一、濺射靶材是否屬于稀缺資源

稀有(you)金(jin)屬，通(tong)常(chang)指在(zai)自然界中含量較少或(huo)分布稀散的金(jin)屬，它們難于從(cong)原(yuan)料中提取(qu)，在(zai)工(gong)(gong)業上制備和應(ying)用(yong)較晚，但在(zai)現代工(gong)(gong)業中有(you)廣泛的用(yong)途。中國稀有(you)金(jin)屬資源豐富，如鎢、鈦、稀土(tu)、釩、鋯、鉭、鈮、鋰、鈹等(deng)已探(tan)明的儲量，正在(zai)逐步建立(li)稀有(you)金(jin)屬工(gong)(gong)業體系(xi)。

稀有輕金屬：包(bao)括鋰Li、銣Rb、銫Cs、鈹Be。比重(zhong)較(jiao)小(xiao)，化學活(huo)性強。

稀有難熔金屬：包括鈦(tai)、鋯、鉿、釩、鈮、鉭、鉬、鎢。熔點較高(gao)，與碳、氮、硅、硼等生(sheng)成的化(hua)合(he)物(wu)熔點也較高(gao)。

稀有分散金(jin)屬：簡(jian)稱稀散金(jin)屬，包括(kuo)鎵、銦、鉈、鍺、錸以及硒、碲(di)。大部分賦(fu)存于其他元素的礦物中。

稀(xi)有稀(xi)土金(jin)屬：簡稱稀(xi)土金(jin)屬，包括鈧、釔及鑭系元素。它們的(de)化學性質(zhi)非常相(xiang)似(si)，在礦(kuang)物中相(xiang)互伴生(sheng)。

稀有放射性金屬：包(bao)括天然存(cun)在(zai)的(de)鈁、鐳、釙和錒系金屬中的(de)錒、釷(tu)、鏷(pu)、鈾(you)，以及(ji)人(ren)工制造的(de)锝、钷、錒系其他元素(su)(su)和104至107號元素(su)(su)。

上(shang)述分(fen)類(lei)不是十(shi)分(fen)嚴(yan)格的。有些稀有金(jin)屬(shu)(shu)既可(ke)以列入這(zhe)一(yi)類(lei)又(you)可(ke)列入另(ling)一(yi)類(lei)。例(li)如錸可(ke)列入稀散金(jin)屬(shu)(shu)也可(ke)列入稀有難熔金(jin)屬(shu)(shu)。但(dan)是從上(shang)述描(miao)述中不難看出，有些特殊應用的濺射靶(ba)材的金(jin)屬(shu)(shu)成分(fen)的確(que)屬(shu)(shu)于稀缺資(zi)源。

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二、貴金屬靶材可以回收再利用嗎

貴金屬靶材是可以回收再利用的，在加程中打穿的靶材或(huo)殘料(liao)(liao)什么都是(shi)可以回收(shou)(shou)(shou)再利用的(de)(de)。比如金靶(ba)(ba)(ba)材(cai)(cai)、銀靶(ba)(ba)(ba)材(cai)(cai)、鈀靶(ba)(ba)(ba)材(cai)(cai)等都可以回收(shou)(shou)(shou)再利用。以ITO銀靶(ba)(ba)(ba)材(cai)(cai)為例(li)，生產(chan)(chan)加工(gong)時銀靶(ba)(ba)(ba)材(cai)(cai)會(hui)被打穿，產(chan)(chan)生的(de)(de)絲狀殘料(liao)(liao)這(zhe)些(xie)都是(shi)可以回收(shou)(shou)(shou)再利用的(de)(de)，廢料(liao)(liao)上會(hui)沾染少量的(de)(de)銦，說是(shi)氧(yang)化用的(de)(de)，這(zhe)種銦元素處理一下就(jiu)可以了。所以含金、銀、鈀、鉑、銠這(zhe)些(xie)貴(gui)金屬的(de)(de)靶(ba)(ba)(ba)材(cai)(cai)都可以回收(shou)(shou)(shou)再利用的(de)(de)，還有合金靶(ba)(ba)(ba)材(cai)(cai)之(zhi)類(lei)的(de)(de)。