一、濺射靶材是否屬于稀缺資源

稀有(you)金(jin)(jin)(jin)屬(shu)，通常(chang)指在(zai)(zai)自(zi)然界(jie)中(zhong)含量較少或(huo)分布稀散(san)的金(jin)(jin)(jin)屬(shu)，它們難于從原料中(zhong)提取，在(zai)(zai)工業(ye)上制備和應(ying)用較晚，但在(zai)(zai)現代工業(ye)中(zhong)有(you)廣泛(fan)的用途(tu)。中(zhong)國(guo)稀有(you)金(jin)(jin)(jin)屬(shu)資源豐富，如鎢、鈦(tai)、稀土、釩、鋯(gao)、鉭、鈮、鋰、鈹(pi)等已探明的儲量，正在(zai)(zai)逐步建立(li)稀有(you)金(jin)(jin)(jin)屬(shu)工業(ye)體系。

稀有(you)輕(qing)金屬(shu)：包括鋰Li、銣Rb、銫(se)Cs、鈹Be。比重較小，化(hua)學活性強。

稀(xi)有難熔金屬(shu)：包括(kuo)鈦(tai)、鋯、鉿、釩(fan)、鈮、鉭、鉬、鎢。熔點較(jiao)高，與碳、氮、硅、硼(peng)等生成(cheng)的化合物熔點也較(jiao)高。

稀有分(fen)散(san)金屬：簡稱(cheng)稀散(san)金屬，包括鎵(jia)、銦、鉈、鍺(zang)、錸以(yi)及硒、碲。大部分(fen)賦存于其(qi)他元素的礦物中。

稀有(you)稀土金(jin)屬(shu)：簡稱稀土金(jin)屬(shu)，包括鈧(kang)、釔及(ji)鑭系(xi)元(yuan)素。它們(men)的(de)化學性質(zhi)非常相(xiang)似，在(zai)礦物中(zhong)相(xiang)互伴(ban)生。

稀有(you)放射(she)性(xing)金屬(shu)：包括天(tian)然存在的鈁、鐳(lei)、釙(li)和錒(a)系(xi)金屬(shu)中的錒(a)、釷、鏷、鈾，以及(ji)人工制(zhi)造的锝(de)、钷、錒(a)系(xi)其他元(yuan)素和104至107號元(yuan)素。

上述(shu)(shu)分(fen)類不(bu)是(shi)十分(fen)嚴格(ge)的(de)。有些稀有金屬(shu)(shu)既(ji)可以(yi)列(lie)入(ru)這一類又可列(lie)入(ru)另一類。例如錸(lai)可列(lie)入(ru)稀散(san)金屬(shu)(shu)也可列(lie)入(ru)稀有難(nan)熔金屬(shu)(shu)。但是(shi)從(cong)上述(shu)(shu)描(miao)述(shu)(shu)中(zhong)不(bu)難(nan)看出，有些特殊應用的(de)濺(jian)射靶(ba)材的(de)金屬(shu)(shu)成分(fen)的(de)確屬(shu)(shu)于稀缺資源(yuan)。

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二、貴金屬靶材可以回收再利用嗎

貴金屬靶材是可以回收再利用的，在加程中打穿的靶材或殘(can)料什(shen)么都(dou)(dou)是可(ke)以(yi)回(hui)(hui)收(shou)(shou)再(zai)(zai)利(li)用(yong)(yong)的(de)(de)(de)。比(bi)如金(jin)靶(ba)(ba)材(cai)(cai)(cai)(cai)、銀(yin)靶(ba)(ba)材(cai)(cai)(cai)(cai)、鈀靶(ba)(ba)材(cai)(cai)(cai)(cai)等(deng)都(dou)(dou)可(ke)以(yi)回(hui)(hui)收(shou)(shou)再(zai)(zai)利(li)用(yong)(yong)。以(yi)ITO銀(yin)靶(ba)(ba)材(cai)(cai)(cai)(cai)為例，生產加(jia)工時(shi)銀(yin)靶(ba)(ba)材(cai)(cai)(cai)(cai)會(hui)被打穿，產生的(de)(de)(de)絲狀(zhuang)殘(can)料這(zhe)些都(dou)(dou)是可(ke)以(yi)回(hui)(hui)收(shou)(shou)再(zai)(zai)利(li)用(yong)(yong)的(de)(de)(de)，廢(fei)料上會(hui)沾染(ran)少量的(de)(de)(de)銦，說是氧化用(yong)(yong)的(de)(de)(de)，這(zhe)種(zhong)銦元素處理一下就可(ke)以(yi)了。所以(yi)含金(jin)、銀(yin)、鈀、鉑、銠這(zhe)些貴金(jin)屬的(de)(de)(de)靶(ba)(ba)材(cai)(cai)(cai)(cai)都(dou)(dou)可(ke)以(yi)回(hui)(hui)收(shou)(shou)再(zai)(zai)利(li)用(yong)(yong)的(de)(de)(de)，還有合(he)金(jin)靶(ba)(ba)材(cai)(cai)(cai)(cai)之類的(de)(de)(de)。