一、濺射靶材是否屬于稀缺資源

稀(xi)(xi)(xi)(xi)有(you)(you)(you)金(jin)屬(shu)，通常指(zhi)在自然(ran)界中(zhong)含(han)量較少(shao)或分布稀(xi)(xi)(xi)(xi)散(san)的(de)(de)金(jin)屬(shu)，它們難于(yu)從原料(liao)中(zhong)提取，在工(gong)業上制備和應用(yong)較晚(wan)，但在現代工(gong)業中(zhong)有(you)(you)(you)廣泛的(de)(de)用(yong)途。中(zhong)國稀(xi)(xi)(xi)(xi)有(you)(you)(you)金(jin)屬(shu)資(zi)源豐富，如鎢、鈦、稀(xi)(xi)(xi)(xi)土、釩、鋯、鉭、鈮、鋰(li)、鈹等(deng)已探明的(de)(de)儲量，正在逐步建立稀(xi)(xi)(xi)(xi)有(you)(you)(you)金(jin)屬(shu)工(gong)業體系。

稀有輕金屬：包(bao)括鋰Li、銣(ru)Rb、銫(se)Cs、鈹(pi)Be。比重較小，化(hua)學活性強(qiang)。

稀有難熔(rong)(rong)金屬：包括(kuo)鈦、鋯、鉿、釩、鈮、鉭、鉬、鎢。熔(rong)(rong)點較高，與(yu)碳、氮、硅(gui)、硼(peng)等(deng)生成的化合物熔(rong)(rong)點也較高。

稀有分散金屬(shu)：簡稱稀散金屬(shu)，包括(kuo)鎵、銦、鉈、鍺、錸以及硒(xi)、碲。大部分賦存于其他(ta)元素的礦物中。

稀有稀土金屬：簡稱稀土金屬，包括鈧、釔及鑭系元素(su)。它們(men)的化學性質非常相(xiang)似，在礦(kuang)物(wu)中相(xiang)互伴(ban)生。

稀(xi)有放射性金屬：包括(kuo)天然(ran)存在的(de)(de)鈁、鐳、釙和(he)錒系金屬中的(de)(de)錒、釷、鏷、鈾(you)，以(yi)及人工制(zhi)造的(de)(de)锝、钷、錒系其他元素和(he)104至107號元素。

上(shang)述(shu)分(fen)類(lei)(lei)不是十(shi)分(fen)嚴(yan)格的(de)。有些(xie)稀(xi)有金(jin)屬(shu)(shu)既可(ke)(ke)以列(lie)(lie)入這一類(lei)(lei)又可(ke)(ke)列(lie)(lie)入另(ling)一類(lei)(lei)。例如錸(lai)可(ke)(ke)列(lie)(lie)入稀(xi)散金(jin)屬(shu)(shu)也可(ke)(ke)列(lie)(lie)入稀(xi)有難(nan)熔金(jin)屬(shu)(shu)。但是從上(shang)述(shu)描述(shu)中不難(nan)看出，有些(xie)特殊應(ying)用的(de)濺(jian)射靶材的(de)金(jin)屬(shu)(shu)成分(fen)的(de)確屬(shu)(shu)于稀(xi)缺資源。

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二、貴金屬靶材可以回收再利用嗎

貴金屬靶材是可以回收再利用的，在加程中打穿的靶材或殘料什么都(dou)(dou)是可(ke)(ke)以(yi)(yi)(yi)(yi)回收再(zai)利用(yong)(yong)(yong)的(de)(de)。比如金(jin)靶(ba)材(cai)(cai)、銀(yin)(yin)靶(ba)材(cai)(cai)、鈀(ba)靶(ba)材(cai)(cai)等都(dou)(dou)可(ke)(ke)以(yi)(yi)(yi)(yi)回收再(zai)利用(yong)(yong)(yong)。以(yi)(yi)(yi)(yi)ITO銀(yin)(yin)靶(ba)材(cai)(cai)為例，生(sheng)產(chan)(chan)加工時銀(yin)(yin)靶(ba)材(cai)(cai)會被打穿，產(chan)(chan)生(sheng)的(de)(de)絲狀殘料這(zhe)些都(dou)(dou)是可(ke)(ke)以(yi)(yi)(yi)(yi)回收再(zai)利用(yong)(yong)(yong)的(de)(de)，廢(fei)料上會沾染少(shao)量(liang)的(de)(de)銦(yin)，說是氧化用(yong)(yong)(yong)的(de)(de)，這(zhe)種(zhong)銦(yin)元素處理一下(xia)就可(ke)(ke)以(yi)(yi)(yi)(yi)了。所以(yi)(yi)(yi)(yi)含金(jin)、銀(yin)(yin)、鈀(ba)、鉑、銠這(zhe)些貴金(jin)屬(shu)的(de)(de)靶(ba)材(cai)(cai)都(dou)(dou)可(ke)(ke)以(yi)(yi)(yi)(yi)回收再(zai)利用(yong)(yong)(yong)的(de)(de)，還有(you)合金(jin)靶(ba)材(cai)(cai)之類的(de)(de)。