一、濺射靶材是否屬于稀缺資源

稀(xi)有金(jin)屬，通常指在(zai)自然界中(zhong)含量較少(shao)或分布稀(xi)散的(de)金(jin)屬，它們難于(yu)從原料中(zhong)提取，在(zai)工(gong)業(ye)上制(zhi)備和應用較晚(wan)，但在(zai)現(xian)代工(gong)業(ye)中(zhong)有廣泛的(de)用途(tu)。中(zhong)國稀(xi)有金(jin)屬資源(yuan)豐富(fu)，如鎢、鈦(tai)、稀(xi)土、釩、鋯、鉭(tan)、鈮(ni)、鋰、鈹等已探明的(de)儲量，正在(zai)逐步建立稀(xi)有金(jin)屬工(gong)業(ye)體系。

稀有(you)輕金屬：包括鋰(li)Li、銣Rb、銫Cs、鈹Be。比重較小(xiao)，化(hua)學活(huo)性強。

稀有(you)難熔金屬：包(bao)括鈦、鋯、鉿、釩、鈮、鉭、鉬(mu)、鎢。熔點較高，與碳、氮(dan)、硅、硼等生成的化合物熔點也較高。

稀有分散金屬：簡(jian)稱稀散金屬，包括鎵、銦、鉈、鍺、錸以(yi)及硒、碲。大(da)部分賦存(cun)于其他元(yuan)素的礦物中。

稀有稀土(tu)金屬：簡稱稀土(tu)金屬，包括鈧、釔及鑭系(xi)元素。它們的化(hua)學性質非常(chang)相(xiang)似，在(zai)礦(kuang)物中相(xiang)互伴生。

稀有放射性金屬：包括天(tian)然存在(zai)的鈁、鐳、釙和錒系金屬中的錒、釷(tu)、鏷、鈾(you)，以及人工制造的锝、钷、錒系其他元(yuan)(yuan)素和104至107號元(yuan)(yuan)素。

上述(shu)分(fen)類不是十分(fen)嚴(yan)格的(de)(de)。有(you)些(xie)稀(xi)有(you)金(jin)屬(shu)既可(ke)以列(lie)入(ru)(ru)這一類又(you)可(ke)列(lie)入(ru)(ru)另一類。例(li)如錸可(ke)列(lie)入(ru)(ru)稀(xi)散(san)金(jin)屬(shu)也可(ke)列(lie)入(ru)(ru)稀(xi)有(you)難熔金(jin)屬(shu)。但是從(cong)上述(shu)描述(shu)中不難看出，有(you)些(xie)特殊應用的(de)(de)濺射靶(ba)材(cai)的(de)(de)金(jin)屬(shu)成(cheng)分(fen)的(de)(de)確屬(shu)于稀(xi)缺資源。

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二、貴金屬靶材可以回收再利用嗎

貴金屬靶材是可以回收再利用的，在加程中打穿的靶材或殘料什么(me)都(dou)是可(ke)以(yi)回(hui)收(shou)再利(li)用的(de)。比如金靶(ba)材、銀靶(ba)材、鈀靶(ba)材等都(dou)可(ke)以(yi)回(hui)收(shou)再利(li)用。以(yi)ITO銀靶(ba)材為例，生(sheng)產(chan)加工時銀靶(ba)材會被打穿，產(chan)生(sheng)的(de)絲(si)狀殘料這些都(dou)是可(ke)以(yi)回(hui)收(shou)再利(li)用的(de)，廢(fei)料上會沾(zhan)染(ran)少量的(de)銦，說是氧化用的(de)，這種銦元素(su)處理(li)一下就可(ke)以(yi)了。所以(yi)含金、銀、鈀、鉑、銠(lao)這些貴(gui)金屬(shu)的(de)靶(ba)材都(dou)可(ke)以(yi)回(hui)收(shou)再利(li)用的(de)，還有合金靶(ba)材之類的(de)。