一、濺射靶材是否屬于稀缺資源

稀(xi)有(you)(you)金屬(shu)，通常指在自然界中含量(liang)較少或分布稀(xi)散的(de)金屬(shu)，它們難(nan)于從原料中提(ti)取，在工業上制(zhi)備和(he)應(ying)用較晚，但在現(xian)代工業中有(you)(you)廣泛(fan)的(de)用途(tu)。中國(guo)稀(xi)有(you)(you)金屬(shu)資源豐(feng)富(fu)，如鎢、鈦、稀(xi)土、釩、鋯、鉭、鈮、鋰、鈹等(deng)已探(tan)明的(de)儲(chu)量(liang)，正在逐步建立稀(xi)有(you)(you)金屬(shu)工業體系。

稀(xi)有輕金屬：包(bao)括鋰Li、銣Rb、銫Cs、鈹Be。比重(zhong)較小(xiao)，化學活(huo)性(xing)強。

稀(xi)有難熔(rong)金屬：包括(kuo)鈦、鋯(gao)、鉿、釩、鈮、鉭、鉬(mu)、鎢。熔(rong)點較高(gao)，與碳、氮、硅、硼(peng)等生成的(de)化合物熔(rong)點也較高(gao)。

稀有分散金屬：簡稱稀散金屬，包括(kuo)鎵、銦(yin)、鉈(she)、鍺(zang)、錸以及硒(xi)、碲。大部(bu)分賦(fu)存于其他元素的礦(kuang)物中。

稀(xi)有稀(xi)土金屬：簡稱稀(xi)土金屬，包括鈧、釔及鑭系元(yuan)素(su)。它們的化學(xue)性(xing)質(zhi)非常相似，在礦物中相互伴(ban)生。

稀有(you)放(fang)射性金屬(shu)(shu)：包括天然(ran)存在的鈁(fang)、鐳、釙(li)和(he)(he)錒系金屬(shu)(shu)中(zhong)的錒、釷、鏷、鈾，以及人工(gong)制造的锝、钷(po)、錒系其他(ta)元(yuan)素(su)和(he)(he)104至107號元(yuan)素(su)。

上述(shu)分(fen)類不是(shi)十分(fen)嚴格的(de)。有些(xie)(xie)稀(xi)有金(jin)屬既可以(yi)列(lie)入(ru)這一(yi)類又可列(lie)入(ru)另(ling)一(yi)類。例如錸可列(lie)入(ru)稀(xi)散(san)金(jin)屬也(ye)可列(lie)入(ru)稀(xi)有難(nan)熔金(jin)屬。但是(shi)從上述(shu)描述(shu)中(zhong)不難(nan)看出，有些(xie)(xie)特(te)殊應用的(de)濺射靶材的(de)金(jin)屬成分(fen)的(de)確屬于稀(xi)缺資源。

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二、貴金屬靶材可以回收再利用嗎

貴金屬靶材是可以回收再利用的，在加程中打穿的靶材或殘(can)料什(shen)么都是可(ke)以(yi)回(hui)收再(zai)利用的(de)。比如金(jin)靶(ba)(ba)(ba)材(cai)(cai)、銀(yin)(yin)靶(ba)(ba)(ba)材(cai)(cai)、鈀靶(ba)(ba)(ba)材(cai)(cai)等都可(ke)以(yi)回(hui)收再(zai)利用。以(yi)ITO銀(yin)(yin)靶(ba)(ba)(ba)材(cai)(cai)為例(li)，生產加工(gong)時銀(yin)(yin)靶(ba)(ba)(ba)材(cai)(cai)會被(bei)打穿，產生的(de)絲狀殘(can)料這(zhe)(zhe)些(xie)都是可(ke)以(yi)回(hui)收再(zai)利用的(de)，廢料上會沾染少(shao)量的(de)銦(yin)，說是氧(yang)化用的(de)，這(zhe)(zhe)種銦(yin)元素處理一下(xia)就(jiu)可(ke)以(yi)了。所以(yi)含金(jin)、銀(yin)(yin)、鈀、鉑、銠這(zhe)(zhe)些(xie)貴金(jin)屬的(de)靶(ba)(ba)(ba)材(cai)(cai)都可(ke)以(yi)回(hui)收再(zai)利用的(de)，還有合金(jin)靶(ba)(ba)(ba)材(cai)(cai)之類的(de)。