潔加熱系(xi)統，進一步提高(gao)安全度。
二、硅片清洗機操作說明
1、欲清洗工件放入料(liao)框(kuang)(kuang)內專(zhuan)用固定夾內，由人工將料(liao)框(kuang)(kuang)放上入料(liao)口，等工位機械(xie)手自(zi)動(dong)將料(liao)框(kuang)(kuang)送(song)(song)入清洗機本體，上下提升機構依照PLC指定的程(cheng)序將料(liao)框(kuang)(kuang)搬(ban)送(song)(song)到(dao)相應(ying)高度位置。
2、完(wan)成(cheng)對工(gong)件的清(qing)洗(xi)(xi)、噴淋、漂(piao)洗(xi)(xi)、慢提拉脫水和(he)熱(re)風干燥后、送至清(qing)洗(xi)(xi)機(ji)出口，運送到卸料臺出料，等(deng)工(gong)位(wei)機(ji)械(xie)手由氣缸橫向驅(qu)動，直線(xian)滑軌導向。
3、上(shang)(shang)下(xia)提(ti)升由馬(ma)達(da)驅(qu)動(dong)，直線導(dao)軸導(dao)向，慢提(ti)拉提(ti)升機構(gou)由變頻馬(ma)達(da)驅(qu)動(dong)，直線滑塊導(dao)向，上(shang)(shang)下(xia)料由上(shang)(shang)下(xia)提(ti)升機構(gou)獨(du)立(li)完成，采用觸摸(mo)屏操作系統(tong)，有手動(dong)和自動(dong)切換開關(guan)及有關(guan)操作按鈕，能(neng)對整(zheng)個(ge)運(yun)行過程實(shi)行控制。
