一、濺射靶材是否屬于稀缺資源

稀有(you)(you)金屬(shu)，通(tong)常指(zhi)在自然界中(zhong)(zhong)(zhong)含(han)量(liang)較(jiao)少或分(fen)布稀散的(de)金屬(shu)，它們難于從原料中(zhong)(zhong)(zhong)提(ti)取(qu)，在工(gong)(gong)業上制備和應用(yong)(yong)較(jiao)晚(wan)，但在現代工(gong)(gong)業中(zhong)(zhong)(zhong)有(you)(you)廣泛的(de)用(yong)(yong)途(tu)。中(zhong)(zhong)(zhong)國稀有(you)(you)金屬(shu)資源豐(feng)富，如鎢、鈦、稀土、釩、鋯、鉭、鈮、鋰、鈹(pi)等已(yi)探明的(de)儲(chu)量(liang)，正在逐(zhu)步建立稀有(you)(you)金屬(shu)工(gong)(gong)業體系。

稀有輕金屬：包(bao)括鋰Li、銣(ru)Rb、銫(se)Cs、鈹Be。比重(zhong)較小(xiao)，化學(xue)活性強。

稀有難熔金屬：包括鈦(tai)、鋯、鉿、釩(fan)、鈮、鉭、鉬、鎢(wu)。熔點較(jiao)高(gao)，與碳、氮、硅(gui)、硼等(deng)生成的(de)化合物熔點也較(jiao)高(gao)。

稀有(you)分(fen)散(san)金(jin)屬(shu)：簡稱(cheng)稀散(san)金(jin)屬(shu)，包括鎵、銦、鉈、鍺、錸以及硒、碲。大(da)部(bu)分(fen)賦存于(yu)其(qi)他元素的礦物中。

稀(xi)有稀(xi)土(tu)(tu)金屬：簡稱稀(xi)土(tu)(tu)金屬，包括鈧、釔及鑭系元素。它們的化學(xue)性質(zhi)非常相(xiang)似，在礦物(wu)中相(xiang)互伴生。

稀有放射(she)性金屬(shu)：包括(kuo)天然存在的鈁、鐳、釙和(he)錒(a)系金屬(shu)中的錒(a)、釷(tu)、鏷、鈾，以及人工制造的锝、钷、錒(a)系其他(ta)元(yuan)素(su)和(he)104至107號元(yuan)素(su)。

上述(shu)分類不是十分嚴格的(de)(de)(de)。有些稀(xi)有金(jin)(jin)屬既可(ke)(ke)以(yi)列(lie)入(ru)(ru)這一類又可(ke)(ke)列(lie)入(ru)(ru)另一類。例如錸可(ke)(ke)列(lie)入(ru)(ru)稀(xi)散金(jin)(jin)屬也(ye)可(ke)(ke)列(lie)入(ru)(ru)稀(xi)有難(nan)(nan)熔金(jin)(jin)屬。但是從上述(shu)描述(shu)中不難(nan)(nan)看(kan)出(chu)，有些特殊(shu)應(ying)用的(de)(de)(de)濺射靶材的(de)(de)(de)金(jin)(jin)屬成分的(de)(de)(de)確屬于稀(xi)缺資源。

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二、貴金屬靶材可以回收再利用嗎

貴金屬靶材是可以回收再利用的，在加程中打穿的靶材或殘料什么都(dou)是可(ke)以(yi)(yi)回(hui)收(shou)再利用的(de)。比如金靶(ba)(ba)(ba)材(cai)、銀靶(ba)(ba)(ba)材(cai)、鈀(ba)靶(ba)(ba)(ba)材(cai)等(deng)都(dou)可(ke)以(yi)(yi)回(hui)收(shou)再利用。以(yi)(yi)ITO銀靶(ba)(ba)(ba)材(cai)為例，生產(chan)加(jia)工時(shi)銀靶(ba)(ba)(ba)材(cai)會(hui)被打穿，產(chan)生的(de)絲狀殘料這(zhe)(zhe)些(xie)都(dou)是可(ke)以(yi)(yi)回(hui)收(shou)再利用的(de)，廢料上會(hui)沾染少量的(de)銦(yin)，說是氧化用的(de)，這(zhe)(zhe)種銦(yin)元素處理一下就可(ke)以(yi)(yi)了。所以(yi)(yi)含金、銀、鈀(ba)、鉑(bo)、銠這(zhe)(zhe)些(xie)貴金屬(shu)的(de)靶(ba)(ba)(ba)材(cai)都(dou)可(ke)以(yi)(yi)回(hui)收(shou)再利用的(de)，還有合金靶(ba)(ba)(ba)材(cai)之類(lei)的(de)。